電動ピペット『Picus 2』20%OFF下取りキャンペーン中

PR人間工学に基づいた、快適なピペッティングを実現！20%OFF下取りキャ…

日々の基礎研究において欠くことのできないピペット。 研究ルーティーンで使用するツールだからこそ、効率的に使える設計を実現したいものです。 『Picus 2』電動ピペットは、手に優しい人間工学に基づいたデザインで、信頼性と再現性の高いピペッティング結果を保証します。 『Picus 2』をモバイルデバイスに接続すると、 ザルトリウスピペッティングモバイルアプリを使用してサンプル調製ワークフローをスム...

メーカー・取り扱い企業： ザルトリウス・ジャパン株式会社

【分析事例】MSDMについて

TOF-SIMS：飛行時間型二次イオン質量分析法

TOF-SIMSの深さ方向分析では平面上の位置情報(x,y)を無視すると、各深さ(z)で質量スペクトルが存在するため、深さ・質量・スペクトル強度の3次元データが得られます。この3次元データを1枚の画像として可視化したものが、MSDM(Mass Spectra Depth Mapping)表示です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】顔料・色素の分散の観察

TOF-SIMSによるミクロンオーダーのイメージ測定

ポリエチレン表面に分散した青色色素「Cuフタロシアニン」の分布を調べました。 TOF-SIMS分析にて、1μmの色素系有機物の分布を捉えることが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術資料『表面分析の概要』

代表的な表面分析であるEPMAやAESなどを解説した技術資料

技術資料『表面分析の概要』は、近年、製品開発や不具合の対応などで益々重要になっている、表面や界面の構造・組成の把握に用いられている、様々な「表面分析方法」について掲載した資料です。 本資料では、表面分析の基礎の基礎として、代表的な表面分析であるEPMAやAES、XPS、SIMS、TOF-SIMSを簡潔に解説しています。 【掲載内容】 ■表面分析の種類と特徴 　・EPMA 　・AE...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニケミー

微生物迅速同定サービス

迅速・正確・リーズナブル！細菌・真菌の同定サービスは当社へお任せくださ…

コーガアイソトープでは、MALDI TOF-MSと遺伝子同定を組み合わせることで 迅速で正確な結果をリーズナブルに提供できる『微生物迅速同定サービス』を 受託しております。 医療機器は滅菌保証を維持するため、製品のバイオバーデン数と、放射線に 対する抵抗性のモニタリングが必要です。 常に菌種を確認しておくことで、菌種の変化に気づくことが可能になり、 滅菌不良を未然に防ぐ事が出来...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コーガアイソトープ

質量分析を利用した遺伝子解析法

マスアレイ法

遺伝子解析とは、DNAの塩基配列を読み取り、遺伝子の変異や働きを調べる方法です。 本手法では、塩基の質量の違いをMALDI-TOF-MSで分析し、DNA塩基配列を決定します。これによりSNP（一塩基多型）やINDEL（挿入/欠失）、CNV（コピー数多型）等を検出することが可能です。 一度に解析できる検体数や検出可能な遺伝子数が多いことが特徴です。 • マルチプレックスPCRとMALDI-TO...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ポリイミド成分の深さ方向分析

TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の深さ方向の評…

ポリイミドは非常に耐熱性が高く電気絶縁性も優れていることから、電子部品をはじめとして様々な分野で用いられている材料です。表面改質を行うことで他の材料との密着性を高めることができることから、改質層の状態を把握することが重要です。今回、有機成分が壊れにくいスパッタ条件にてTOF-SIMS測定を行い、深さ方向にポリイミド成分を評価しました。GCIB（Arクラスター）をスパッタに用いると着目する有機成分を...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

研究開発を強力サポート　「受託分析サービス」

お客様からお預かりした材料・製品の受託分析を行います。前処理から測定ま…

MSTでは各種材料や研究の受託分析、受託解析、受託評価サービスを行なっています。 知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案！確かな品質と安心のサポートで、お客様に疑問を残しません。 半導体・金属・電池などのエレクトロニクス分野、医薬品・化粧品・食品などの ライフサイエンス分野の受託分析・受託解析に幅広く対応します。 ・分析手法のご相談から承っております。 ・分析費用のお見積りも...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

剥離原因となる金属界面の有機物評価

TOF-SIMSで金属界面の有機物を深さ方向に評価できます

金属界面の有機物は密着不良や剥がれの原因となります。その密着不良の分析には、物理的に剥離加工を行い、剥離した面について定性分析を行うことが有効です。（参照：分析事例C0198）。一方、剥離加工ができない場合も多く、その場合にはスパッタイオン源を用いて深さ方向に分析をすることが有効です。 本資料では、金属界面における薄膜もしくは二次汚染程度の有機物を深さ方向に定性分析した事例を紹介します。結論とし...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

