撹拌機「AJITER」×水圧モータ「NADS」

PR水の力で撹拌機を動かす！エアーを使わないので空気が綺麗、電気を使わない…

水道水を作動流にするNADSの水圧モータを使用した撹拌機です。 エアーを使わないので空気が綺麗、電気を使わないので環境に配慮した 安全・安心な撹拌機です。 【NADSとは？】 NADSはNACOL株式会社の新・水圧技術（ADS: Aqua Drive System）を 使用したポンプやモータ、リリーフ弁、ソレノイドバルブ等を展開する シリーズ。空圧や電気駆動では難しかった高性能な駆...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社島崎エンジニアリング 本社

Resolution Air社 ピンチバルブ MPPV-EN

Resolution Air社より非接触で高精度な流量制御を可能とする…

レゾリューションエア（Resolution Air）の比例制御ピンチバルブは、高度な衛生管理が要求されるプロセスにおいて非接触且つ高精度な流量制御を可能とします。 中でもMPPV-ENシリーズは、IP65とより高い保護等級構造の為、防塵・防水性が求められるプロセス環境...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

制御機器　「マニホールド用小型シリンダバルブ」

エアシリンダを採用しているため、通電せずにバルブの開閉が行えます

制御機器「マニホールド用小型シリンダバルブ」は、エアシリンダを採用しているため、通電せずにバルブの開閉が行えます。マジックマニフォールドでは1～6連を選定できます。スーパーマニフォールドでは０～１０連を推定できます。使用流体は水・空気です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

小型高精度面積式流量計 NFMシリーズ（バルブ有）

盤への埋込みに適した突出幅の少ないパネル埋込みタイプの流量計

, 5, 10, 25, 50,100 L/M 耐　　圧：1 MPa 温　　度：-10 ℃～+60 ℃ 精　　度：±3 % FS 寸　　法：W 24 ×H 122.4 ×Ｄ 36 mm (バルブ有りの場合：39 mm) 重　　量：75 g 材　　質：本体：PC、O-ring：バイトン、バルブ/接続部：SUS316、フロート：SUS316またはPOM 接 続 径：1/8"Rc,1/4...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクネ計測

【JASIS向け】圧電ポンプ・超小型電磁弁など

このポンプ、ご存じの方はすごい方です！ 圧電ポンプの圧力安定性＋高速…

【用途】 流量調整（送液制御）、圧力制御、小型軽量化、高精度、長寿命、超微量分注、定量分注、面塗布　など 【電磁弁】 小　型：全長：約28mm（バルブボディ：20mm以下）、直径：約7mm 軽　量：たった2g 高　速：最大2～5nL 高寿命：2億5千万回（ピンチバルブ：500万サイクル） 精　密：最大公差：+/-5% 【メカニカル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュピターコーポレーション 本社

ロータメータ FL3600シリーズ

ロータメータ ・精度 ±2% FS ・密閉式スピンドルが回転しない …

len製レンチまたは直径1 mm (3⁄32") の棒で緩めることで、チューブを取り外して交換できます。 このシステムはチューブが取り付けられるときに回転しないように設計されています。 使用されるバルブは、 最大7000 cc/minの空気用バルブと、より高い流量に対応したバルブの、標準的な2種類のバルブだけです。高い分解能を持つ6種類のバルブが使用されます。チューブ交換時の詳細についてはお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パシフィックテクノロジー

水量コントローラー「FCV」

流量センサとバルブの機能を一体化させ、冷却水等の水量をマイコンにより自…

■ マイコン制御による流体流量のコントロール。流量設定値に合わせて、バルブ開度を自動調節。 ■ ＬＣＤ/ＬＥＤ表示機能により、流量/設定値/制御状態を確認できる。 ■ 流量に対する警報設定が可能。 ■ 全閉入力により、バルブを全閉することが可能。 ■ ユーザー機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

現場カウンタ型空気式定量計　タイプRSCN

操作源は空気のみで経済的。防爆の必要な場所でも安心して使用可能。

現場カウンタ型空気式定量計　タイプRSCNは、機械式プリセットカウンタと積算カウンタを装備しています。空気式バルブを組み合わせることにより、現場で容易に定量バッチができます。設定量は、設定ボタンにより任意に設定可能です。スタートスイッチを押すとバルブが開き計量を開始、設定量に達すると自動的にバルブが閉止します...

