ナンバリングアップで量産フロー検討「集積型マイクロリアクター」

PR各種反応や混合を内部ナンバリングアップにより流量増大 閉塞回避構造…

集積型マイクロリアクターラインアップ ◇2ｘ2タイプ　AB各流路4流路　 ～500ml/min ◇4ｘ4タイプ　AB各流路16流路　～1.5L/min ◇8ｘ8タイプ　AB各流路64流路　～3L/min 集積型マイクロリアクターの特徴 ◆コンパクトサイズ ◆分解洗浄可能 ◆最大数3000ml/minの処理能力 ◆液-液、気-液、気-気混合にも対応 ◆再結晶にも応用可能 ◆...

メーカー・取り扱い企業： マックエンジニアリング株式会社

無菌試験用卓上型ユニバーサルポンプ『Sterisart』

PRクリーンルーム、バイオセーフティキャビネットなど高度な無菌処理システム…

卓上用ユニバーサルポンプ『Sterisart』第4世代は、 薄型でコンパクトな設計となっています。 ラミナーフローのベンチトップ、RABS、無菌試験アイソレーターなど、さまざまな作業スペースに適合可能です。 高性能のローターヘッドにより、さまざまな回転数で安定した液体分割を実現。 微生物汚染物質へのストレスを最小限に抑え、プロセスの安全性を強化します。 【特長】 ◆過酸化水素を...

メーカー・取り扱い企業： ザルトリウス・ジャパン株式会社

ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』

ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ

さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ハードプロセス向け ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

ドライ真空ポンプ『MU-X シリーズ』

世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが…

シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.35kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

ドライ真空ポンプ『MU-P/Hシリーズ』

省エネ「だけじゃない」！世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現

『MU-P/Hシリーズ』は、省エネでありながら、プロセス耐性に優れた ルーツ型ドライ真空ポンプです。 軽負荷から中負荷までのあらゆる製造装置に組み込みが可能です。 「MU-Hシリーズ」は、更なる耐プロセス性向上のため、HOT-N2パージの...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』

あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化

分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

ドライ真空ポンプ『SDE-Xシリーズ』

あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！省エネに対応

『SDE-Xシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 消費電力1.3kW、多彩な設定で幅広いプロセスに対応。 SDEの耐プロセス性を継承した省エネモデルです。 【ラインアップ】 ■SDE90X ■SDE303X ■SDE603X ■SDE1203X ■SDE20M09X ■S...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社