クリエイティブコーティングス『気相技術』
ワーク材質や膜種、膜厚から、弊社がご提案する技術や加工例をご紹介!
「気相技術」は、樹脂原料・燃料電池など『新素材・新材料』『エネルギー』、医療センサー・機器など『医療・ヘルスケア』、電子部品・新ディスプレイなど『モバイル端末』『ウェアラブル機器』『オートモーティブ』…
低温ALD装置 CVA series
ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能!
緻密で均質、かつ均一の厚みの膜が形成可能 ・ほとんどの金属酸化膜に対応可能 ・どのような基板(材質、平坦性、形状等々)でも密着性良く成膜可能 ・用途に応じた膜厚の制御が可能 ・室温で成…
低温高周波励起DLC 成膜装置 CVC series
DLC(Diamond-like carbon)コーティング
高周波と直流負パルスを同時印加 ・高周波プラズマは反応容器外から供給 ・直流電圧はアークに直結 コンパクトでシンプルデザイン ・加熱源をもたない ・ワークの設置方向に制限なし グラ…
低温バレル型ALD成膜装置 CVA-B series
低温ALD装置とバレル機構の融合
自社開発のバレル機構による均一撹拌とバラつきのない膜厚・膜質を実現 ・粉体材料や極小部品表面に均一に高品質な成膜が可能 ・平面ではないワーク形状や他の方法では成膜できなかった材料などにも技術応用可…
IBAD(イオンアシスト蒸着法)装置 CVI series
真空蒸着よりも緻密で強度が高く、表面が平滑な成膜が可能!
【特徴】 ・従来技術の真空蒸着法に加え、イオンビームを組み合わせた複合技術 ・低温で低エネルギー照射が可能 ・曲面や立体にも成膜が可能 【主な用途】 ・超硬工具用保護膜(c-BN…
スプレー大気圧コーティング装置 CMS series
薄膜/厚膜の両方の成膜に対応したスプレー常圧成膜装置
成膜形状に合わせた動作と塗布ノズルヘッドを組み合わせることで自由自在な成膜が可能。 ヘッド動作プログラムを新設計 ・簡単・シンプルにノズル動作位置を設定可能 ・ノズル移動シミュレーション表示…
成膜受託サービス
液相・気相コーティングに関わらず多様な工法でお客様のニーズを全方位でカバー!
『連続プロセス』で工法の違うプロセスもワンストップで対応可能。 生産工程を飛躍的に向上させます! 多様なプロセス・膜種・膜厚が可能 ■ドライ ・スパッタ ・蒸着 ・CVD ・…
電極形成受託サービス
試作・小ロット、多品種製作を社内開発装置にてワンストップで行います!
一貫プロセスの受託体制 ・塗布~検査工程までのプロセスを網羅し提供します ・試作サンプル・多品種少量生産が可能 ・社内開発・製造した生産ラインで安定した納期で高い品質を提供します 装置販売…
多端子電極塗布装置 CMT series
多様な超極小アレイチップの量産を実現
塗布精度・ライン性を重視したアレイ塗布全自動装置 。キャリア搬送を全自動化し生産能力を大幅にアップ。 塗布精度・ライン性を重視したアレイ塗布装置 ・独自開発の転写マスクで塗布ライン性・耐久性…
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