メーカー・取り扱い企業： 日東精工株式会社

総合カタログ『流体計測制御機器』進呈！【セミコンジャパン出展】

『流体計測制御機器』を多数掲載！選定方法の記載もあり、使用環境に適した…

ます。 各種流体計測機器の原理や選定の手引きも掲載しており、製品の選定にお役立てください。 【掲載内容】 ■マスフローコントローラ/メータ（電子式流量計） ■フローメータ ■流量制御バルブ ■圧力制御バルブ ■その他配管部品 ■ガス発生装置/エンジニアリング装置 ＜セミコンジャパン2023に出展します！＞ 半導体洗浄装置等の清浄度を要求されるプロセスに向けて開発中のク...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

微小流量コントローラ『Z3000型』

流量計に熱式流量計を採用！1～25ｍL/minの微小領域のコントロール…

『Z3000型』は、熱式微小流量計とモーターバルブを組み合わせた 微小流量コントローラです。 バルブユニットとコントローラユニットを一体型にし、小さいスペースで 取り付けが可能。 また、通信ポートを本体側面に装備し、専用オペレーシ...

メーカー・取り扱い企業： サーパス工業株式会社 本社

液体流量コントローラー『Zシリーズ』

バルブと組み合わせたユニットの提案も可能！装置の省スペース化に貢献

『Zシリーズ』は、流量計・モーターバルブ・コントローラーユニットを 一体化した、小型でコンパクトな液体用フローコントローラーです。 全て幅30.5mmで統一してラインアップ。 複数台並べて設置しても場所を取りません。 ま...

メーカー・取り扱い企業： サーパス工業株式会社 本社

ガラス管面積流量計　ショーレートモデル 1350G, 1355G

実証済みの小流量レートにおけるパフォーマンス。様々なニーズにマッチする…

『ショーレートモデル 1350G, 1355G』は、様々な種類の気体や 液体用に適したガラス管面積流量計です。 基本構成は、316SS製エンドブロックやアダプタ、バルブと共に ホウケイ酸ガラス製テーパ管が一つのアルミニウム製フレームに 組み込まれてたものです。 それに加えて様々なアプリケーションに対して適切な構成を 提供するため、それ以外の材質やフロ...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

MODEL RK1812/RK1814 SERIES

上部ニードルバルブ仕様対応！5～55℃で使用可能なフォトセンサ付フロー…

『MODEL RK1812/RK1814 SERIES』は、±2％F.S.以下の高精度な計測が 可能なフローメータです。 フォトセンサによる警報機能あり。非回転構造の精密ニードルバルブにより 優れた制御性能を有します。 また、上部ニードルバルブ仕様にも対応しております。 【特長】 ■フォトセンサによる警報機能あり ■±2％F.S.以下の高精度な計測が可能 ■...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL 3810DSII SERIES

積算パルス出力あり！アラーム設定など、各種機能を使用できるローコストマ…

示器一体型のローコストマスフロー メータです。 瞬時/積算流量表示、アラーム設定など各種機能を使用可能。アナログ出力 4-20mA/1-5VDCを選択いただけます。 また、ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御もできます。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±2～3％F....

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL RK1970/RK1975/RK1976SERIES

バルブ有り・無しタイプをご用意！リードスイッチ付フローメータをご紹介

『MODEL RK1970/RK1975/RK1976 SERIES』は、上部ニードルバルブ仕様に 対応するフローメータです。 リードスイッチによる警報機能あり。対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、 O2、CO2等の気体、H2O（液体）です。 接流体部にはSUS31...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

コンパクトリードアウトユニット『MODEL CR-400B』

瞬時/積算流量表示やアラーム設定など、表示器操作で各種機能使用可能！

『MODEL CR-400B』は、マスフローコントローラ/メータ用電源及び 流量設定表示器です。 瞬時/積算流量表示、アラーム設定、マスフローコントローラのバルブ強制 開閉など、各種機能を使用可能。 RS485通信機能やアナログ入出力0-5VDCによる外部からの操作もできます。 【特長】 ■マスフローコントローラ/メータ用電源及び流量設定表...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

