【半導体関連】装置の安全カバーフレームの製造

最短半日見積り／半導体製造関連／実装機械 等、装置の部分的な製作、装置…

◎お客様 装置メーカー・FA用機器 様 ◎ご依頼内容 自動化装置の安全カバーフレーム部分の製造 半導体製造装置メーカー様用 ◎主な仕様 [数量]　装置カバーA　1台　／装置カバーB　1台 [寸法(mm)／Ｗ×Ｄ×T] 装置カバーA ： 2240mm　×　1750mm　×　1935mm 装置カバーB...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

【微細加工】 A5052 ／ 旋盤加工品

最短半日見積り／半導体製造装置部品／アルミ加工品／微細加工

「実績紹介」 　〈材料〉アルミ（A5052） 　〈加工〉NC旋盤加工 　〈用途〉半導体製造装置部品 　〈サイズ〉φ25×40mm 〈特徴〉 こちらの製品は、A5052（アルミ）を使用して加工されています。 半導体製造装置部品に用いられる為、傷や打痕不可で、 バリやカエリにより製品搬送...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

樹脂・プラスチック加工部品の事例紹介！図面は2d・3dどちらでも

最短半日見積り／樹脂・プラスチックなどの加工部品はお任せ下さい。図面は…

実現致します。 図面は2d・3dどちらでも！図面がない場合も現物から製図対応可能です。 <事例> ・スーパーエンプラ系樹脂のPEEK材（PK-450）／プローブホルダー 切削加工 →某大手半導体製造装置メーカー様 ・POM（ポリアセタール）／PTFE（フッ素樹脂）／MCナイロン 各種の切削加工 →半導体装置、食品設備部品、医療機械など アルミ・ステンレス部品を単品加工で対応します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

レーザーカットや曲げ加工等の精密板金加工はお任せください！

最短半日見積り／SPCC（薄板）をレザーカット後にプレス曲げ加工を行い…

わせ内容により事なる場合もあります。 精密板金加工でお困りの際は、是非、エージェンシーアシストにお問合せ下さい！ 特に、多品種少量、試作部品、産業用ロボット部品、開発部品、 光学機器部品、半導体製造装置関連部品は是非お任せ下さい。 その他、実績をご覧になる場合は、下記のカタログをダウンロード。 また、アルミ・ステンレス部品を単品加工で対応します。 公式HPにも板金加工品の加工実績を掲載し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

【納入実績】メカトロニクス装置　ハンドラー

各種電子部品用のハンドラーをお客様の仕様に応じて設計・製作します。

各種デバイス（TSOP，BGA，QFP，CSP）、各種電子部品用のハンドラーを お客様の仕様に応じて設計・製作します。 多数個処理、高速インデックス、常温・高温環境等の技術、そして、 自重落下搬送方式から水平搬送方式まで用途に応じた提案が可能です。 低コストの専用機として、半導体や電子部品の製造プロセスの高効率化に 寄与しています。 【特長】 ■お客様の仕様に応じて設計・...

メーカー・取り扱い企業： 応用電機株式会社 神奈川事業部（大和工場）

ステンレス(SUS303)／マシニング／研磨仕上げ

最短半日見積り／平面研磨、円筒研磨、バレル研磨、バフ仕上げもお任せ下さ…

「実績紹介」 　〈材料〉ステンレス／SUS303 　〈加工〉マシニング加工／フライス／研磨 　〈サイズ〉H6mm×D40×W75mm こちらの製品は、SUS303（ステンレス）を使用しており 上面を平面研磨で仕上げています。 合せ面精度の向上や加工精度の向上、 耐摩耗性、耐食性の向上が期待できます。 その他、円筒研磨、バフ仕上げ、バレル研磨等にも対応可能で 食品機械、医療機械、半導体製造関連...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

電動アクチュエータ　CMX （精密ステージ） [THK公式］

画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）

ることで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。 さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装置、プリント基板製造装置・検査装置、太陽電池製造装置・検査装置、電子デバイス製造装置・検査装置など、様々な分野の装置に使用されております。 なお...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

西海工業株式会社　事業紹介

テーマは「21世紀のＩＮＮＯＶＡＴＩＯＮ＆ＩＮＴＥＬＬＩＧＥＮＴ」

西海工業株式会社はプラントエンジニアリング会社として多様な分野に進出させていただき、その環を拡大させ、お客様の要望にお応えしております。 システムを支える幅広い経験を持ち合わせ、深みのある技術力を更に発展させ、業界から信頼される存在であり続けたいと願っております。 ２１世紀は国際社会に於いても、日本の確かな技術と信頼性は高く評価されています。 大型プラント時代から、優れたコンパクトな装置へと...

