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超高純度水素ガス発生装置『H２PEM』危険で高価な水素ボンベ不要

発生ガス純度が99.9995%以上！水素ボンベより安全で高圧ガス認定も不要！所要面積0.09m２

旭ケミカルスは、Parker(パーカー)の正規代理店で、多数のParker製品を取り揃えております。販売だけでなく、メンテナンスも弊社で承ります！『H2PEM』は、超高純度水素ガス発生…

メーカー・取扱い企業：株式会社旭ケミカルス

関西オートメ機器株式会社　会社案内

先進分野への技術開発にも取り組み、弛みないチャレンジを続けています！

関西オートメ機器株式会社は、お客様から信頼と魅力ある企業として認めていただけるよう、お客様のニーズにあった付加価値の高い創造性豊かな自動制御技術で社会に貢献しています。より良い現場環…

メーカー・取扱い企業：関西オートメ機器株式会社

ANKOM RF　ガスプロダクションシステム

ワイヤレス（無線）方式によるガス生成量の計測

『ANKOM RF　ガスプロダクションシステム』は、好気性・嫌気性微生物の活動によって生成されるガスを、無線方式によりリアルタイムでモニターし計測することができるシステムです。レイアウ…

メーカー・取扱い企業：三紳工業株式会社

東北酸素株式会社　事業紹介

産業医療用高圧ガス製造販売、溶接材料、鋳鋼機材、各種産業機器の専門商社

東北酸素株式会社は、産業医療用高圧ガス製造販売、溶接材料、鋳鋼機材、各種産業機器の専門商社です。当社はお客様にガスの安定供給を図る為、一関・盛岡の二拠点に充填工場を有し、ガスはもとより…

メーカー・取扱い企業：東北酸素株式会社

【酸素ガス導入事例】メダカ生体販売用酸素セット

市販の酸素カートリッジからガスボンベに移行！ご利用環境をお聞きしてご案内いたします

株式会社マスコールが対応した酸素ガス導入事例をご紹介します。メダカの生体販売をしているショップA様より、メダカの持ち帰り用にこれまでは市販の酸素カートリッジをご利用でしたが、最近出荷量が …

メーカー・取扱い企業：株式会社マスコール

ガスでフードロスを減らしませんか？

静菌効果が高い！脱酸素剤等と比較して異物混入の危険性がありません！

『ガス』は、誤食や破損による鉄粉混入が防止でき、脱酸素剤等と比較して異物混入の危険性がありません。対象物の酸化防止には「窒素ガス(N2)」、対象物の菌繁殖を制限するには「炭酸ガス(CO…

メーカー・取扱い企業：和信溶材株式会社

ミクニキカイ株式会社　事業紹介

自然との調和をテーマに人々の暮らしに貢献する事業を展開しています

ミクニキカイ株式会社は、自然との調和をテーマに、ガスと水で人々の暮らしに貢献する事業を展開しています。創業以来、銃機器の開発から一般機械・各種ポンプ製造事業、プロパンガスプラント事業、…

メーカー・取扱い企業：ミクニキカイ株式会社

『Simerics MP for SOLIDWORKS』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える！開発期間の短縮やコスト削減に

『Simerics MP for SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。 SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

NEW アクアトランスファ　※異物が気体チャンバー内に混入し難い

空気の流れが水の流路と平行！異物が気体チャンバー内に混入し難い構造のマイクロ・ナノバブル発生装置

『NEW アクアトランスファ』は、目詰まりのない構造を追求すると共に、大胆にコンパクト化を実現したマイクロ・ナノバブル発生装置です。気体チャンバー部の構造の改良により、SS(suspend…

メーカー・取扱い企業：ウォーターナビ株式会社

クリーンパワーガス発生装置『HH-1001500MSX』

装置の形状が横型で安定！装置はほとんど自動運転化され、メンテナンスフリーです

『HH-1001500MSX』は、主に国内での病院や水素サロン向け用の本格的な酸水素混合ガス発生装置です。装置の形状が横型で安定しており、必要量のガスを安定的に供給可能。またヒータ…

メーカー・取扱い企業：Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社本社

小池化学株式会社　事業紹介

石油化学製品・高圧ガスの販売、エアゾール製品のトータルサービスを提供！

小池化学株式会社は、昭和30年、液化石油ガス（LPガス）を民生用工業用に供給することを目的として設立されました。現在は、液化石油ガスの利用開発をはじめ、石油化学製品の販売など様々な事業…

メーカー・取扱い企業：小池化学株式会社

I・T・O株式会社　会社案内

安全・安心なガス供給機器の提供を通じて、エネルギーの明日を支えてまいります！

I・T・O株式会社は、ガス減圧弁（調整器）、ガバナ、バルブ類、ガス及び水等圧力調整弁、電磁弁製造販売、バルク貯槽輸入販売を行っている会社です。企画から開発、製造、アフターサービスに至るまで…