水及び水性液用高圧高精度微小流量計『P234MZ』

広域測定レンジにわたり低圧損と高精度！4－ピストンタイプ高圧（21MP…

Z』は、広域測定レンジにわたり低圧損と高精度の4－ピストンタイプ高圧（21MPa）高精度微小流量計（SUS316製）です。 水及び水性溶液（pH4~12）の流体測定に活用可能です。 逆浸透膜やバルブテスト（バルブ製造プラント）、リークテスト（プロセス及び生産リークテスト）や樹脂硬化剤用MEKP等の微小流量測定及び制御などの用途でご利用いただけます。 【特長】 ■流量測定範囲　 ：1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東洋コントロールズ

多系統のラインをコンパクトに集合配管　スーパーマニホールド

流量計、電磁弁、バルブなどが集中する配管部分をコンパクトにします。施工…

スーパーマニホールドは流量計や電磁弁、バルブなどのパーツを搭載できる集合ブロック。大口径(1インチ)のメイン配管から最大10ブロックの連結が可能で、多系統分岐の冷却水ラインに有効。配管設計工数の削減、配管施工の作業性UP、メンテナンスが容易...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

マスフローコントローラ/メータ『5850Eシリーズ』

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測…

必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿勢の影響なし ■他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 ■電動式バルブオーバーライド ■耐腐食バルブ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

EXE-FLOW MODEL EX-700R SERIES

ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能！デジタルマスフローメー…

『EXE-FLOW MODEL EX-700R SERIES』は、表示器一体型で各種機能を 使用できるデジタルマスフローメータです。 ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能。 RS485通信機能、アナログ出力4-20mA（0-5VDC/1-5VDCに変更可能）、 積算パルス出力を有しております。 【特長】 ■対象流体：...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

流量計『S-LABO流量計』

S-LABOシリーズに最適！高いガス純度保持力をもつ流量計

『S-LABO流量計』は、S-LABOシリーズに合わせて使いやすく設計した流量計です。 クリーンルーム内で洗浄組み立てているので、ガスの純度保持に優れております。 さらに、バルブにはガスの純度保持に優れているフッ素系グリスを使用しています。 【特長】 ■接ガス部金属は真鍮とステンレスの2種類をご用意 ■クリーンルーム内で洗浄組み立て ■バルブにはガスの純度保持...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

Flo-tech　油圧用タービン流量計、ポータブル油圧テスタ

油圧の流量計、及び、流量・温度・圧力を同時測定するポータブル型の油圧テ…

ジは５段階あります ●大型の３－１／２桁ＬＣＤで流量及び温度を表示 ●圧力 ゲージはヘリカルチューブ方式 ●取扱は簡単 トグルスイッチの 操作のみで、流量，温度を測定 ●指先 による 負荷バルブ制御 ●プラチナ抵抗温度センサーを採用 ●サージ圧力防御機能 ●タービンフロー式センサーで応答速度迅速 ●SAEまたはBSPP配管が可能 ●測定圧力 最高 41.4 MPa ●測定温度...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部

ローコストガス混合器『CUBE GMシリーズ』

必要最小限の構成により低価格を実現！安定した混合ガスの供給が可能！

『CUBE GMシリーズ』は、マスフローコントローラー・制御電源・バルブ・ 逆止弁・ガスミキサーをオールインワンしたユニットタイプのガス混合器です。 IN側とOUT側に配管を接続するだけで2～4種類のガスを任意の流量に 設定・制御して、混合ガスを供給します。...

メーカー・取り扱い企業： エフコン株式会社 本社

ブローバイメータ『SBM-2200』

流体の密度や粘度の影響を受けずにブローバイ流量を測定可能な流量計

『SBM-2200』は、エンジンのクランクケース内に流れ込む ブローバイガス（吹き抜け）の流量を測定するための流量計です。 ブローバイ流量の測定はピストンリング、バルブスリーブ、および シリンダ等の摩耗状況を把握する手段として用いられています。 当製品はカルマン渦の原理を用いているため、流体の密度や粘度の影響を 受けずにブローバイ流量を測定できます。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社司測研 本社

