無菌室向け 二酸化塩素ガス除染装置『Weraser ZERO』

PR高精度計測器を搭載し、低濃度0.05ppm～高濃度1200ppm まで…

当社トラステック愛知が得意とするのは二酸化塩素の高精度の濃度計測と制御管理。 その技術を用いて開発したのが、二酸化塩素ガス除染装置『Weraser ZERO』です。 除染効果の高い二酸化塩素ガスを用いた除染装置で、 精度に優れたガスの濃度測定と、ガスの制御機能を有しています。 搭載された高精度計測器により、低濃度0.05～高濃度1200ppm（校正値1000ppm　検知管使用　当社...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トラステック愛知 本社

ドラフトチャンバー『ウォークインタイプ DFW型』

PR内部に大型の実験装置や機器を組込めるウォークインタイプのドラフトチャン…

『ウォークインタイプ DFW型』は、多田製作所社製のドラフトチャンバーです。 ドラフトチャンバー内部は床面より十分な有効高さを持っていますので、 フード内に大型の装置や機器を組み立てたり、外部で組み立てた装置を フード内に移動させることも容易に行えます。 独自の気流設計により床面に発生するガスもスムーズに排気されます。 オールステンレス製や防爆仕様等、ご要望に応じた設計が可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社多田製作所

【総合カタログ】ガス関連機器『精製装置／排ガス処理装置』

多種多様な精製方式の精製装置や排ガス処理装置などを多数掲載。選定に役立…

当資料は、各種ガス精製装置や排ガス処理装置等の製造及び販売を 行っているエア・ウォーター・メカトロニクスの取り扱い製品を掲載した総合カタログです。 独自の触媒によりガスの高純度精製が可能な、常温吸着式精製装置 「V...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

アンモニア分解除害装置

GaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。

本装置は主にGaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。 常温乾式除害と触媒分解式除害を効率よく組み合わせ、メンテナンス性向上、 ランニングコスト及び環境負荷の低減を可能に致しました。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

パイオクリン緊急保安装置　MODEL-WGR

大気とともに吸引して有害成分を許容濃度以下に除害する保安装置です。

毒性ガスボンベからの万一の噴出や半導体製造設備等（配管、継手、バルブ等）から毒性ガスが漏洩した場合に、付近の大気とともに吸引して有害成分を許容濃度以下に除害する保安装置です。 【特長】 ・緊急保安用パイオクリンは、大風量のもとでも極めて優れた処理能力を有します。 ・毒性の高いガス等を短時間で許容濃度以下に除害します。 ・本装置は圧力損失が極めて小さ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

吸着再生式排ガス処理装置

エッチングプロセス用の湿式除害装置です。

本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。 Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、 従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

燃焼式排ガス処理装置

燃焼式排ガス処理装置です

本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等の フッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより 処理します。また、熱分解後の生成物（...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

パイオクリン排ガス処理装置

パイオクリン排ガス処理装置

合せにより、経済的かつ、安全に有毒ガスを除害することが出来ます。 ・ガス検知器などのオプションを取付けることにより、安全性を高めることが出来ます。 ・2筒式の場合は、カートリッジ交換時の装置ダウンタイムが低減出来ます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社