掲載開始日:2021-12-23 00:00:00.0
【ニュースリリース】18年連続受賞!"超"モノづくり部品大賞 機械・ロボット部品賞を受賞しました!
おかげさまをもちまして、
”超”モノづくり部品大賞を18年連続受賞しました。
2021年 第18回 今回の”超”モノづくり部品大賞では、
「圧力制御式超高精度ガス流量コントローラ(FCS-P8500)」が
「機械・ロボット部品賞」を受賞しました。
ありがとうございました。
「圧力制御式超高精度ガス流量コントローラ(FCS-P8500)」は
半導体製造プロセス用にフジキンが新しく開発した流量制御器です。
従来機種と同一の筐体サイズで
レンジアビリティを10倍に拡張するとともに、
流量制御精度を40倍向上させました。
製品詳細は随時HPで公開いたします!
関連製品
システム【流量制御機器】FCS Pressure Series
超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成…
システム【流量制御機器】FCS Thermal Series
熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 流量精度±1%を実現 ○高性能センサ 低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 高速応答ピエゾアクチュエータを採用 …
関連カタログ
取扱会社
株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社
<半導体製造装置用超精密バルブ機器> 日本が世界に誇る半導体技術。 超微量のガスを正確にコントロールし、 極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。 これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、 清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで 生産されます。組立・検査などの工程もすべて ウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。 一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。 ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。 <宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器> フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。 宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、 宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、 これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。 また、1992年夏に打ち上げられた わが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、 スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。
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