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半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット!
mm~選択可能 ■Z軸バリエーションは200mm~選択可能 ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ■装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適なツインアームロボット!
mmの二種類 ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■ツインアーム採用によりウエハ交換時間短縮 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適!
【特長】 ■アームバリエーションは100mmから選択可能 ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能 ■動作モニター装備 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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装置レイアウトの小型化が可能なクリーンロボット!
【特長】 ■アームバリエーションは100mm ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算0.5kgf以下 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ■動作モニター装備 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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