超微差圧０～２５Ｐａから２５ｋＰａまでの豊富な圧力レンジで　差圧測定、制御用　圧力センサです。 モデル２６４シリーズは微差圧及びゲージ圧を検知して、一方向、二方向の圧力レンジともリニアなＤＣ０〜５Ｖまたは４〜２０ｍＡの出力に変換します。コンパクトなサイズに作られ、ローコストで超微差圧２５Ｐａから計測できます。過負荷耐圧に優れ（６９ｋＰａ）精度は±１％ＦＳです。ケース外側より容易にゼロ、スパン調整が可能です。

高精度デジタルマノメータ　マノエース　ＡＳＭ３０／４０ ＜特徴＞ ■セトラ社のレゾナントキャパシタンス型圧力センサ ■センサ部は６３０ステンレス鋼の丈夫な一体型構造 ■センサ部にＯリングや溶接部がないので、リークや汚染の心配がなく、真空から高圧までの測定が可能 ■±0.1%FSの高精度 ■コンパクトなケースに大型ＬＥＤ表示を採用 ■センサ外付型が標準、内蔵は特注、用途により選択可 ■上下限警報接点付は35型/45型 ■絶対圧、ゲージ圧、連成圧、負圧の測定モード ■フルスケールレンジに応じたアナログ出力を標準装備 その他詳細は資料請求もしくはカタログダウンロードください。

モデル５４０／５４２シリ－ズ高性能圧力センサは、長期的に高いパフォーマンスが必要な過酷なアプリケーション用に設計されています。 薄膜技術を駆使して製作されたモデル５４０／５４２は、計測精度±０．１％又は±０．０８％　ＦＳから選択でき、使用温度は－５４℃～１２０℃の幅広い温度補償範囲を持っています。センサ出力は３０ｍＶＤＣフルスケールの圧力センサです。 ゲージ圧、シールドゲージ圧、絶対圧は０～１００ｋＰａから最大６９ＭＰａまでの計測範囲から適切な圧力レンジの選択が出来ます。差圧計測は０～１００ｋＰａから２ＭＰａまで計測できます。 圧力レンジの、０～１００ｋＰａから４０ＭＰａまでは１７－４ＰＨステンレス又はインコネルで接液部は構成されます。圧力レンジの、６０、６９ＭＰａと１００００ｐｓｉレンジはインコネル材質だけで構成されます。ステンレス鋼の接液部を注文する時は、モデル５４０を指定しインコネルの接液部を注文する時は、５４２を指定します。モデル５４０／５４２は電気接続に１０-６バイヨネットコネクタ、耐候性ケーブル、モールド水中ケーブル（２００ｍまで）から選択可能です。

使用温度は３００℃までの高温用防爆型 デジタル圧力表示器一体型の圧力センサ接液部ＳＵＳ３１６Ｌフラッシュダイヤフラム採用 ＢＤ社のｘｌａｃｔ　ｉ（イグザクト）シリーズは高温防爆用途に使用出来る優れた表示器一体型の圧力センサです。優れた電子回路技術で設計されデジタル表示とともにコンパクトにケースに収められています。 接液部の圧力ポートやフラッシュダイヤフラムはＳＵＳ３１６Ｌを採用した力センサです。継手部はＧ１コーン型が標準です。圧力レンジは±４０ｋＰａ～４ＭＰａまでの間で選択できます。 補償温度範囲は－２０～８５℃で、媒体温度はゲージ圧が－４０～３００℃まで、絶対圧、連成圧が－４０～１５０℃まで使用できます。 計測精度は±０．１％ＦＳで出力信号はＤＣ４～２０ｍＡが標準です。 保護等級は標準がＩＰ６７です。 ＣＥ適合はＥＮ６１３２６ オプションでセンサ封入オイルの変更も可能です。 オプションでダイヤフラム材質の変更も可能です。

自動明るさ調整機能により節電効果があります 自動明るさ調整機能により節電効果があります

気体、空調用、超微差圧センサ２６６は０～１００Ｐａから５ｋＰａまでの空気圧を測定できます。精度は±１％ＦＳです。 モデル２６６はビルのエネルギー管理システム用に開発されました。ビルの空調加圧と風量の制御に必要とされる分野で精度±１％ＦＳで圧力、流量を測定できる、気体用微差圧センサです。圧力レンジは一方向差圧が０～１００Ｐａから５ｋＰａまでの６レンジを用意、ニ方向差圧は０～±５０Ｐａから±２．５ｋＰａの５レンジを用意しています。電源はＡＣ／ＤＣ共用で９～３０Ｖ、電圧出力は０～５ＶＤＣとＡＣ／ＤＣ共用で１２～３０Ｖ、電圧出力は０～１０Ｖを用意しています。他に電流出力タイプ４～20ｍＡもあります。誤配線に対しての完全な保護がされており配線事故を防ぐ事が出来ます。ケース外側よりゼロ、スパンの調整を行う事が出来るので長期に渡り精度良く使用する事が出来ます。