質量分析を利用した複数のSNP解析

マスアレイ法により、複数のSNP（一塩基多型）を同時に解析できます

本手法は、MALDI-TOF-MSの質量分析を利用した遺伝子解析法であり、一度の測定で複数のSNP箇所の解析が可能です。最大40か所のSNPを、190サンプル同時に測定できます。 分析全体の流れとしては下記フローに準じて実施します。標的のSNP領域の質量ピークが重ならずに増幅するように設計したプライマーと、各SNP箇所の一塩基のみ伸長するように設計したプライマーを用いて、DNA断片に質量の違いを...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

微生物の迅速同定受託／結果を当日報告「MALDI微生物同定試験」

衛生管理向け迅速同定に最適／属種の同定／細菌と酵母なら正午までの検体到…

【サービスの特徴】 〇迅速同定の受託試験、分析、検査サービス 〇微生物のコロニーが生えた寒天平板培地を送るだけ。 〇細菌と酵母なら正午12時までの到着検体で当日中に同定結果を納品。カビの場合は最短4営業日で結果を納品。 〇同定結果は種レベル。報告書には同定結果の菌種名とそのバイオセーフティレベルなどを記載。 〇MALDI微生物同定試験はDNA塩基配列解析と比べ迅速で安価。 〇従来の形態...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスルガ・ラボ

技術情報誌 201907-01 全固体電池設計・開発のための分析

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 全固体電池の本格的普及に向け、特性向上及び安全性、耐久性の確保など、様々な課題を解決する必要がある。電解液系リチウムイオン電池とは異なり、固体電解質の材料物性値など、新たな評価技術への取り組みは今後重要になると考えられている。本稿では全固体電池の設計・開発において、「材料開発」、「電池作製プロセス改善」に有用な、最新の分析評価技術について事例も交え紹介する。 【目次】 １．はじめに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

抗体分離と分離画分の糖鎖構造解析

分析項目はご要望に応じて組み合わせ可能！各種抗体の分析などにご活用くだ…

当社では、『抗体分離と分離画分の糖鎖構造解析』を行っております。 FcRIIIAカラムによる抗体分析、分取、質量分析によるN型糖鎖構造解析を 受託します。分析項目は、ご要望に応じてどの組み合わせでも可能です。 各種抗体の分析、抗体ロット間差分析、抗体産生細胞培養状態のモニタリング 等に活用いただけます。 【特長】 ■糖鎖構造（ADCC活性）の違いにより抗体を分離・分取 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東ソー分析センター

お茶　OEMサービス

畑から製造・品質管理の一貫生産体制システムを活かした製品開発

当社では、お茶の総合メーカーとしての豊富な経験をもとに、 OEM供給や協業体制を整えています。 「製茶メーカー」の領域にどどまらず、茶の可能性を 引き出すべく企画・開発に取り組み、製品化を進めています。 【特長】 ■商品の企画からパッケージデザインまで。 　プライベートブランドの開発など、柔軟に承ります ※詳細については、お気軽にお問い合わせください。...【品質管理設備...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社佐藤園

【分析事例】リチウム二次電池負極表面の劣化評価

大気非暴露で前処理から測定・観察まで行います

容量低下が見られるリチウムイオン二次電池負極表面を大気非暴露で評価した結果、100～200nm程度のCoを含む付着層が確認され、Coは金属状態であることがわかりました。 適用可能な手法観察手法：FIB‐TEM, SEM 表面分析：SIMS,XPS,AES,TOF‐SIMS その他構造評価等も可能です。 測定法：SEM・FIB・TEM・XPS・EDX 製品分野：二次電池 分析目的：化学結...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】GCIBを用いた有機材料劣化成分の深さ方向分析

雰囲気制御下でのGCIBを用いた有機EL層構造および劣化層の成分評価

大気暴露することで劣化が生じる有機材料について、GCIB（Arクラスター）を用いて劣化成分を深さ方向に分析した事例を紹介します。実験には有機EL原料のルブレンを用いました。大気暴露したサンプルをTOF-SIMSで測定をした結果、ルブレンペルオキシドと推定される質量（m/z 564）や、低分子のベンゼン系の質量（m/z 77,105）が検出されました。これらの劣化に起因する成分は、表面から約1μm以...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】尿中のカテキン代謝物のLC/MS/MS分析

