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PR医薬品・食品の付着防止と滑り性改善に。皮膜剥落による異物混入リスクがゼ…
『COT処理』は、独自の表面改質加工により、母材の表面に滑らかで微細な凹凸や、 マルチスケール構造を形成し、滑り性や離型性、洗浄性を高める技術です。 基材表面を改質する技術のため、皮膜剥落による異物混入リスクがなく、 用途に合わせて表面構造を高精度に制御でき、複雑形状品にも施工可能です。 金属、樹脂、セラミック、ガラスなど様々な素材に施工でき、 熱による変形・変色が懸念される薄板...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基(親水、親油、密着性…
「PC-RIEシリーズ」は、各種基板/フィルム等に対して、様々な表面改質効果を与える処理が可能です。 もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。 チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○官能基修飾処理...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…
チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、APCを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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真空装置 基板用平行平板プラズマ処理装置 PC-RIEシリーズ
処理可能基板サイズ550×650mm。無廃液化・低ランニングコストを実…
「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシング、デスミア、表面改質、F系ガスエッチング等の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○真空プラズマ技術は従来の処理に比べて良環境化 →クリーン化,無廃液化 ○低ランニングコス...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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プラズマ処理で粉体に親水性を付与!粉体の均一な混練・混合、液中への分散…
各種粉体(カーボン・金属・樹脂・セラミックス・他)を減圧プラズマ中で攪拌しながら処理することにより、ドライ環境のまま微粒子表面を均一に表面改質することが出来ます。 3方式のプラズマモードを選択可能で、目的の表面改質に合わせた最適プロセスを実現出来ます。 【こんなお悩みをお持ちの方に朗報】 ●粉体の均一な混練・混合がうまくいかない ●液中への分散がうまくいかない ●コーティング、バイン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい
<対応実績> CVD装置, Dry Etching装置, 拡散炉/酸化炉, Wet洗浄装置, Wet Etching装置, 基板搬送装置, コーター/デベロッパー, ステッパー, など 詳しくは、お問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行いま…
WETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置は、LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○ディップ、スプレー及び揺動機能方式エ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。
WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置は、基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○UV/O3によるシャワ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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スピン&スプレーを併用し、高精度で均一なプロセスを実現しました。
WETプロセス装置 マルチスピンプロセッサーは、基板をスプレー方式にて現像/エッチング/乾燥処理を行ないます。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○スピン&スプレー併用により高精度で均一なプロセス...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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【粉体工業展 出展】粉体に表面処理!減圧プラズマ粉体表面改質装置
プラズマ処理で粉体に親水性を付与!粉体の均一な混練・混合、液中への分散…
各種粉体(カーボン・金属・樹脂・セラミックス・他)を減圧プラズマ中で攪拌しながら処理することにより、ドライ環境のまま微粒子表面を均一に表面改質することが出来ます。 3方式のプラズマモードを選択可能で、目的の表面改質に合わせた最適プロセスを実現出来ます。 【こんなお悩みをお持ちの方に朗報】 ●粉体の均一な混練・混合がうまくいかない ●液中への分散がうまくいかない ●コーティング、バイン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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微粒子を均一にプラズマ表面改質し、粉体へ様々な機能を付加します!
各種粉体(カーボン・金属・樹脂・セラミックス・他)を減圧プラズマ中で攪拌しながら処理することにより、ドライ環境のまま微粒子表面を均一に表面改質することが出来ます。 3方式のプラズマモードを選択可能で、目的の表面改質に合わせた最適プロセスを実現出来ます。 【こんなお悩みをお持ちの方に朗報】 ●粉体の均一な混練・混合がうまくいかない ●液中への分散がうまくいかない 【粉体への処理事例...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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