低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重極残留ガス分析計での計測が難しいXHVガス分析が可能！ 『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計（質量分析計）です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、 低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。 また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、ESDガス放出を低減。 電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。 【アプリケーション例】 ■XHV／UHVの高精度な質量分析 ■表面分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析（質量分析） ■微量ガス分析（TDS／Out Gas） ■封止デバイス／MEMSの質量分析および、10-17Pa・m3／sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。 GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。 GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。

オンラインでのリアルタイム分析が可能！質量分析計や真空ポンプを内蔵しシステム化 『BELMASS II』は、四重極型質量分析計をシステム化し、流路に接続する だけで容易にご使用いただけるよう設計されたオンラインガス分析計です。 配管に吸着しやすいアンモニアのようなガス分析でも、定量性よく測定可能。 MicrotracMRB独自の解析ソフトChem Master IIにより、得られたマススペクトル の解析を行うことができます。 【特長】 ■ガスの定性・定量分析が可能 ■オンラインでのリアルタイム分析が可能 ■質量分析計や真空ポンプを内蔵しシステム化 ■設計段階から配管の素材や形状を厳選し、高い定量性を実現 ■触媒分析装置「BELCAT II」と接続し、触媒反応の測定や 　より高度なキャラクタリゼーションを行うことができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

０～２０　ｓｃｃｍ/ｍｉｎの微小から０～５００ｓｌｍ/ｍｉｎの大流量レンジまで１４レンジ用意。計測精度は±１．５％ＦＳです。 マクミラン社のマスフローメータ５０シリーズは、クリーンでドライな気体を０～２０ｓｃｃｍ/ｍｉｎのような小さい流量から０～５００ｓＬｍ/ｍｉｎのような大きな流量まで、計測精度±１．５％ＦＳで１４種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマスフローセンサ（特許）を採用する事により最小のゼロドリフトを実現し、長期に渡る優れた安定性、再現性、高速応答性を実現しています。全てのモデルはＮＩＳＴにトレーサビリティが確保されています。使用用途により本体材質、継手、電機接続、電源電圧、など選択する事が可能となており、様々な用途に対応する事が可能です。さらにモデル５０Ｄ／５０ＳＤは流量に応じたリニアなＤＣ　０～５Ｖ出力そして３－１／２桁で瞬時流量を計測表示します。

オールザット　ガス分析装置　JIS K-0301 基準 分析・研究に幅広く使用されるガラス製 JIS K-0301 基準 オールザット　ガス分析装置です。

低圧発生用ハンドポンプはＳＴＢ１００の使用により±１ｋＰａまでの発生圧力に変更され分解能０．１Ｐａまでを容易に安定させます。 低圧発生用ハンドポンプＬＰＧ１００は、圧力源の無い現場や作業室で微差圧センサなどの超低圧測定機器の点検や校正を行う際に使用出来る、小型軽量のハンドポンプです。ハンドルの回転で±１０ｋＰａまでの圧力を発生させる事ができます。 スタビライザＳＴＢ１００との組み合わせでポンプの圧力を微圧レンジに低下させるとともに０．１Ｐａの分解能に向上させ±１ｋＰａまでの圧力の発生を容易に行う事を可能にします。発生圧力が急激に変更出来ないので微差圧機器の校正を安全に行う事が出来ます。 またキャリングケースにポンプ、スタビライザ、使用配管類をコンパクトに収納出来るので現場までの運搬や物品棚での整理を簡単にします。

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型 『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で 重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。 【特長】 ■極めて低いノイズ影響 ■接ガス部にインコネルを採用 ■CEマーク対応／RoHS準拠 ■接続継手の選択が可能 ※『730シリーズ』のカタログはPDFダウンロードよりすぐにご確認いただけます。 　そのほかご不明点はお気軽にお問合せください。

液体/液体での微差圧計測をローコストで行える液体用差圧センサ 液体/液体での微差圧計測をローコストで可能にします。　 早い応答性でライン圧影響が小さく高い過負荷圧力と最大ライン圧での使用を可能にします。　 測定モードは、一方向差圧、または、二方向差圧です。 オプションで、バルブマニホールド付きもご用意できます。

媒体温度:-40℃～150℃(絶対圧)又は-40℃～300℃(ゲージ圧)、圧力レンジ:6MPa/10MPa/16MPa ● 媒体温度 ー４０℃～１５０℃（絶対圧）又はー４０℃～３００℃（ゲージ圧） ● 6MPa、10MPa、16MPa の３レンジ ● ゲージ圧、絶対圧の２モード ● 4～20mA または0～10V 出力 ● オプションで本質安全防爆タイプも可能

差圧測定用 圧力表示計 シンプル・コンパクトながら多機能！