品質向上・装置トラブル防止に！鉄粉捕捉装置『マグトラップ』

PRフラット、チューブ、棒など様々なタイプをご用意！頑丈構造＆高耐久性の鉄…

『マグトラップ』は、パイプライン内液中の鉄、ニッケル、磁化された SUS400シリーズを強力なレアアース磁石(希土類磁石)で捕捉する装置です。 品質向上、PL法対策、装置トラブル防止、外部購入原料チェック、 捕捉金属による故障原因の早期発見等に広く利用されいます。 また当社では、フラットプレートタイプの「MODEL 115」をはじめ、 チューブタイプの「MODEL 135」など、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アキュレックス 本社、大阪営業所

除染ガス発生装置『steriXcure』

PR養生なしで電子機器などを除染可能。残留も少なく拭き上げ作業も不要。除染…

『steriXcure』は、核酸（DNA・RNA）を分解可能な複合ガスを発生させる装置です。 ドライガスによる除染が行えるため、除染前の電子機器などの養生がいらず、 低濃度で残留もほとんど無いため、除染後の拭き上げ作業も不要。 病原体を扱う実験室の除染のほか、動物実験施設内パスルームに持ち込む 電子機器やゲージ等の除染など、様々な場面で活用できます。 【特長】 ■養生や拭き...

メーカー・取り扱い企業： 水戸工業株式会社

フローメータ内蔵型ガス混合装置『GM SERIES』

優れた安定性と再現性！幅広い分野で数多くの実績があり、高く評価されてお…

『GM SERIES』は、KOFLOCのメカニカルな精密流量制御バルブとフロー メータによるガス混合装置です。 本装置には、気体の微少流量範囲の精密な流量制御を可能にした定流量 ユニットが内蔵されております。 流量設定は、相互干渉無く確実容易で、本装置に接続する負荷の圧力に 変動が生じ...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

常温吸着式空気精製装置

常温吸着式空気精製装置

JAR型空気精製装置は主にステッパー、自動車排ガス測定用ゼロガス、 燃料電池用のガス精製を目的とした精製装置です。 【特長】 ・常温吸着式ガス精製装置です。（ただし、反応筒は加熱状態で使用します。） ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

窒素ガス発生装置『ITNH屋外シリーズ』

従来機より制御を一新！使いやすく発生量、吐出圧力がアップした窒素ガス発…

『ITNH屋外シリーズ』は、マイコン制御オイルフリーミニコンプレッサー 内蔵の窒素ガス発生装置です。 従来機種に比べ流量で10～20％の性能アップ。 吐出圧力も大幅アップしています。 さらに流量調節にも定流量調節弁を標準装備しているので２次側の 圧力変動の影響を受けません。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA式窒素ガス発生装置　TAC-miniシリーズ

省エネ運転を搭載した上位モデルTAC シリーズの特徴をそのままに大幅な…

で一般事務所などで三相電源がなくても設置可能です。吸着時間コントロールによる省エネ制御も搭載、複数内蔵したコンプレッサーを発停制御し無駄な運転は行いません。 ・高性能・省スペース 　同出力の装置と同じ性能を持ちながら寸法は容積比で72.5％を実現しました装置騒音も実測値で60dB(A)程度。キャスター付で設置場所を選びません ...

メーカー・取り扱い企業： 京都理化学器械 株式会社 本社

窒素ガス発生装置『ITKH屋外シリーズ』

高純度で性能アップ！防滴構造で屋外設置可能な窒素ガス発生装置

『ITKH屋外シリーズ』は、運転モード設定・運転管理・異常時の診断等、 タッチパネルで設定、確認が可能な窒素ガス発生装置です。 窒素ガスの使用流量から、装置切替時間・運転ユニット数を調整する事により 無駄なエアーを使わない「流量運転モード」（省エネ運転）や製品窒素ガスの レシーバータンクの圧力を監視して自動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

【出願特許】遠心式高圧水素製造装置

水素ガスおよび酸素ガスを分離して回収貯蔵する高圧水素製造装置！

当資料は、自然エネルギー関連の特許権の販売を行うセンリョウが取り扱う 『遠心式高圧水素製造装置』の出願特許を掲載しております。 『遠心式高圧水素製造装置』は、底部の固体高分子電解質膜の両面に電気分解用 電極を接合し、水素ガスおよび酸素ガスを分離して回収貯蔵します。 「発明の概要...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社センリョウ

PSA酸素ガス発生装置『ITO屋外シリーズ』

オイルフリーミニコンプレッサー＆酸素濃度センサー内蔵屋外設置可能なモデ…

『ITO屋外シリーズ』は、オイルフリーミニコンプレッサー＆酸素濃度センサー内蔵 屋外設置可能なモデルのPSA酸素ガス発生装置です。 運転中の酸素ガス純度、積算運転時間を監視してLCD（表示器）に表示し、 純度異常やコンプレッサーにトラブルが発生すれば、表示器に原因を表示します。 実績のある低騒音高寿命のオイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

