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    半導体製造装置用チラー

    半導体製造装置向けに設計されたチラーです。

    ム内で要求されるSEMI規格に準拠するためのEMO(緊急停止 ボタン)やLOTO(電源の遮断固定、警告表示）などのオプション を標準装備しています。 NESLAB３（SYSTEM３） 冷凍機冷却システムを使用せず、循環水で吸収した熱を水道水や 工場水で冷却する、水と水による熱交換方式の循環冷却装置です。 最大50 kWの冷却能力で±1.0℃の温度安定性を提供します。 ...

    メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

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