尿中のカテキン代謝物の定性、及び経時変化・個体差調査

高感度LC-MS（Q-TOF型）を用いることにより、生体試料中における代謝物のような低濃度成分の定性分析が可能です。生体内で付加や抱合などの代謝を受けた成分の検索や、経時変化や個体差の調査を目的とした試料間比較を行うことができます。高濃度カテキン飲料を摂取後に採尿し、カテキンの代謝を調査したところ、未変化体のカテキンと、代謝物のカテキン-グルクロン酸抱合体が確認されました。8人の尿中カテキン及び代...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】汚染原因となる工程の調査

手袋由来の汚染の評価

半導体デバイス製造において汚染工程を調べるため、不良の原因となる薄い付着物が何に起因するかを調べる必要があります。EDXでCが検出され、XPSで定量を行った付着物について、TOF-SIMSで分析を行いました。各工程で使用している標準試料の手袋と比較をしたところ、手袋A, Bと似た傾向が見られました。更に、標準試料の手袋をSiウエハに付着させて検証をしました。その結果、手袋Aに類似していることがわか...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】毛根の成分分析

TOF-SIMSを用いた生体成分のコレステロール・脂肪酸の可視化

人の毛髪（抜け毛と引き抜いたもの）の毛根部をSiウェハに押し付け、転写された成分についてイメージング測定（面分析）を行いました。抜け毛は毛根の先端にのみ、■K, ●リン脂質が強い傾向が見られます。また、毛根部全体には、■CnHmCOOH(ｎ=17～31)の脂肪酸（人の皮脂由来）、●角栓由来のアミド系成分、◆質量が500～700の含窒素有機酸、◆質量が800付近の有機物が凝集していると考えられますが...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】高分子フィルムの多層構造の解析

GCIBを用いた低ダメージスパッタリングで多層フィルムの層構造を明瞭に…

フィルムの機能性は素材・厚み・層構造等で決まることが知られています。 今回は食品用ラップフィルムとして一般的に用いられるポリエチレン系多層フィルムの層構造を評価しました。 FT-IRで主にポリエチレンで構成されていることを確認したフィルムに対し、GCIB（Arクラスター）をスパッタに用い、TOF-SIMSで深さ方向に測定することで、10μmの厚みの中でポリエチレンとナイロン6とが積層されてい...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】高分子表面のイオン照射による損傷層の評価

GCIB（Arクラスター）を用いることで損傷層の成分・厚さ評価が可能

高分子材料の表面にイオン照射を行うことにより、表面特性の変化が生じます。この変化を利用し、機能性材料の開発など広い分野で研究が行われています。イオン照射後、表面状態にどのような変化が生じたのか評価することは、効率的な研究・開発に重要です。 TOF-SIMS分析では、スパッタイオンビームにGCIB（Gas Cluster Ion Beam）を用いることで、高分子材料表面のイオン照射による損傷層（ダ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】製剤中農薬原体のイメージング分析

製剤中の農薬原体・無機成分の分布を可視化できます

TOF-SIMSは成分を分子イオンの質量から同定するため、蛍光物質などの標識をせずにイメージング分析が可能です。また、有機成分だけではなく無機成分も測定することにより、農薬原体だけでなく、製剤に混合させる鉱物質もイメージングすることができます。今回、農薬原体の配合比率が異なる2種類の 製剤中の農薬原体や無機成分を可視化しました。製剤A(配合比率高)は農薬原体が製剤に広く分布していたのに対し、製剤B...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】高分子フィルム中の添加物成分分析

フィルム中の添加剤の表面およびGCIBを用いた深さ方向の分布評価

食品用ラップフィルムは製造過程での熱暴露に対する安定性や、可塑性を持たせるために添加剤が用いられる場合があります。これらの添加剤は調理条件下で変化することなく安定に存在することが求められます。本事例では添加剤の一つであるIrgafos168の存在状態が加熱前後で変化（ブリードアウト）するかについてTOF-SIMSを用いて調査した結果をご紹介します。※GCIB：Gas Cluster Ion Bea...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】眼球に投与した薬剤成分の分布評価

眼球の加工と薬剤成分の可視化（イメージング）が可能です

投与薬剤が生体内でどのように分布しているかを知ることは、薬剤開発のうえで重要な情報となります。 本事例では魚類の眼球硝子体内に薬剤を直接投与し、眼球断面で薬剤成分の分布を評価しました。 結果、薬剤を投与した付近から薬剤成分が強く検出され、眼内に分布している様子が得られました。 質量顕微鏡であるTOF-SIMSを用いることにより、眼球をはじめとした様々な生体器官の薬物動態への応用が可能です。....