メーカー・取り扱い企業： 西海工業株式会社

真空仕様ローラガイド『真空用ミリオンガイド V-GNシリーズ』

最大10-5Paの真空環境に対応！高剛性、不回転を実現した直動ガイド新…

【使用用途例】 ・半導体製造装置 ・FPD製造装置 ・真空薄膜作製装置 ・ストレージデバイス装置　など 【対応シリーズ】 GNZ・GNG・GNS・GNSH・ZG ※シリーズに関しては当社HP（http:/...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

切削技術

自動車関連や半導体製造装置関連の製品など！技術開発した独自のノウハウが…

【その他の製品例】 ■半導体製造装置関連 ・ノズルハウジング、樹脂性シリンダーピン ■工作機械、一般産業関連 ・ベアリングなどの部品、ボールネジサポートユニット ・ガス流量制御機器部品、その他精密部品 ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： アムデックス株式会社 本社

FA装置用・金型用 直動ガイド『ミリオンガイドシリーズ』

“ボールからローラへ” 高剛性・高精度・低振動な直動ガイド

二次電池製造装置・実装機・半導体・液晶・タッチパネルなどの生産には、 高精度・高剛性なガイドポストが必要になります。 アイセルでは、ニードルローラを用いた超精密直動ガイドを開発。 独自の技術により突入時の衝突・摩擦・振動を軽減し高精度な直進性を実現、 また転動体をボールからローラに替えることにより接触面積が大きくなるため 高剛性を実現しています。 【ミリオンガイドシリーズの特徴...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

株式会社アイ・エス　事業紹介

超精密加工を得意とする株式会社アイ・エスの事業紹介

株式会社アイ・エスは、池田精工本社よりサニタリー部を分離独立する形 でスタートし、NC/MC・複合機等による微細・精密加工を主体とした 産業用機械部品製品を製造しています。 高精度ステンレス加工で培った技術で、食品、医療用、水素対応加工 部品等、高付加価値商品にも対応できます。 【製造品目】 ■食品・医薬品製造プラントの充填機部品 ■包装機部品 ■半導体・液晶製造装置部品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・エス

愛知産業 エンジニアリング本部のご案内

永年蓄積した省力化・自動化の設計製作技術で、新世代の設備システムをご提…

1974年にエンジニアリング部門は、愛晃エンジニアリング株式会社として 独立しましたが、2017年には、お客様からのシステム設計と エンジニアリングサービスのニーズに応えるために愛知産業と統合し、 エンジニアリング本部が発足しました。 愛知産業が海外から導入する技術や製品をエンジニアリング本部で組み込み、 自動化したシステムや特殊設計のプラント設備には他社には負けない 技術を有して...

メーカー・取り扱い企業： 愛知産業株式会社

FA装置用・金型用ガイドポスト『ミリオンガイドシリーズ』

“ボールからローラへ” 高剛性・高精度・低振動な直動ガイド

二次電池製造装置・実装機・半導体・液晶・タッチパネルなどの生産には、 高精度・高剛性なガイドポストが必要になります。 アイセルでは、ニードルローラを用いた超精密直動ガイドを開発。 独自の技術により突入時の衝突・摩擦・振動を軽減し高精度な直進性を実現、 また転動体をボールからローラに替えることにより接触面積が大きくなるため 高剛性を実現しています。 【ミリオンガイドの特徴】 1...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

【ケーススタディ】自動化によるプロセスの合理化

共同アプリケーションでプロセスを自動化！イノベーションを成功に導きまし…

半導体製造装置や医療機器、ロボット自動化装置、食品機械などのメーカー である株式会社サンマツは、“1点1点完全受注生産”をモットーとしています。 しかし、サイズ・形状・機能が異なる製品を一度に1つずつ顧客のニーズを 満たすには、生産のセットアップをより頻繁に交換する必要があり、同社は 切削工程を合理化するために、1台の高度なマシニングセンター(MC)に対して 2台の工作機械を切り替えました...

