省エネ・省コストで湿度処理が可能な除湿給気ユニット『エコサラ』

PR『エコサラ』は、ゼロエネルギーの予冷と再熱で省エネを実現。サラっとした…

『エコサラ』は、エネルギーゼロで予冷と再熱を行う除湿給気ユニットです。 冷却除湿で要するエネルギーを削減できるほか、再熱用温熱源（温水や電気ヒータなど）が不要で 省エネを実現しながらサラっとした空気で室内環境を快適にします。 食品工場で一次エネルギー消費量を78％削減した事例もございます（本例の投資回収年数は2.5年）。 換気のために、大量の外気を取り入れる施設にも適した製品です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 三建設備工業株式会社

品質文書の課題14：記録用紙の発行/回収を管理したい

PR【記録用紙発行(印刷)記録と回収記録を管理可能】文書管理クラウド『Pe…

データインテグリティ規制において記録用紙の発行／回収管理が強く求められています。 具体的には、以下です。 1）発行した文書へ一意の識別子を割り当て、発行者、日時および発行部数を台帳に記録する 2）記録後、書き損じや未使用を含む全ての印刷物を回収管理する 上記のように、記録用紙を管理するのはかなりの手間がかかります。 Perma Documentでは、記録用紙の発行／回収管理が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社野村総合研究所

昇圧機能付き『純水加温ユニット』

新標準の純水加温ユニット！ 昇圧機能を搭載しているので、新旧工場に柔軟…

『JH-72S-SBX/JH-96S-SBX/JH-144S-SBX』は、純水を加温・昇圧して供給する純水加温ユニットです。2in1設計による省プリントを実現しています。 また、昇圧機能付きなので、サブファブへの設置が可能で、クリーンルームにスペースが生まれます。 独自の石英タンク構造と制御機構により、加熱起動が早い省エネ設計。 場所を取らないコンパクト設計なほか、純水圧が足りない環境に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス

卓上ホットプレート 2モデル ＜250℃仕様/350℃仕様＞

コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。

ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。 特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、 温度依存性の高い材料でのプロセス開発においては、 ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。 タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。 ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしまし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス