真空仕様ローラガイド『真空用ミリオンガイド V-GNシリーズ』

最大10-5Paの真空環境に対応！高剛性、不回転を実現した直動ガイド新…

【使用用途例】 ・半導体製造装置 ・FPD製造装置 ・真空薄膜作製装置 ・ストレージデバイス装置　など 【対応シリーズ】 GNZ・GNG・GNS・GNSH・ZG ※シリーズに関しては当社HP（http:/...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

FA装置用・金型用 直動ガイド『ミリオンガイドシリーズ』

“ボールからローラへ” 高剛性・高精度・低振動な直動ガイド

二次電池製造装置・実装機・半導体・液晶・タッチパネルなどの生産には、 高精度・高剛性なガイドポストが必要になります。 アイセルでは、ニードルローラを用いた超精密直動ガイドを開発。 独自の技術により突入時の衝突・摩擦・振動を軽減し高精度な直進性を実現、 また転動体をボールからローラに替えることにより接触面積が大きくなるため 高剛性を実現しています。 【ミリオンガイドシリーズの特徴...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

FA装置用・金型用ガイドポスト『ミリオンガイドシリーズ』

“ボールからローラへ” 高剛性・高精度・低振動な直動ガイド

二次電池製造装置・実装機・半導体・液晶・タッチパネルなどの生産には、 高精度・高剛性なガイドポストが必要になります。 アイセルでは、ニードルローラを用いた超精密直動ガイドを開発。 独自の技術により突入時の衝突・摩擦・振動を軽減し高精度な直進性を実現、 また転動体をボールからローラに替えることにより接触面積が大きくなるため 高剛性を実現しています。 【ミリオンガイドの特徴】 1...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』

従来比３倍の繰返し精度！位置決め精度±１μｍを実現した高精度アクチュエ…

『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ステッパーなど、各種光学機器のレンズ・ミラー移動や微少角度調整、カメラ・センサの位置調整といった微調整用途に最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

超高精度・高剛性直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』

1μmの剛性・送り精度・直進性を兼ね備えたアクチュエータ

本製品は、高精度な微小直動送りが必要とされる光学機器のレンズ・ ミラー移動、微小角度調整や半導体製造装置のアライメントステージ X・Y・θ軸調整部などに用いられる直動アクチュエータです。 ガイド部には非開放型ローラ式ガイド「ミリオンガイド」の活用と 独自構造の開発により、サブミクロン単...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

FA装置用Z軸多面形ガイド半導体製造装置位置決め機構コストダウン

FA装置用Z軸ミリオンガイド『ZGシリーズ』

『ミリオンガイドZGシリーズ』は、転動体にローラーを使用することで剛性を高めたFA装置向けのZ軸ガイド。低予圧・低振動でガタが無く精度も抜群です。 ZGシリーズは高剛性・不回転なため単軸で使用することが可能で、複数軸使用する必要のあるリニアガイドと比較して 省スペース・組立工数の削減・良好な荷重バランスを実現することが可能などのメリットがあります。 【特長】 ■ころがり抵抗を極限ま...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

超小型・高精度アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ　20角』

【超小型版が新登場】当社比で58％のスペース削減を実現！繰り返し位置決…

当社比で58％のスペース削減を実現した”20mm角サイズ”の超小型版が新登場！！ 『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ステッパーなど、各種光学機器のレン...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社