メーカー・取扱い企業： I・T・O株式会社営業開発部　営業推進課

【事例】空調・冷媒配管窒素パージ作業

配管内のスケールの発生を防止！空調機器の故障の原因を軽減いたします

高圧窒素富化ガス発生装置『HND-4640B』とパージ用窒素ガス発生装置『SLF-5000-1P』を使用した空調・冷媒配管窒素パージ作業事例をご紹介します。配管のロー付け作業に置いて銅…

メーカー・取扱い企業：株式会社サタコ

FIDガスステーション『FID-1000/FID-2500』

5～6台のFID にガス供給が可能！超高純度 99.9995% の水素を供給可能な装置！

『FID-1000/FID-2500』は、5～6台のFID にガス供給が可能なガスステーションです。超高純度 99.9995% の水素を供給可能です！ UHP ゼロエアをショップエアから精製…

メーカー・取扱い企業：株式会社旭ケミカルス

【酸素ガス導入事例】金属加工用酸素セット

酸素ガスで高温処理が可能に！指輪を作る行程にも、ガスが使われていることをご存じでしょうか

今回、貴金属加工を手掛けているA社様から、ゴールド・プラチナの金属加工を行うため酸素を購入したいとのご依頼がありました。 A社様はこれまで、都市ガスからホースを都市ガス用トーチにつないでシルバー…

メーカー・取扱い企業：株式会社マスコール

【新製品】高性能酸素ガス発生装置『ICX-005HP』

酸素濃度計付で酸素濃度管理が簡単！キャスター付の高性能酸素ガス発生装置

『ICX-005HP』は、従来の2倍の圧力供給が可能な高性能酸素ガス発生装置です。タッチパネル搭載で操作が簡単なほか、酸素濃度計付で酸素濃度管理が容易に行えます。タッチパネル内に、…

メーカー・取扱い企業：株式会社ＩＢＳ

【総合カタログ】ガス関連機器『精製装置／排ガス処理装置』

多種多様な精製方式の精製装置や排ガス処理装置などを多数掲載。選定に役立つセレクションガイドも！

当資料は、各種ガス精製装置や排ガス処理装置等の製造及び販売を行っているエア・ウォーター・メカトロニクスの取り扱い製品を掲載した総合カタログです。独自の触媒によりガスの高純度精製が可能な、常…

メーカー・取扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

『PA-13Aについて』

電力等の動力は一切不要！緊急時に役立つPA-13Aについて詳しく解説

プロパンガスと空気を使って、都市ガスと同等のガスを作り出す装置「PA-13A」について解説いたします。災害その他の緊急時に、被災して一番困るのがライフラインの断絶です。当製品は震災が発…

メーカー・取扱い企業： I・T・O株式会社営業開発部　営業推進課

吸入暴露システム『inExpose』

鼻部暴露や全身暴露に対応！コントローラーに必要な機器を組み合わせて使用

『inExpose』は、小動物(マウス、ラット、モルモット)にエアロゾル、混合ガス、タバコ煙などを暴露するための吸入暴露システムです。パソコンで制御されるコントローラーに、各動物の鼻部暴露…

メーカー・取扱い企業：オレンジサイエンス株式会社

大陽日酸東関東株式会社　会社案内

どのようなときにでも変わらぬ安心をガスとともにお届けしています。

私たち大陽日酸東関東株式会社は、金属の接合切断のための酸素の供給を出発点とし、現在では、半導体の製造プロセスをはじめ、医療分野での利用、また宇宙開発にいたるまで、さまざまなガスの可能性を追求し…

メーカー・取扱い企業：大陽日酸東関東株式会社

日本イオン株式会社　抗菌素材の選定のご案内

私たちが銀イオン・銅イオン製品の開発をお手伝いいたします

当社では、設立以来60年のあいだ蓄積してきた銀イオン・銅イオン抗菌技術の経験とノウハウを基に、お客様のニーズに併せて「原料供給・受託製造・商品開発・試験調査・コンサルタント」など多様なサポート…

メーカー・取扱い企業：日本イオン株式会社

半自動ガス切替装置

簡単な操作で、途切れることなくガスを供給

切替に電磁弁等を使用していないため電源が無い場所でも使うことが可能な、半自動ガス切替装置

メーカー・取扱い企業：川口液化ケミカル株式会社川口事業所

『分離膜式窒素ガス発生装置コンプレッサー内蔵型』

窒素純度は95％から99.9％！メンブレン仕様の窒素ガス発生装置

『分離膜式窒素ガス発生装置コンプレッサー内蔵型』は、コンプレッサー内蔵型の窒素ガス発生装置です。窒素純度は95％から99.9％です。豊富なバリエーションで用途に合わせて選定可能、…