フローメータ『MODEL RK4400 SERIES』

精度±2%F.S.で最高使用温度は40℃！ボンベレギュレータの取付が可…

フローメータです。 対象流体は、N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2 等の気体。 最大流量は10mL/min～20L/minとなっています。 また、非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた 制御性能を有しています。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量(Air 大気圧) 　・10、50、100、500...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

ガスフローセンサー

次世代タイプのガスフローセンサー

センサ（MEMS）素子と増幅器及びA/D変換回路を単一のCMOSチップ上に一体化しています。デジタルでキャリブレートされ温度補正されたセンサ信号は直接CMOSensチップ上でPWM信号に変換され、バルブを制御する高速のアナログ制御回路で使用されます。この結果、非常に高精度、速い設定時間、広いダイナミック・レンジが実現されます。すべてのデバイスはNISTトレーサビリティーに基づき校正されています。...

メーカー・取り扱い企業： センシリオン株式会社

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』

高圧ガス保安協会（KHK）の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略…

ラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、 水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。 「SLA5850 マスフローコントローラ ノーマルクローズバルブ」は、 高圧ガス保安協会（KHK）の認証を取得しており、 都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため、 非常にスムーズな導入が可能になります。（フローメータでの対応も可能） 【特...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

ガラス管面積式流量計『Model GT1600』

ご希望の流量に合わせて当社指定のスケール/目盛の選択ができる流量計

【オプション】 ■高流量・低流量アラーム ■パネル・壁付け ■ニードルバルブ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

電源付デジタル指示設定器「E-8000シリーズ」

実流量・積算流量の表示や設定値変更、積算流量のリセット等が可能です。

M/MFCに内蔵された上限8流体/カーブ）の選択が可能 CEMシステム(温度コントローラ・ヒーター用電源)用モデル、防爆マスフローメータ・コントローラEX-FLOW用モデル、サードパーティ製バルブ・アクチュエータ用PIDコントローラ内蔵モデルもございます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

マスフローコントローラ/メータ『4800シリーズ』

スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答！幅広い種類の非腐食性ガス…

0シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性 も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された 専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、 当製品は実流量を高速で追従させることができます。 【特長】 ■流量応答時間（セトリン...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

流量表示計高速応答タイプ『TD900シリーズ』

高速演算＆高速出力の高精度流量表示計！2台同時入力・同時表示も可能！

0シリーズ』は高速演算、高速出力の高精度流量表示計です。 正逆流に対する瞬時流量出力（±10VDC）や2相パルス入力タイプでは 4逓倍入力によりパルス分解能を1/4で演算できます。 バルブの開閉やポンプ起動時の流量変化、サーボモータや インバータによるポンプ吐出流量の変化やピストンポンプ等の脈動流にも 追従した流量変化を限りなくリアルに出力します。 オプションにてCAN出...

メーカー・取り扱い企業： 日本テスコン株式会社

アプリケーション例『高純度化学薬品を使用した排水処理』

高い化学耐性を持つバルブをご提案

プロセス排水は多種多様であるため,設備やコンポーネントには高い処理能力が求められます。 新たな生産プロセスが排水の物理的,化学的環境負荷を増大させる一方で,排出量低減,水質基準への要求も厳しくなっています。 GEMÜはプロセス排水の種類や温度,圧力に応じて,主にPP,PVDF,PFA製の,排水処理に最適なコンポーネントをご用意しております。...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『ハイテク産業における水処理』

様々な純度の水に対応可能なバルブをご提案

ハイテク産業において製品の最終的な品質は,超純水ないし純水と呼ばれる水の清純度によって決まります。 GEMÜのハイピュリティーダイアフラムバルブは超純水の処理,輸送供給とプロセスラインでの使用を前提に開発されました。 またハイテク産業向けに限らず,GEMÜは水処理に関わる設備向けに幅広く製品をラインナップしております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

小型高精度面積式流量計 NFMシリーズ（バルブ無）

盤への埋込みに適した突出幅の少ないパネル埋込みタイプの流量計

, 5, 10, 25, 50,100 L/M 耐　　圧：1 MPa 温　　度：-10 ℃～+60 ℃ 精　　度：±3 % FS 寸　　法：W 24 ×H 122.4 ×Ｄ 36 mm (バルブ有りの場合：39 mm) 重　　量：75 g 材　　質：本体：PC、O-ring：バイトン、バルブ/接続部：SUS316、フロート：SUS316またはPOM 接 続 径：1/8"Rc,1/4...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクネ計測