窒素ガス発生装置『ITACシリーズ』

コンプレッサーの発停を制御することで大幅な省エネ・CO2の削減を実現！

『ITACシリーズ』は、マイコン制御オイルフリーミニコンプレッサー 内蔵の窒素ガス発生装置です。 従来のモデルの簡単操作・総合制御はそのままに従来機より多機能に 進化しました。 日本語・英語による操作設定、運転状況の管理がタッチパネルで 行なえるだけでなく、窒素ガス吐出量...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

ラボ専用マイクロナノバブル・ファインバブル発生装置LE5S型　

【全国出張デモ・レンタル実施中】お気軽にご用命ください。

耐圧、耐熱性に優れるラボ用ナノバブル発生装置です。研究用途に向きます。 ●詳細はお問合せください。 https://livingenergies.jimdo.com...

メーカー・取り扱い企業： リビングエナジー LIVING ENERGIES & Co.

高圧窒素ガス発生装置

窒素ボンベの搬送・交換の手間不要！高圧の窒素ガスが必要な現場に！省音性…

高圧窒素ガス発生装置 「HND-4640」を導入すると、 窒素ボンベ使用時にありがちな「交換や持ち運びの手間」が省けます。 また、"省音性"や"軽量性"に優れ、非常に使い勝手が良い製品で、 冷媒配管気密試験等、窒...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サタコ

PSA酸素ガス発生装置『ITOK屋外シリーズ』

エアー源があれば多用途に使用可能！防滴構造で屋外設置対応の酸素ガス発生…

『ITOK屋外シリーズ』は、小型タッチパネル操作屋外仕様の 酸素ガス発生装置です。 カラータッチパネルディスプレイでの簡単操作・総合制御はそのままに PLCによるシーケンス制御で従来機より多機能に進化。 パッケージタイプで内部排気部に消音BOXを設ける事により...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

浄化・脱臭装置『ソフトTGC-6080』

グリーストラップの悩みを解消します！

当製品は、水処理方式・活性汚泥法をベースにしたグリーストラップの 浄化・脱臭装置です。 低濃度オゾンと大量酸素を投入する最新技術でグリーストラップの臭い、 汚い、不衛生を解消します。 グリーストラップでお悩みの場合は是非一度お試し下さい。 【特長】 ■油分...

メーカー・取り扱い企業： ソフトエネルギー株式会社

窒素ガス発生装置『ITKHシリーズ』

PLCによるシーケンス制御で従来機より多機能に進化した窒素ガス発生装置

『ITKHシリーズ』は、小型軽量の窒素ガス発生装置です。 パッケージタイプで内部排気部に消音BOXを設ける事により排気時の 騒音を最低限に抑えました。 また、PSA内部を2～4ユニット組み合わせることにより大流量にも対応。 窒素ガス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA式窒素ガス発生装置　BELLSWING

エア・ウォーター・ベルパールの高性能MSCとシステム化技術で、安価な窒…

PSA式窒素ガス発生装置「BELLSWING」は、高性能MSCとシステム化技術で、安価な窒素ガスを供給します。 エア・ウォーター・ベルパール MSN（Molecular Sieving Carbon）は酸素吸着量および酸...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

高純度水素ガス発生装置　『H２PEM』

発生ガス純度が99.9995%以上！　危険で高価な水素ボンベが不要！ …

旭ケミカルスは、Parker(パーカー)の正規代理店で、多数のParker製品を取り揃えております。 販売だけでなく、メンテナンスも弊社で承ります！ 『H2PEM』は、高純度水素ガス発生装置です。 発生ガス純度は99.9995%以上！ FIDに好適な燃焼ガスを最大14台分供給可能で、運転状況を照明の色で表示、水位の確認・動作状況を簡単に確認できます。 信頼性が高くコンパクト、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭ケミカルス

半自動切替装置『プリンスチェンジャーPC150S-MP-M/P』

純度維持性能が向上！分析用・一般ガス用のSUS製半自動切替装置

『プリンスチェンジャー PC150S-MP-M/PC150S-MP-P』は、中圧（0.7MPa） 供給タイプの半自動切替装置です。 最大で0.7MPaまで供給可能でありながら“高圧ガス製造設備”の対象外となる 中圧式半自動切替に待望のステンレス仕様がラインアップ。 二段側減圧弁は新設計の低圧力損失仕様品を採...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高圧窒素ガス発生装置 「SHN-450」

窒素ボンベはもう必要有りません！高圧窒素を空気から供給できます。

高圧窒素ガス発生装置 「SHN-450」は、コンプレッサーエアーを接続するだけで99.％の高圧窒素ガスが得られます。 SATACOは安全・環境・省エネを重要な位置付けとした事業活動を行います。 水・空気・熱・をテー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サタコ

