【展示会】12/13～12/15「SEMICON Japan 2023」出展情報

バルブの開閉をセンシングします！

センサによりバルブの外部へのリークを検知。 またバルブの開閉や温度を正確に検知することが可能になりました。 バルブに不具合が起こる前に 劣化部品の交換時期を知ることが出来るため、 装置の長期信頼性を向上させることが出来ます。 ※詳細はお問い合わせください。

<FINE series PURE> 超高純度用、ダイレクトダイヤフラムバルブです。

<特長> 1.良好な置換特性。 2.高耐久性ニッケル-コバルト合金製ダイヤフラム。

<FINE series PURE>超高純度用メタルガスケット式継手です。

<特長> 1.スリーブにはチューブサイズが表示されておりますので、 　ひと目でサイズが確認出来ます。 2.ナットのねじ部には銀メッキ処理を行っているので、 　ねじの焼付はありません。 3.特殊な硬度アップ処理により、着脱、シール性の安定化が図れます。

<FINE series PURE>超高純度用、超小型メタルガスケット式継手です。

<特長> 1.小型化(UJR比約70%) 2.シールする部分と外力を受ける部分Ｔの分離 3.デッドスペースフリー 4.シール部先端への傷防止過剰締付け防止機構 5.接液・接ガス部SUS316L Wメルト材UP処理標準 6.ナットにピュアリング内蔵

抜群の気密性メンテナンス回数を激減します。

<特長> 1.独自のシール構造により、 　従来のダイヤフラムバルブと比較して外部漏れに対する信頼性が向上。 2.最高使用圧力1MPa 　(但し、両側加圧下での弁座閉止圧力は、0.6MPaとなります) 3.流量変化を低減。 4.USP Class6、FDAに適合したダイヤフラムを使用。

超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。

圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 　上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 　上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ 　ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成…

<ニューV-Series>優れた性能、品質を有するチューブスコネクターです。

<特長> ニューV-Lokチューブスコネクターは、チューブを差込み、 ナットを締付けるだけで接続ができるため、 特殊工具及び火気を必要としません。 また、ダブルリング独特の相互連動作用によって、 リングが有効に塑性変形して、チューブを強固に圧縮するため、 非常に高い耐圧性が得られます。

<FINE series PURE>超高純度用、集積化ガスシステムです。

<特長> 1.基本技術の高性能化。 2.小型化。 3.信頼性の向上。 4.施工性、メンテナンス性の向上。 5.標準化の推進。 6.コストダウン。