メーカー・取り扱い企業： OnRobot Japan　株式会社

ケイドン「転がり軸受　製品一覧」

ケイドンは、超薄型シリーズだけでなく、各種転がり軸受をラインアップ！

【超薄型ボールベアリング】 ■ 驚きの薄さと軽さで、装置の軽量化と省スペース化に貢献 ■ アンギュラコンタクト（Type-A）や深溝型（Type-C）に加え、4点接触型（Type-X）をラインアップ ■ 4点接触型は、ベアリング1個でラジアル・スラスト・モーメントの複合荷重を受けられます。 ■ ボールならではの、軽トルクの回転と高い回転精度を実現 ■ 半導体装置や宇宙用途の真空環境向けに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社木村洋行

精密リニアパック ER形：THK株式会社

精密計測装置や半導体の製造・検査装置など精密な直線運動が必要な箇所に適…

ER形は、ステンレス鋼板を精密成形し、熱処理したあとで研削仕上げされたスライドユニットです。 アウタレールとインナのV溝間を、ボールが転がり運動してスライドする構造で、そのボールがインナに取付けられているボールケースの中を循環し、無限直線運動を行う極薄軽量タイプのユニットです。...■THK 精密リニアパック ER 特長 ・設計・組立コストの削減 　精密機器等に使用されている従来のミ...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

リニアガイド（リニアモーションガイド）［THK公式］

工作機械、半導体・液晶製造装置、産業用ロボット、医療・福祉、輸送機器、…

リニアガイドは回転運動で実現していたベアリングを応用し、 軽く、まっすぐ動かす働きを持つ機械要素部品です。 ISOでは「Recirculating linear ball bearing」 、JISでは 「玉循環リニア軸受」、工作機械工業会では「リニアガイドウェイ」と 呼んでいます。その他「直動ボールガイド」など複数の呼び名があり、 直線運動用のベアリングという意味で「リニアベアリング」...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

THK製品寿命計算ツール| THK テクニカルサポートサイト

THK製品の寿命算出が可能!　使用条件や選定された形番を選択できます!…

THK寿命計算ツールは、無料で使えるオンラインサービスです。 ＜特長＞ ・お客様ごとの装置構成に対応した(ex.偏荷重等)製品寿命の算出が可能 ・主要製品であるLMガイド、ボールねじ、電動アクチュエータをご準備 ・計算結果の保存(10件)、PDFシートに書き出しも可能 ・結果を呼び出しての再計算も簡単 関連リンクから寿命計算ツールのある、 THKテクニカルサポートサイトにお入...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

株式会社太武製作所　事業紹介

独自の加工技術を駆使し皆様のお悩み解決を手伝いします

株式会社太武製作所は、幅広い業界向けに精密機械部品を製造・販売 しております。 日々の技術進歩、多様化するニーズに対応するため、独自の加工技術 を駆使しつつ皆様のお悩み解決をお手伝いします。 また、試作品やカスタムメード品等、多品種小ロット生産にも柔軟に 対応します。 図面は出来たが要求精度が厳しく、自社内や現行取引先では加工でき ない、試作・評価用に1個だけ欲しいが小ロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社太武製作所

有限会社伊藤製作所　事業紹介

高品質・高技術の精密部品加工

有限会社伊藤製作所は、アルミを主体とした厳しい精度を要求される精密部品 加工を行っている会社です。 3次元CAD/CAMや高精度マシニングセンターの導入などで設備強化を図り、 試作・多品種少量・量産等に挑戦し幅広く実績を積んでいます。 これからも独自のものづくり技術を磨いて多様化するニーズに対応し、より 良い社会づくりに貢献し、お客様にとって価値あるサービスを提供し続けて いき...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社伊藤製作所

高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』

従来比３倍の繰返し精度！位置決め精度±１μｍを実現した高精度アクチュエ…

『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ステッパーなど、各種光学機器のレンズ・ミラー移動や微少角度調整、カメラ・センサの位置調整といった微調整用途に最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

日本システム・エイト株式会社　CSソリューション事業部のご紹介

技術に特化したソリューションをご提案いたします

【設計・開発業務の実績】 ■機械系 　・精密機械（半導体製造装置、自動計測装置、医用機器他） 　　産業機械（建設機械、大型印刷機械他） 　　プラント（電力、コンビナート、製鉄所他）の構想～基本設計、詳細設計 　・自動車関連（エンジン、燃料他）各種製品...

