半導体装置『BATCHSPRAY Clean Autoload』

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

この4チャンバーシステムは、使用時点での混合化学物質を特許取得済みのリテーナーコーム処理システムと組み合わせて優れたプロセス結果を実現することを特徴としています。過酸化物や硫酸の代わりにSicOzoneを使用して洗浄やレジストストリッピングのようなサステナブルなプロセスを行うことで、化学物質や脱イオン水の消費を最大90%節減することができます。 【特長】 ■最大600wphのスループット ...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社

BATCHSPRAY Acid/Clean Autoload

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

この3チャンバーシステムは、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムを使用することで、あらゆるタイプのウェットエッチングプロセスと洗浄アプリケーションに対応しています。酸/洗浄の組み合わせにより、高いプロセスの柔軟性と高いスループットを達成できます。過酸化物や硫酸の代わりにSicOzoneを使用して洗浄やレジストストリッピングのようなサステナブルなプロセスを行うことで、化学物質や脱イオン水の消費...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社

Siconnex(サイコネックス) 会社案内

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

当社は、半導体チップ製造プロセス装置の製造メーカーです。 スループット最大600wphの「BATCHSPRAY Clean Autoload」や タンクシステムによるケミカル循環方式を採用した「BATCHSPRAY Solvent Autoload」 など様々な製品を取り扱っております。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【Siconnex(サイコネックス)...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社

半導体装置BATCHSPRAY Solvent Autoload

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

この2チャンバーシステムは、優れたエッチングの均一性を提供するだけでなく、化学物質を節減します。そして、すべてのタイプのウェットエッチングプロセスに対応しています。 高い精度のタンク内における化学物質の混合、エンドポイント検出（EPD）、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムが含まれています。さらに、SicOzoneレジストストリップを同じチャンバーに適用でき、これにより柔軟性が向上するだけ...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社

半導体装置『BATCHSPRAY Acid Autoload』

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

この2チャンバーシステムは、優れたエッチングの均一性を提供するだけでなく、化学物質を節減します。そして、すべてのタイプのウェットエッチングプロセスに対応しています。 高い精度のタンク内における化学物質の混合、エンドポイント検出（EPD）、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムが含まれています。さらに、SicOzoneレジストストリップを同じチャンバーに適用でき、これにより柔軟性が向上するだけ...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社

半導体装置『BATCHSPRAY Solvent』

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

当社の半自動装置は、高性能、効率的な化学物質の再循環、設置面積の最小化、スペース効率の最適化で際立っています。 【特長】 ■最大150wphのスループット ■設置面積2m2未満 ■タンクシステムによる化学物質の再循環 ■sic/GaNでプロセス実行可能 ■25枚または50枚ウェーハのチャンバーを使用可能 ■抽出可能なプロセスチャンバー ■ATEX安全規格 ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社

半導体装置『BATCHSPRAY Acid』

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

当社の半自動装置は、高性能、効率的な化学物質の再循環、設置面積の最小化、スペース効率の最適化で際立っています。 【特長】 ■最大150wphのスループット ■ばらつきが1％未満の均一性 ■設置面積2m2未満 ■タンクシステムによる化学物質の再循環 ■sic/GaNでプロセス実行可能 ■25枚または50枚ウェーハのチャンバーを使用可能 ■抽出可能なプロセスチャンバー ...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社

BATCHSPRAY Acid/Solvent Autoload

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

この2チャンバーシステムは、優れたエッチングの均一性を提供するだけでなく、化学物質を節減します。そして、すべてのタイプのウェットエッチングプロセスに対応しています。 高い精度のタンク内における化学物質の混合、エンドポイント検出（EPD）、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムが含まれています。さらに、SicOzoneレジストストリップを同じチャンバーに適用でき、これにより柔軟性が向上するだけ...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社