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優れた信頼性、高性能と高品質、バラエティに富んだ豊富な機種をラインナッ…
クライオポンプ CRYO-Uシリーズは、アルバック・クライオの真空技術と米国CTIの冷凍機技術をベースに、超電導、医療機器、測定器、冷凍容器分野で使用される極低温4K冷凍機などのために新たに開発されました。 優れた信頼性、高性能と高品質で、バラエティに富んだ豊富な機種をラインナップしております。 さらに、再生時間短縮のためにバンドヒーター、ノイズに強いクライオ温度計、自動再生装置など豊富なオプ...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種などアルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。...【特徴】 ○大型成膜装置、スペースチャンバー等に最適。 ○水に対する排気速度は最大。 ○メンテナンスインターバル 16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロード...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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4型の最高性能クライオポンプ
4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。...【特徴】 ○4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。 ○高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。 ○特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。 ○１台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。 ○ご使用の用途に合わせた設計、製作が可能です。 ●詳しくはお問い合せ、...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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大型チャンバー、光学装置向け22型クライオポンプ
大型チャンバー、光学装置向け22型クライオポンプ...【特徴】 ○イニシャルコスト、ランニングコストを大幅に低減 ○クラス最大の排気速度 ○メンテナンスインターバルを16,000時間に延長 ○急速再生等、用途に応じたバリエーションが選択可能 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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クラス最高の排気量
スパッタリングプロセス用クライオポンプ...【特徴】 ○アルゴンの排気容量は従来機種（U12H）の約2倍 ○水素の排気容量は従来機種（U12H）の約1.5倍 ○再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上、膜質の向上に貢献します。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…
作圧力：3.0×10-2Pa台 ○シングルステージ →水冷機構 →3軸動作 自転・入射角度・円弧移動 →不定形基板～Max 6inchまで選択可能 ○排気系 →主排気：TMP または Cryo-pump →粗挽き：ドライポンプ または ロータリーポンプ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社
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高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種など アルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。...【特徴】 ○中、大型生産装置に最適。 ○CRYO-U16の高負荷型。 ○メンテナンスインターバル 16000時間。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種など アルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。...【特徴】 ○大型成膜装置等の生産装置に最適。 ○バッチ式大型成膜装置に最適。 ○メンテナンスインターバル 16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種などアルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。...【特徴】 ○中、大規模生産装置に最適。 ○熱負荷に強く、多様なプロセスに対応。 ○メンテナンスインターバル16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さ...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種などアルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。...【特徴】 ○大型成膜装置に最適。 ○水に対する排気速度は最大。 ○メンテナンスインターバル 16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種など アルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。...【特徴】 ○中、大型生産装置に最適です。 ○バッチ式大型成膜装置に最適。 ○熱負荷に強いタイプ。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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クラス最高の排気量
スパッタリングプロセス用クライオポンプ...【特徴】 ○アルゴンの排気容量は従来機種（U8H）の約2.5倍 ○水素の排気速度は約1.2倍に向上 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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