【展示会】11/29～12/1「VACUUM2023 真空展」出展情報

超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。

圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 　上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 　上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ 　ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成…

熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。

更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 　流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 　低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 　安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 　高速応答ピエゾアクチュエータを採用 …

<FINE series PURE>超高純度用、集積化ガスシステムです。

<特長> 1.基本技術の高性能化。 2.小型化。 3.信頼性の向上。 4.施工性、メンテナンス性の向上。 5.標準化の推進。 6.コストダウン。

<ニューV-Series>優れた性能、品質を有するチューブスコネクターです。

<特長> ニューV-Lokチューブスコネクターは、チューブを差込み、 ナットを締付けるだけで接続ができるため、 特殊工具及び火気を必要としません。 また、ダブルリング独特の相互連動作用によって、 リングが有効に塑性変形して、チューブを強固に圧縮するため、 非常に高い耐圧性が得られます。

<FINE series PURE> 超高純度用、ダイレクトダイヤフラムバルブです。

<特長> 1.良好な置換特性。 2.高耐久性ニッケル-コバルト合金製ダイヤフラム。

<FINE series PURE>超高純度用メタルガスケット式継手です。

<特長> 1.スリーブにはチューブサイズが表示されておりますので、 　ひと目でサイズが確認出来ます。 2.ナットのねじ部には銀メッキ処理を行っているので、 　ねじの焼付はありません。 3.特殊な硬度アップ処理により、着脱、シール性の安定化が図れます。

<FINE series PURE>超高純度用、超小型メタルガスケット式継手です。

<特長> 1.小型化(UJR比約70%) 2.シールする部分と外力を受ける部分Ｔの分離 3.デッドスペースフリー 4.シール部先端への傷防止過剰締付け防止機構 5.接液・接ガス部SUS316L Wメルト材UP処理標準 6.ナットにピュアリング内蔵