メーカー・取り扱い企業： 日本システム・エイト株式会社

サーボモータ専用直行軸タイプ減速機『EVS』：ニデック

高剛性、大容量タイプ。半導体製造装置、工作機械など幅広いバリエーション…

テーパローラベアリングを採用し、高荷重容量を実現。 ■特長 ・省スペース 　スパイラルベベルギヤを使用した直交減速機モータの取付方向を90度曲げられるため、省スペース設計が可能 ・高剛性・高トルク 　総ころ形軸受を採用し、剛性・トルクを大幅にアップ ・高荷重容量 　主軸受にテーパローラベアリングを採用し、高荷重容量を実現 ・アダプタ・ブッシング方式 　世界中のモータに取...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

AIREX メカニカルシャフト ネジ式 [真空環境用]

発塵を抑える構造！太陽光パネル・半導体製造装置などの巻取・繰出軸として…

当製品は、真空環境で使用出来るAIREX メカニカルシャフト （ネジ式）です。 使用部品はガス放出量の少ない材料を使用しており、 コア着脱時の接触発塵を抑えるため、ボディ外径部に コロユニットを埋設。 組立前には全ての部品を脱脂洗浄し、超音波洗浄した後、 乾燥機にて水分を除去します。 【特長】 ■10^-6Pa超高真空領域まで使用可能 ■厳選した材料を使用 ■発塵を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三橋製作所

歯車「歯研平歯車」

精密な動きを必要とするところに最適！使いやすい精密歯車

半導体製造装置などメカトロ分野並びに精密機器、工作機械の精密な動きを必要とするところに、“使いやすい精密歯車” です。 サイズはモジュールm0.5よりm3.0までの7サイズで豊富に品揃えしております。 材質はSCM435、440 を用い、歯部高周波焼き入れ（HRC49 ～ 55）を行なっております。 穴、ハブ部の追加工が可能です。 【特徴】 ○精度等級はJIS B 1702 1 級（JIS...

メーカー・取り扱い企業： 協育歯車工業株式会社 東日本営業部　東京支店

スライドブッシュ『NBスライドブッシュ』

多彩な形状と仕様をご用意！環境に合わせて選べるスライドブッシュ

線運動機構 です。 丸軸を案内に使用しているので、空間が有効に利用でき、コンパクトな 機構設計に適しています。 簡単な機構で低摩擦の直線運動が得られるため、搬送装置・食品機械・ 半導体製造装置など多岐にわたって使用されています。 多彩な形状と仕様をご用意していますので、環境にあわせてお選びいただ けます。 【特長】 ■空間の有効利用でコンパクトな機構 ■多彩な形状...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベアリング株式会社

歯研平歯車『SGRシリーズ』／協育歯車工業(株)

SGEシリーズをさらに精度UP！歯数を充実、増強した製品をご紹介

『SGRシリーズ』は、半導体製造装置などメカトロ分野並びに精密機器、 ロボット、工作機械等、精密な動きを必要とするところに安価で、 使いやすい精密歯車です。 「SGEシリーズ」は、2021年5月20日をもって廃止となり...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

株式会社中園工業所　事業紹介

システム確立による確かな信頼と技術がここにあります。

株式会社中園工業所は、金属製品製造業を中心に事業を展開している 会社です。 製品・技術・設備の3本柱でフラットパネル・半導体製造装置をはじめ とした産業用設備の加工から組立・据付まで一貫製作いたします。 さまざまなニーズに合わせて製品の本質を的確に捉え、豊富な経験・ 知識から得た発想力でお客様に満足いただける機械...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中園工業所

超高精度・高剛性直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』

1μmの剛性・送り精度・直進性を兼ね備えたアクチュエータ

本製品は、高精度な微小直動送りが必要とされる光学機器のレンズ・ ミラー移動、微小角度調整や半導体製造装置のアライメントステージ X・Y・θ軸調整部などに用いられる直動アクチュエータです。 ガイド部には非開放型ローラ式ガイド「ミリオンガイド」の活用と 独自構造の開発により、サブミクロン単...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

【クリーンルーム向け機構部品】パーティクルが発生しにくい部品

半導体・液晶製造装置向け機構部品

◆クリーンヒンジ HG-CV・HG-CV-65N型 摺動部に樹脂キャップを装着しており、金属同士の磨耗がありません。 ◆クリーンヒンジ HG-CV-127 摺動部に内蔵されたスラストベアリングとニードルベアリングが金属同士の磨耗を抑えます。 ◆クリーンマグネットキャッチ マグネットを樹脂で包んでいるため、錆を防止、金属粉が発生しません。 ◆クリーンステー 摺動部の樹脂パー...

