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CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております
日常的に小型化、高性能化が進む世界。 携帯電話も、数年前には想像できなかったような機能を備えています。 このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。…
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耐久性に優れた製品を多数ラインアップ。修理メンテナンスなども対応可能。バイオ・EPC・薄膜業界へのアプローチを紹介した資料進呈
当社では、マスフローコントローラ、プレッシャーコントローラ、 トランスデューサなどの、流量・圧力制御に関する機器を販売しています。 長期間にわたり安定して動作可能な高信頼製品を多数ご用意。 …
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薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！
産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが…
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様々な液体や気体に適している「ガラス管面積式流量計」などについてご紹介！
当社の『ガラス管面積式流量計/金属管面積式流量計』をご紹介します。 プラスチックには適さない高圧や高温の、液体や気体の流量を測定する場合、 当社の堅牢な「ガラス管式面積式流量計（ローターメータ…
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80カ国以上において70年以上にわたるグローバルな実績があります！
プロジェクトの設計、調達、建設（EPC）請負業者が高性能な流量計技術と 高度な技術的専門知識を必要とするとき、当社は的確なソリューションの ための信頼できるサプライヤーとなります。 製品は、…
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信頼できる製品、専門性の高いサービス！機器を“新品同様の状態”に再生します！
当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、 およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ 経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。 …
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歩留まりや工程管理を安定させるために、信頼性の高い、正確な機器を！
バイオ医薬品の製造は、世界でも要求の厳しい製造プロセスの一つです。 マスフローおよび圧力制御技術は、細胞培養の歩留まりの向上と バイオプロセスコストの抑制に役立ち、流量および圧力コントローラは…
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サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』
高圧ガス保安協会（KHK）の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆（JPEx）の型式検定合格証も取得
サーマルマスフローコントローラ／メータ『SLA5800シリーズ』は、 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、 水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に…
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厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール
粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、 『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/ メータなら、実証済みの「SLA5800ファミリ」のメータとコント…
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オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』
圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！
オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラ…
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デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！
『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精…
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コリオリ式マスフローコントローラ/メータ Quantimシリーズ
コリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行します
『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタ…
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最高の性能を最大限に引き出す！先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー
GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、 コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、 従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と 再現性が向上し…
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メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』
すべてを可能にするMFC
超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小…
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ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定のご紹介です！
『5700シリーズ』は、パージガス、プロセス解析、解析フロー測定のニーズ を想定して作られたエラストマシールマスフローメータです。 タービンメータ、面積式流量計、その他の体積流量計に代わる電子…
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スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答！幅広い種類の非腐食性ガスに適しています
『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性 も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロ…
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長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います
『5850E/iシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/ メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに 使用された実績を持つ本シリ…
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実証された長期安定性！高温アプリケーション向けの超高清浄性能をご提供いたします
『5850EMHシリーズ』は、リークインテグリティの高いメタルシールに、 柔軟なアプリケーション対応を可能にする高温マスフローコントローラです。 さまざまなオプションを組み合わせ、先端の高温ガ…
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ガラス管面積流量計 ショーレートモデル 1350G, 1355G
実証済みの小流量レートにおけるパフォーマンス。様々なニーズにマッチする汎用オプションをご用意！
『ショーレートモデル 1350G, 1355G』は、様々な種類の気体や 液体用に適したガラス管面積流量計です。 基本構成は、316SS製エンドブロックやアダプタ、バルブと共に ホウケイ酸ガラ…
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各種気体、液体および蒸気への適用に好適！幅広い温度、圧力、プロセスレンジに対応したメータです
『MT3809Gシリーズ』は、ローカルオペレーターの操作用としてデジタル LCDディスプレイを備え、合計量表示やアラーム信号など価値の高い プロセス出力を表示する金属管面積式流量計です。 カ…
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メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』
応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション
『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度 および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフロー コントローラ/メータです。 高い繰り返し性と安定性能…
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ご希望の流量に合わせて当社指定のスケール/目盛の選択ができる流量計
『Model GT1600』は、安全なご使用のために選択した高品質な材料で できており、室内・屋外問わず使用可能なガラス管面積式流量計です。 目盛窓を360度回転可能で、好みの方向から視認でき…
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超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現
蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合…
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