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10nm分解能で位置決め制御!検査や研究の再現性向上に!
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式:FC-511 接続対象ステージ:FS-10...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)
サブミクロン分解能で位置決め!エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20~40…
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め!再現性に優れ、20~200mmストロークのス…
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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5nm分解能で位置決め!再現性に優れ、可動距離がミリオーダー
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより5nm分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…
00nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ1台で行うことができます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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