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Ni/Cr/Wなどに対応! ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現
○排気操作:自動 ○スパッタ方式:DCスパッタ マグネトロン型 ○スパッタリング電流/電圧:0~50mA/0~3kV(システム制御) ○チャンバーサイズ:160(φ)×160(D)mm(SUS製) ○ガス導入機構:ニードルバルブ(システム制御) ○排気装置:直結型ロータリーポンプ 100l/min(自動リーク付) ○装置電源:単相 AC100V 50/60Hz 10A ○寸...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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