クリーンロボット『STCR4000Sシリーズ』

半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット！

『STCR4000Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアームにより短時間でウエハの交換が可能。使用用途は半導体製造 装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しています。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm～選択可能 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SCR3100S-PMシリーズ』

装置レイアウトの小型化が可能なクリーンロボット！

『SCR3100S-PMシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置などの小径ウエハ 搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm ■Z軸バリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SHR3000シリーズ』

半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適！

『SHR3000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適。また、被搬送物、 装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております ので、是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mmから選...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SCR3000CSシリーズ』

半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適なクリーンロボット！

『SCR3000CSシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 半導体装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しており、被搬送物、装置 レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm、130mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル