入江工研株式会社

特殊形状ベローズ

取付誤差吸収用から伸縮変位用と様々なニーズに合った製品を御提案致します。

入江工研では、『特殊形状ベローズ』を取り扱っております。 正方形、長方形の開口を基本形状とした「矩形ベローズシリーズ」をはじめ、 角丸長方形の開口を基本形状とした「長円形ベローズシリーズ」お客…

高性能成形ベローズ『LFB/SFB』

コンパクト設計が可能！溶接ベローズ並みの高寿命を実現する高性能成形ベローズ

『LFB/SFB』は、入江工研が取り扱う高性能な成形ベローズです。 「LFB」は、溶接ベローズ並みの高寿命を実現(100万回)した ロイヤル成形ベローズです。 優れた耐食性を有しており、…

NW-KF配管継手

ボルト、ナットが不要！蝶ネジを回す事だけで容易に着脱できる配管継手のご紹介

当社が取り扱う『NW-KF配管継手』をご紹介します。 取扱いが非常に便利なISO規格によるNW－KFフランジの配管継手として、 真空配管用「VPシリ－ズ」と高圧配管用「HPシリ－ズ」を規格化し…

高真空アングルバルブシリーズ

片側回転フランジのため、取付けが容易！3種類の接続形式に、手動及び自動をシリーズ化

『高真空アングルバルブシリーズ』は、豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを 内蔵した長寿命の真空バルブです。 取り扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付きと、超高真空用及び 有毒な…

成形べローズ

応力のバラツキを防止が可能で、量産製作での品質の均一化が図れます！

『成形べローズ』は、溶接べローズに比べて歴史的に古くいろいろな 製造方法が考案されていますが、一般的に広く採用されているのは、 機械的に成形するロール成形法と、液圧によるバルジ成形法があります。 …

溶接ベローズ

エンドフィッティングの選択が出来、設計に自由度がある溶接ベローズのご紹介です

『溶接ベローズ』は、精密なディスク上の薄肉金属板を内径と外径を交互に 溶接しながら繋ぎ合わせて製作される金属ベローズです。 コンパクトで大きい伸縮量が得られる「NS,NA規格溶接べローズ」と、…

導入機『磁気結合式直進回転導入機（MFL）』

強力なマグネットを使用！磁気カップリング式の導入機

『磁気結合式直進回転導入機（MFL）』は、強力な永久磁石を用いた 磁気カップリング方式の導入機構です。 真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用しているため 高トルク伝達ができ、ロストモ…

導入機『磁気結合式回転導入機（MFR）』

強力なマグネットを使用！磁気カップリング式の導入機

『磁気結合式回転導入機（MFR）』は、 強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 回転導入機の他にも、直進回転導入機をご用意しているので、 用途に合わせてお選びいただけます…

導入機『コンパクト回転導入機(IRC)』

コンパクトタイプの回転導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！

『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 超高真…

導入機『ベローズ式コンパクト直進導入機(ILC)』

コンパクトタイプの直線導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！

『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用…

導入機『ベローズ式直進導入機　手動タイプ(ILD-M)』

基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！入江工研のベローズ式直線導入機

『ベローズ式直線導入機』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただいております。…

コスラーズゲートバルブ

開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲートバルブを標準化！

FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向け…

ゲートバルブ『コンパクトコスラーズII』

小型化、軽量化を追及！IKCの新技術を導入したゲートバルブのご紹介

『コンパクトコスラーズII』は、次世代のLSI及びLCDの製造装置にも 使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 IKC独自の技術により、無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ち、 シー…