加熱と冷却の課題、溶湯鍛造法で解決！半導体製造装置業界で注目！

アルミ展伸材でもできる複合材内蔵型鋳込みヒーターは、高温環境下、真空環…

ート〉 ■アルミ＋ステンレスパイプ＋アルミ ■ステンレス製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合 ■高圧接合により密着度が高く、パイプの冷却に優れ、熱だまりの少ない、優れた水冷板 〈半導体製造装置用冷却部品〉 ■アルミ＋銅パイプ＋アルミ ■銅製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスコンポジット株式会社 本社　富士事業所　

溶湯鍛造アルミ鋳込みヒーター（ホットプレート）

アルミ材質が限定されず展伸材でも対応可！ヒーター回りに複合材を内蔵する…

【採用実績例（試作含む）】 〈半導体製造装置〉 ■サイズ：6インチ・8インチ・12インチ ■使用温度：200～470℃ ■材質：A1070・A5052・A6061・複合材 ■用途：エッチング・アッシング・アニール・CVD ...

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異種素材をつなぐことで新たな特性を発揮させる！接合とは？

溶湯鍛造法の高温・高圧で接合！アルミニウムにステンレスまたは銅パイプの…

■アルミ＋ステンレスパイプ＋アルミ ・ステンレス製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合 ・高圧接合により密着度が高く、パイプの冷却に優れ、熱だまりの少ない、優れたた水冷板 ＜用途：半導体製造装置用冷却部品＞ ■アルミ＋銅パイプ＋アルミ ・銅製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合 ＜用途：IH対応グリルプレート＞ ■鉄発熱体＋アルミ ・接合面は表面処理 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスコンポジット株式会社 本社　富士事業所　

金属基セラミクス複合材料『AC-Alsic』

アルミニウムと比べてヤング率 1.8 倍の高剛性、熱膨張を 2/3 に…

『AC-Alsic(アルシック)』は、高強度・高熱伝導が求められる、 ハイパワー半導体用のヒートスプレッダ、基板などに適した 金属基セラミクス複合材料です。 また、SiC プリフォームにシースヒーター埋設パターンを掘り シースヒータを埋設し溶湯アルミで一体化した、均熱性が...

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接合　技術紹介

アルミニウムで接合が可能！異種素材をつなぐことで新たな特性を発揮させる…

却プレート：アルミ＋ステンレスパイプ＋アルミ ・ステンレス製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合 ・高圧接合により密着度が高く、パイプの冷却に優れ、熱だまりの少ない、優れた水冷板 ■半導体製造装置用冷却部品：アルミ＋銅パイプ＋アルミ ・銅製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合 ■IH対応グリルプレート：鉄発熱体＋アルミ 接合面は表面処理（溶射） ※詳しくはPDF資...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスコンポジット株式会社 本社　富士事業所