フレキシブルフローメータ『MODEL RK1100SERIES』

上部ニードルバルブ仕様対応！N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO…

『MODEL RK1100 SERIES』は、分解組立が可能なフレキシブル フローメータです。 上部ニードルバルブ仕様対応。非回転構造の精密ニードルバルブを 選択できます。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、最大流量は 10mL/min～20L/minとなっております。...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

フローメータ『MODEL RK1500 SERIES』

ベローズシール型のニードルバルブにより低リーク！微少流量から対応します…

『MODEL RK1500 SERIES』は、±2％F.S.以下の高精度な計測ができる フローメータです。 微少流量から対応。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた 制御性能を有します。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、H2O（液体）と なっております。 【特長】 ■ベローズシール型のニードルバル...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

フローメータ『MODEL RK1200 SERIES』

精密ニードルバルブ付！豊富なバリエーションで様々な使用条件に対応します

『MODEL RK1200 SERIES』は、微少流量から幅広い流量レンジに 対応するフローメータです。 非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能を有し、 ±2％F.S.以下の高精度な計測が可能。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、H2O（液体）です。 【特長】 ■微少流量か...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

マルチフローメータ『MODEL RK120X SERIES』

1台で2～4ラインのガスの計測制御が可能！微少流量から対応するマルチフ…

『MODEL RK120X SERIES』は、スタンド取付ができるニードルバルブ付 マルチフローメータです。 1台で2～4ラインのガスの計測制御が可能。±2％F.S.以下の高精度な 計測が行えます。 また、非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能を有...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

スタンド付フローメータ『MODEL RK1310 SERIES』

最高使用温度は60℃！非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性…

『MODEL RK1310 SERIES』は、±2％以下の高精度な計測ができる スタンド付フローメータです。 微少流量から対応。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた 制御性能を有します。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、H2O（液体） となっております。 【特長】 ■スタンド付き ■微少流量から...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL RK2000/RK2005/RK2006SERIES

リードスイッチによる警報機能あり！精度±5％F.S.の大流量用フローメ…

『MODEL RK2000/RK2005/RK2006 SERIES』は、上部ニードルバルブ仕様に 対応する大流量用フローメータです。 リードスイッチによる警報機能あり。対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、 O2、CO2等の気体、H2O（液体）です。 また、バルブ有...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

マルチフローメータ『MODEL RK120XM SERIES』

非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能！2～4ラインの簡易…

『MODEL RK120XM SERIES』は、ガス混合用のマルチフローメータです。 スタンド取付でき、±2％F.S.以下の高精度な計測が可能。非回転構造の 精密ニードルバルブにより優れた制御性能を有しています。 また、対象流体は、N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体で、最大流量 50mL/min～10L/min(1ライン10L/min以下、トー...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

パージフローメータ『MODEL RK1600R SERIES』

ニードルバルブ付！N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体…

『MODEL RK1600R SERIES』は、コンパクト設計のニードルバルブ付 パージフローメータです。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、最大流量は 1～20L/minとなっております。 ご用命の際は、当社までお気軽にご相談...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL 3660 SERIES

N2、Air、H2、He等が対象！幅広い流量レンジに対応するスタンダー…

【標準仕様（抜粋）】 ■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉） ■再現性：±0.5％F.S ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：5～45℃ ■重量 　・3660：約1000g 　・3665：...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL 8700 SERIES

表示器一体型で各種機能使用可能！マスフローコントローラ/メータをご紹介

【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉） ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：5～45℃ ■重量 　・8700MC/MM：約1200g 　・8750MC/MM：約1500...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL 3200 SERIES

デッドボリューム低減！精度±1％F.S.のハイグレードマスフローコント…

『MODEL 3200 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する ハイグレードマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLM となっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、A...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL 5100 SERIES

デッドボリューム低減！最大流量1SCCM～20SLMのメタルシールマス…

『MODEL 5100 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する メタルシールマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMと なっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、A...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