パラレルリンク型バリ取り仕上げシステム『Bari-motion』

【サンプルテスト実施中】安全柵・安全操作教育不要！小型軽量設計で作業台…

『Bari-motion』は、最大10mmの伸縮で工具を一定圧で押し付ける 倣い加工が簡単にできるバリ取り仕上げシステムです。 表バリ・裏バリ・輪郭や複雑な形状に加え様々な材質に対応可能。 また、パソコンツールやタッチパネルを使用し、直感的な操作で誰でも 簡単にティーチングを行うことが可能です。 【特長】 ■３種類の簡単ティーチング 　・ダイレクトティーチング 　・JO...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社(静岡)、支店(東京・沼津・中部・大阪)、営業所(横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸)

三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト（低価格）】

研究開発から、少LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」…

　株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、 両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの スタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、 少ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマスクア...

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株式会社三明　会社案内

最高の品質と心のこもった行動でお客様の満足を追求するFA技術商社です

(株)三明は静岡市の清水区に本社を構えるFAソリューションプロバイダです。 国内外に支店・営業所を16ヵ所設けており、その土地に沿ったご提案が可能です。 グループ会社である「制御エレクトロニクスの三明電子産業」「装置メカニ...

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新自動化・少人化提案！無軌道AGVに人協働ロボットを搭載

ワイヤレス給電による24時間連続運転で工場内の自動化を進めませんか？磁…

ニデックドライブテクノロジー（旧日本電産シンポ）製AGV「S-cart」に 安川電機製人協働ロボット「MOTOMAN-HC10」を搭載した移動型人協働ロボット『AGBOT』をご提案いたします。 ロボットと無人搬送台車を組み合わせることで自ら工程間搬送・機械間搬送を行い、 組み立てや治具の投入・排出などの複数工程を自動化します。 AGV停止位置の誤差を自ら判断、計測、補正することでロ...

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ムラビューワー

ナノクラスの微細な変化も見逃さない！半自動で欠陥を判別して可視化するこ…

『ムラビューワーシリーズ』は検査の常識を変える 「見えない・見えにくい」欠陥を「くっきり・鮮やかに」に 確認できる新感覚のスコープです。 ガラス・水晶・サファイア等の表面に残るナノサイズの微細な 研磨痕・オレンジピール・スクラッチや内部にある微細な 脈理・結晶欠陥等も、目視による検査・評価が可能になり、表面粗さ の管理・研磨条件の設定、蒸着後の歩留まりが確実に向上します。 ....

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エンコーダ付きステッピングモータでサーボモータ並みの精度を実現

『Si servo3』は2相ステッピングモータにエンコーダを取り付け …

専用ソフトウェア使用により上位コントローラレスで動作可能。 サーボ制御により位置情報および速度情報を高精度にフィードバックし 脱調レスで高精度な位置決めと滑らかな動作が可能です。 動作時はサーボ制御を行うことで粘り強く動作。 停止時はサーボ制御とステッピング制御の重ね合わせにより狙った位置にハンチングレスで停止。 【特長】 ■モータ停止時の微小ハンチングなし ■最大6...

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ウェハ・エッジビューワー『SIM-2300EG』

録画機能搭載！貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対…

『SIM-2300EG』は、録画機能搭載のウェハ・エッジビューワーです。 ウェハの薄さが求められる昨今のプロセスで、バックグラインド時の 「チッピング」や「クラック」、貼合せ時の「異物付着」や「位置ずれ」など、 気になるウェハ・エッジ状態を見ることが可能。 高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載し、 エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示がで...

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カスタマイズ対応検査装置『SIM 3000』

300mm×300mmサイズなどの大型ワークに対応！カスタマイズ可能な…

『SIM 3000』は、お客様のご要望に応じて、様々な機能をカスタマイズする ことが可能な、カスタマイズ対応検査装置のベースモデルです。 1μmサイズの異物、欠損、キズ、ムラなどを自動検出。 ミクロとマクロの検査ユニットを搭載して各種検査への対応や、複合機能で 検査レビューや加工個所の修正確認など、お客様の目的に合わせたシステム 構築ができます。 【特長】 ■300mm×...

