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300mmウエハープロセスに対応
ワイドレンジでの高精度、高速応答を実現したマスフローコントローラ...【特徴】 ■メーカー:日立金属株式会社 ■仕様:精度±0.5% 応答性1.5秒以内(設定値の±2%,0.7〜1.2秒 typ) ■ガス種:ご注文時にご指定 ■流量範囲:フルスケール 10SCCM〜30SLMでご注文時にご指定 ■本体材質:SUS316L、内面特殊電解研磨仕様 ■継手サイズ:1/4UJRタイプ、各社IG...
メーカー・取り扱い企業: 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所
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