メーカー・取り扱い企業： スガツネ工業株式会社 テクノフィールド事業部

【メッキ加工】小ロット～量産加工！試作や短納期のメッキ加工もOK

24時間以内に必要なメッキ加工のご依頼も承っています！試作から量産まで…

株式会社コダマは、主に金メッキ、銀メッキ、スズメッキなどのメッキ製品を 取り扱っている企業です。 お客様の声に耳を傾け、どんなご質問にも誠心誠意お答えし、サンプル試作や 技術開発に力を注いでまいりました。 現在では、機能めっきを主力に量産ラインをたくさん保持させていただいて おります。 対応力、問題解決力、管理能力、技術力をもってお客様に貢献いたします。 めっき加工ならぜひ当...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コダマ 本社工場・巽中工場

アルミ／A5052／半導体製造装置部品／NC旋盤加工

最短半日見積り／A5052（アルミ材）／真空チャック用先端部によるNC…

mm こちらの製品は、A5052 アルミ材を使用して加工されています。 特徴は、部品上面に幅0.7ｍｍ 深さ0.5ｍｍの溝が加工され、 穴径0.5mmと0.3ｍｍの細穴が施されています。 半導体製造装置部品に用いられる為、傷や打痕不可で、 カエリやバリにより製品搬送に影響の出ない様、注意し加工しています。 又、同芯度、真円度などの加工精度要求がなされています。 弊社では、0.05（50μ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

アルミ／A5056／複合旋盤加工

最短半日見積り／アルミ／A5056／複合旋盤加工

電、アルマイトまで 多様な加工技術を有し、あらゆる加工内容にお応えできます。 ［アルミ］でお困りの際は、 是非、エージェンシーアシストにお問合せ下さい！ 特に多品種少量、開発部品、試作部品、半導体製造装置関連部品、 光学機器部品、産業用ロボット部品はお任せ下さい。 製品の詳細・会社案内は、 下部の〔PDFダウンロード〕よりカタログをご参照いただき、 ご不明点は、お気軽にお問合せ下さい。 ア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

FA装置用Z軸多面形ガイド半導体製造装置位置決め機構コストダウン

FA装置用Z軸ミリオンガイド『ZGシリーズ』

『ミリオンガイドZGシリーズ』は、転動体にローラーを使用することで剛性を高めたFA装置向けのZ軸ガイド。低予圧・低振動でガタが無く精度も抜群です。 ZGシリーズは高剛性・不回転なため単軸で使用することが可能で、複数軸使用する必要のあるリニアガイドと比較して 省スペース・組立工数の削減・良好な荷重バランスを実現することが可能などのメリットがあります。 【特長】 ■ころがり抵抗を極限ま...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

鉄／SS400／マシニング加工

最短半日見積り／SS400／鉄鋼 への高精度マシニング加工

〈材質〉鉄／SS400 〈加工〉マシニング加工 〈サイズ〉φ14mm×ｔ4mm こちらの製品はSS400鉄鋼を使用したマシニング加工品です。 半導体製造関連部品の試作品です。 細かく複雑な切削加工でありながら各所に厳しく寸法公差も入っています。 この様な高精度な加工も単品加工からお任せ下さい。 部品1個、図面1枚、単品加工から対応可能な為 開発品、試作品の製作のご依頼多数あります。 その他...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

薄くて軽い！ ケイドン「超薄型ボールベアリング」

わずか4.76mmの断面寸法を実現。省スペース・軽量化により、設計自由…

可能です。 【特長】 ■専門メーカーとして量産体制を確立しており、短納期にも対応 ■ボールベアリングのため、安定した軽トルクと高い回転精度も実現 ■一般産業用途、航空宇宙防衛用途、半導体製造装置、医療機器向け等、カスタムも対応 ■材質は標準の軸受鋼に加え、耐腐食用途向け材質も用意（SUS440Cステンレス鋼や、エンデュラコート等） ■半導体製造装置向け等の真空環境向けに、セラミッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社木村洋行

超小型・高精度アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ　20角』

【超小型版が新登場】当社比で58％のスペース削減を実現！繰り返し位置決…

当社比で58％のスペース削減を実現した”20mm角サイズ”の超小型版が新登場！！ 『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ステッパーなど、各種光学機器のレン...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社