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アライメントシステム『Cuty-Aligner-Man』

各種アプリケーションにも対応！面倒な設計を解決し、そのまま簡単に手動操…

『Cuty-Aligner-Man』は、アライメント用UVW軸ステージを手動で操作する スタンドアロン-システムです。 面倒な設計を解決し、そのまま簡単に手動操作可能。操作方法は 「Joy スティック」によりXY方向の移動、「回転ノブ」によりθ方向（回転） の操作を行います。 また、オプションとしてZ軸の追加仕様も可能で、各種アプリケーションにも 対応できますのでご相談下さい。...

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PECプロセス装置

シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹…

当社が取り扱う『PECプロセス装置』をご紹介します。 光源・波長はUVA、UVCから選択でき、エッチング溶液加熱により 高速な深堀エッチングが可能。 タッチパネル入力でエッチングリンスをパラメータ設定できます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■10mm□小片チップからφ6インチウェハ ■GaN 低ダメージエッチングが可能 ■シンプル構造で低価格...

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スプレーコーター

立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体ま…

『スプレーコーター』は、低粘度から高粘度の薬液に対応し、 微細な凹凸に塗布ができます。 微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、 キャビティ、トレンチ構造部分など、従来のスピンナーで塗布が困難で あった部分にも均一な膜を形成可能。 反射防止膜などの薬液をガラス材に均一にスプレーする用途にも好適です。 【特長】 ■微細な凹凸に塗布が可能 ■低粘度...

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パラレルリンク・アクチュエータ『PRMシリーズ』

コンセプトは「ダレデモ」！生産状況の変化に即応した体制の構築が可能

『PRMシリーズ』は、手軽に使えるアクチュエータ感覚のパラレルリンクです。 小型軽量ですので、デスクの上を作業台としてすぐにでも使用することが可能。 ロボットのように安全柵や、安全管理責任者の設置、安全操作教育の徹底など 法的な遵守事項に特に気を使う必要はありません。 また、ご使用される状況に応じた安全対策を行って頂ければ、どなたでも簡単に ティーチングや操作などの取り扱いができ...

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量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』

サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有し…

当社が取り扱う量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』を ご紹介します。 シンプル構造で低価格を実現。 〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております。 4inサイズの「ALA410」と、8inサイズの「ALA810」をご用意しています。 【特長】 ■高い汎用性（〇型□型試料対応） ■信頼性の高い球面軸受 平行機構 ■シンプル構造で低価格を実現 ■Φ4in、Φ6...

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マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』

露光光源照度分布は±5％以内！デスクトップ型と自立型のモデルをラインア…

『BA100/160/200』は、上下両面に高位置精度パターニングするマニュアル型の両面マスクアライナーです。 デスクトップ型でウェハサイズ4inの「BA100」と6inの「BA160」に加え、 自立型でウェハサイズ8inの「BA200」をラインアップ。 また、アライメント精度はTop-sideにて±2μm、Bottom-sideにて±5μm としております。 【仕様（抜粋）...

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検査をロボットで！ニーズに合わせたロボットと検査カメラを組合わせ

現場のお悩みに合わせたロボットシステムをご提案いたします

検査をロボットで行うことにより、 検査だけでなく他の作業も連続して行うことが可能となります。 パレタイジングや組立、整列など、プラスの作業によって従業員の負担軽減が見込めます。 人と同じ空間で検査したい場合には人協働をボット、タクトタイムを短縮したい場合には産業用ロボット、様々なワーク重量にも対応いたします。 【検査事例】 　・バイアル瓶 　・異形状 　・多面体 　・変形容...

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UVナノインプリントステッパー

2～8インチウェハ対応！デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えて…

当社が取り扱う『UVナノインプリントステッパー』をご紹介します。 大型樹脂モールドを使用したロール転写方式で、一括全面転写が可能。 また、高精度な転写圧力制御で、追加オプションとして加熱機構を ご用意しております。 【特長】 ■2～8インチウェハ対応 ■デバイス製作に必要な高精度アライメント ■高精度な転写圧力制御 ■加熱機構追加オプション ※詳しくはPDF資料を...

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半自動露光装置『半自動マスクアライナー』

4inと8inサイズをご用意！アライメント露光が可能な多品種量産用半自…

株式会社三明で取り扱っている『半自動マスクアライナー』をご紹介します。 当製品は、露光光源が照度分布±5％以内の多品種量産用半自動露光装置です。 自動ギャップ調整から手動アライメント、自動コンタクト露光、自動搬送の 流れで行うことができます。 詳細については、お気軽にご相談ください。 【仕様】 ■φ4in φ6in φ8in 仕様 ■Top-side アライメント ...

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