ドライ空気昇圧装置 「SHAD-450」

高圧ボンベはもう必要有りません！工場エアーを高圧ドライエアーにできます

「SHAD-450」は、工場エアーを高圧ドライエアーにできるドライ空気昇圧装置です。 SATACOは安全・環境・省エネを重要な位置付けとした事業活動を行います。 水・空気・熱・をテーマとした開発・設計・製造・保守を通じベストな提案を行います。 お客様のお役に立つ事は基よ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サタコ

空気昇圧装置 「SHA-490F」

高圧ボンベはもう必要有りません！工場エアーを高圧にできます

「SHA-490F」は、工場エアーを高圧にできる空気昇圧装置です。 SATACOは安全・環境・省エネを重要な位置付けとした事業活動を行います。 水・空気・熱・をテーマとした開発・設計・製造・保守を通じベストな提案を行います。 お客様のお役に立つ事は基よ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サタコ

クリーンパワーガス発生装置『HH-1001000MSX』

光沢のある白色！重量も軽量でキャスター付きの為、簡単に持ち運びができま…

『HH-1001000MSX』は、ガスの発生量が平均1,000cc/分もある本格的な 酸水素混合ガス発生装置です。 装置の外形ケースは材質が丈夫で軽いFRP製となっており、色も光沢のある 白色で、重量も軽量でキャスター付きの為、簡単に持ち運びが可能。 またヒーターの設置にて、室温が20℃以下...

メーカー・取り扱い企業： Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社 本社

食品包装工程のコスト削減＆作業効率UP　窒素ガス発生装置

窒素ガス発生装置なら、原料費ゼロでボンベ交換も不要！手間と費用の双方を…

止」「風味保持」「鮮度保持」「防虫」 「菌の増殖防止」に窒素ガスを封入したり、脱酸素剤を使用します。 【事例1】 ≪生鮮包装≫ ■課題：窒素ガスや脱酸素剤の月々の費用が高価 ■解決策：窒素ガス発生装置を導入する事で大幅なコスト削減が可能 ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アネスト岩田株式会社

窒素ガス発生装置　化学薬品製造　ご提案事例

「窒素ガス発生装置」なら原料費ゼロでボンベ交換も不要！窒素ガス料金と管…

化学薬品製造では様々な目的で窒素ガスが用いられています。 その工程で発生する課題に対する解決策をご紹介いたします。 「PSA式窒素ガス発生装置」は2本の吸着塔を交互に入れ替える事で効率よく 酸素の吸着を行い、窒素純度を維持します。 しかし、吸着塔の切替サイクルが固定されている為、窒素ガスを使用して いない状態でも多量の圧縮空気が...

メーカー・取り扱い企業： アネスト岩田株式会社

【新製品】高性能酸素ガス発生装置『ICX-006』

酸素濃度計付で酸素濃度管理が簡単！キャスター付の高性能酸素ガス発生装置

『ICX-006』は、アイバスシリーズ第1弾の高性能酸素ガス発生装置です。 タッチパネル搭載で操作が簡単なほか、酸素濃度計付で酸素濃度管理が 容易に行えます。 タッチパネル内に、酸素濃度及び圧力の情報を表示します。 【特長】 ■タッチパネル搭載...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

小型オゾン水発生装置

お客様の仕様・用途にあわせて設計製造いたします！

当社のオゾン発生器は、十分に乾燥浄化されている空気又は酸素を原料とし、 同心円筒型内管ガラス、外管ステンレスの無声放電式周波インバータを用いて オゾンを発生させます。 上下水道の浄化をはじめ、家庭排水の脱色・脱臭、樹脂加工におけるPP、 PEなどの接着向上など様々な用途にご使用いただけます。 また、お客様の仕様、用途にあわせて設計製造いたしますので、お気軽に お問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ムサシノキカイ

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【コラム】オゾン装置専門メーカー『タムラテコ』

圧倒的な官公庁納入実績！オゾン装置専門メーカーについてのコラムをご紹介

当コラムでは、タムラテコ社製のオゾン発生器の特長や機能について 掲載されています。 同社製の空気清浄機能付きオゾン発生器が、医療機関や保育園など多くの 場所での導入が進んでいます。 「ウイルス対策を行いたいがコストをかけたくない」と迷われている方が 多くおられます。原料が空気のみなので、薬剤のように補充は不要です。 【オゾンの特長】 ■安価で安全な除菌力 ■飛沫・接触感...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌケー工房

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【資料】酸水素混合ガス発生装置の治験データ収集開始のお知らせ

「酸水素混合ガス（CPG）吸引による人体に対する効果」などを掲載してい…

当資料では、酸水素混合ガス発生装置「HH-1001500MSX」の治験データ 収集開始のお知らせについて紹介しています。 「酸水素混合ガス（CPG）吸引による人体に対する効果」をはじめ、 「中国で治療に水素酸素混合ガス吸入...

メーカー・取り扱い企業： Ｔ・Ｄ・Ｓ株式会社 本社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社