メーカー・取扱い企業：株式会社エアーテック

生産性向上を実現！ガスによる課題解決のご提案　※導入事例有り

製造業や食品業界などで利用実績有り！ガス充填やガスデリバリー、容器販売も行っております。

マスコールでは、産業用から食品保存の分野、各種イベントまで様々シーンで活躍するガスをお届けしております。産業用や食品用など様々な用途でご利用いただいております。【ガスのトータルサポート】 ■ガ…

メーカー・取扱い企業：株式会社マスコール

フューテックニイガタ合同会社　会社案内

役に立つ物つくり！お客様の利益に繋がる付加価値を製品に込めてお届けします

当社は、微細気泡、いわゆるファインバブルを作る装置の開発をしています。理化学に関するもの作りを生業としており、皆様からの「こんな物があればイイなぁ」を形にして業務の効率に貢献して参りました…

メーカー・取扱い企業：フューテックニイガタ合同会社

実験台一体型ガス発生装置『ADVANCEシリーズ』

ガス発生装置が分析装置用実験台とセット！コンパクトなレイアウトのガス発生装置

エアーテックは、空気・ガス精製装置、空気圧縮機、冷凍機、各種空圧機器および関連機器、配電/操作盤、半導体装置、真空部品の設計・製造、販売、据付・保守、輸出入などを行っております。『AD…

メーカー・取扱い企業：株式会社エアーテック

日本イオン株式会社　温泉施設における銀イオン殺菌装置の有用性

温泉施設における銀イオン殺菌装置の有用性について詳しくご紹介しています

このカタログは、主に銅イオン・銀イオンによる殺藻・殺菌装置の企画、製造、販売を行っている日本イオン株式会社のカタログです。銀イオン殺菌の特長や、温泉のレジオネラ対策と銀イオン、温泉における…

メーカー・取扱い企業：日本イオン株式会社

【事例】空調・冷媒配管気密試験作業

昇圧作業をしている時は他の作業を行う事が出来工事の効率化が図れる！

高圧窒素富化ガス発生装置『HND-4640B』を使用した空調・冷媒配管気密試験作業事例をご紹介します。高圧窒素富化ガス発生装置の供給圧(4.5MPa)の圧力を利用して高圧レギュレーター…

メーカー・取扱い企業：株式会社サタコ

【技術コラム】熱処理用の雰囲気ガスとは？種類や用途、発生装置解説

正しい雰囲気ガスを選択して利用することで製品の性能向上や原価低減に繋げることが可能！

自動車部品の製造などでよく用いられる熱処理装置では、安全性や低コスト、環境への負荷などでレベルアップが求められています。そうした中で熱処理炉は密閉型構造が一般化してきており、炉内で使用…

メーカー・取扱い企業：サンファーネス株式会社

京都帝酸株式会社『ガス関連機器』

京都帝酸株式会社が取り扱っているガス関連機器のご紹介

京都帝酸では高品質なガスを高品質なまま使っていただけるように、ガス貯槽容器やガス配管機器、排ガスダクトなどの機器販売から、ガス関連の工事までお客様の現場に最適なご提案をさせていただきます。 …

メーカー・取扱い企業：京都帝酸株式会社

『PA-13Aの必要性』

いざという時に自分たちで自らの施設を守る！迅速なガス復旧が可能

プロパンガスと空気を使って、都市ガスと同等のガスを作り出す装置「PA-13A」の必要性について解説いたします。大地震が起きたら、都市ガスの防災システムにより供給が停止します。その際、復…

メーカー・取扱い企業： I・T・O株式会社営業開発部　営業推進課

【資料】酸水素混合ガス発生装置の概要と応用分野別の効果・実績事例

「CPG発生装置の概要」や「酸水素混合ガス（CPG）の有効活用」などご紹介！

当資料では、『酸水素混合ガス発生装置の概要とその応用分野別の効果・実績事例』についてご紹介しています。「CPG発生装置の概要」や、「酸水素混合ガス（CPG）の有効活用」などを掲載。 …

メーカー・取扱い企業：Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社本社

【資料】エチレンオキサイドガス（EOG）滅菌

それぞれの取扱方法や、酸化エチレン等の有害性など分かりやすく解説した資料です

当資料は、セミナーで使用された「エチレンオキサイドガス（EOG）滅菌」について解説した資料です。 EOGと蒸気それぞれのメリット・デメリットや、ボンベ取扱・ボンベ貯蔵の注意点、取扱方法な…

メーカー・取扱い企業：株式会社ステリテック

【資料】水素酸素ガス発生装置のガス分析結果報告書

水素酸素ガス発生装置「HH-10015000MSX」の定量分析結果を表にまとめています！

当資料は、水素酸素ガス発生装置のガス分析結果に関する報告書です。水素酸素ガス発生装置から発生するガスについて定量分析を行うことを目的としており、分析項目をはじめ、分析方法や分析結果などを掲…

メーカー・取扱い企業：Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社本社

FT-IR用　ガス発生装置

最大流量、17L/min

FT-IR用のパージガス発生装置

メーカー・取扱い企業：川口液化ケミカル株式会社川口事業所

【資料】酸水素混合ガス発生装置と「スクワレン」との組合わせ使用

「スクワレンとは」や「無機ヨードと有機性ヨードと有機ヨードの違い」などを掲載

当資料では、酸水素混合ガス発生装置と「スクワレン」との組合わせ使用について紹介しています。「有機ヨードとスクワレンとクリルオイル」をはじめ、「スクワレンとは」や「オールランドのスクワレ…

メーカー・取扱い企業：Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社本社

株式会社原田商店　事業紹介

産業・医療ガス及びガス関連機器の販売・メンテナンスのことならお任せください！

株式会社原田商店は、工場等で利用する「産業用ガス及び特殊ガス」と、病院等で利用する「医療用ガス」に関するさまざまなガスを扱っています。各種ガスの販売・保守に加え、溶接機・切断機・ロボットか…

メーカー・取扱い企業：株式会社原田商店

【研究資料】酸水素混合ガス（CPG）吸引による人体に対する効果

「特に血液に起因する各種の病気に改善効果が出ていることの根拠」などご紹介！

当資料では、『酸水素混合ガス（CPG）吸引による人体に対する効果』についてご紹介しています。「特に血液に起因する各種の病気に改善効果が出ていることの根拠」をはじめ、「細胞の活性化を促す…

メーカー・取扱い企業：Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社本社

【資料】ウイルス菌感染症に対する感染予防と重症化防止対策について

「TDS製酸水素混合ガス発生装置をご使用された方々からの生の声」などを掲載！

当資料では、ウイルス菌感染症に対する感染予防と重症化防止対策についてご紹介しています。「ウイルス感染症対策機器のご紹介」をはじめ、「酸水素混合ガス（CPG）吸引による人体に対する効果」…

メーカー・取扱い企業：Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社本社

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデ…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデ…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)などのシミュレーションに適したプラズマ解析ソフトウエアです。

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデ…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです

『Particle-PLUS』はCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したシミュレーションソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレ…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

EtherCAT対応マスフローコントローラ　MC-5000C

EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ【特長】 ○デジタルインターフェイスのデ…

メーカー・取扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-430A series

減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-430A

液体マスフローメータLM-3000Lシリーズとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。【特長】 ○液体マスフローメータLM-3…

メーカー・取扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

減圧・常圧プロセス用気化器　VU-206 series

減圧・常圧プロセス用気化器　VU-206

液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です。【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの…

メーカー・取扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

ICPにも対応解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです

『Particle-PLUS』はCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したシミュレーションソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーション…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle-PLUSでは重畳2周波CCPの計算も可能です。

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」シミュレーション事例

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレ…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

マイクロナノバブル・ウルトラファインバブル発生装置　LE3FS型

超微量、世界最小級　ラボ専用　マイクロナノバブル・ウルトラファインバブル生成装置全国出張デモンストレーション・レンタル実施中

ラボ用、試験用卓上装置です。毎分１２０－２００ｃｃの微量生成を安定的にこなします。有機溶媒、油、オゾンに耐性があります。 ●詳細はお問合せください。 https://livingenergie…

メーカー・取扱い企業：リビングエナジー LIVING ENERGIES & Co.

ラボ専用マイクロナノバブル・ファインバブル発生装置LE5S型　

【全国出張デモ・レンタル実施中】お気軽にご用命ください。

耐圧、耐熱性に優れるラボ用ナノバブル発生装置です。研究用途に向きます。 ●詳細はお問合せください。 https://livingenergies.jimdo.com

メーカー・取扱い企業：リビングエナジー LIVING ENERGIES & Co.

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解析」3Dシミュレーション事例

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」シミュレーション事例

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速にエッチング率…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介「AC マグネトロンスパッタリングシミュレーション」

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズマスパッタリング」シミュレーション事例

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンスパッタリング解析」シミュレーション事例

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シミュレーション事例

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッタ『Particle-PLUS』解析事例

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・真空チャンバ内のプラ…

メーカー・取扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

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