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価

極浅い領域でも高感度に分析

酸化ガリウムGa2O3は、SiCやGaNよりもバンドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。ウエハの開発には、特性を左右する不純物濃度の制御が重要です。本資料ではGa2O3膜の表面近傍について、金属元素の定量分析を行った事例を示します。 TOF-SIMSでは極浅い領域でも高感度に評価が可能です。...詳しいデータはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】表面酸化膜のある異物の状態評価

水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可…

金属の異物を定性評価したい場合、最表面のみを分析すると異物表面に存在する酸化膜の情報となってしまうため、異物そのものの情報が得られないことがあります。 TOF-SIMSにより深さ方向に分析を行うことで、酸化膜より深い位置にある異物そのものの組成・状態評価が可能です。 本資料では、Al系の異物と思われる3箇所の状態を評価した事例をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リライト材料の層構造分析

無機・有機成分の層構造解析と分子情報の可視化が可能

情報記録材料であるリライト材料を用いた一般的なポイントカードの断面構造について、各層に分布する材料の分子情報や質量を可視化した事例をご紹介します。 ポイントカードの断面を、TOF-SIMSを用いて分析を行いました。イメージ像により、構成分子や添加剤の存在が確認できました。また、重ね合わせ像によりそれぞれの位置関係が明確となり、構造の把握ができました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】300mmウエハ最表面の異物の評価

異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能

異物検査装置で確認された異物の成分をクリーンルーム設置のTOF-SIMSで特定することが可能です。 CMP洗浄後の異物を評価し、着目の異物から、Cuと炭化水素成分を検出しました。異物周辺には、広範囲で同じ成分が分布していました。このことから、この異物はパーティクルというよりはむしろ、ウォーターマーク状の洗浄残渣であると推定されます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】有機EL素子の劣化評価

雰囲気制御下での切削により加工による変質を抑制

有機ELを搭載した市販のデジタルオーディオプレーヤーについて、通電により輝度が劣化したものと非通電のものの比較を行いました。 その結果、TOF-SIMSのスペトルにはサンプル間で差は見られませんでした。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

株式会社コーガアイソトープ　事業紹介

豊かで安全な未来のためにガンマ線照射の分野で挑戦と創造を続けます。

株式会社コーガアイソトープは、1981年にガンマ線照射の受託サービス会社として設立され、ガンマ線照射による放射線滅菌（ガンマ線滅菌）・殺菌及び高分子材料の改質を受託しています。 ガンマ線照射は医療機器や食品・医薬品包装材料などの滅菌・殺菌用途にて健康と安全に貢献することはもとより、高分子の改質にも応用され、高機能電池材料、吸水性ポリマーなど様々な用途開発がなされております。 コーガアイソトープ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コーガアイソトープ

技術情報誌 202201-02 fsLA-ICP-MS

フェムト秒レーザーアブレーション－誘導結合プラズマ質量分析法は生体組織…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 固体試料の局所における無機元素を迅速かつ高感度に分析可能なfsLA-ICP-MS（フェムト秒レーザーアブレーション－誘導結合プラズマ質量分析法）は、生体組織中に極微量で存在する元素の二次元分布解析に有用な手法として注目されている。本稿では、fsLA-ICP-MSの特...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【精製技術】分取精製・構造解析

キラルカラムを用いた光学活性体のHPLC分取にも対応致します！

ナード研究所では、医薬品、電子材料、自動車材料、バイオ関連材料等の 先端分野にて、ものづくりの技術獲得と共に化合物の分離・精製技術や 設備拡充を進めてまいりました。 これまで培った全ての技術と設備を生かし、シリカゲル、ODS、GPCカラムに よるHPLC分取だけでなく、キラルカラムを用いた光学活性体のHPLC分取にも対応。 また、マストリガーHPLC分取装置も保有し、マススペクト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナード研究所

【分析事例】食用油中のトリグリセリド分析（LC-TOFMS）

トリグリセリドの構造・脂肪酸組成の推定が可能です！

食品の栄養素の中で重要な成分のひとつに脂質があり、食用油に含まれる脂質の90%以上はトリグリセリド（TG）で構成されています。TGは、グリセリンに3分子の脂肪酸がエステル結合した構造です。 近年、健康への関心から、TGを構成する脂肪酸としてオメガ3系脂肪酸（α-リノレン酸など）や中鎖脂肪酸も注目されていますが、TGの構造を明らかにするためには質量分析による構造解析及び構成脂肪酸の分析が必要です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネカテクノリサーチ 本社、東京営業所、名古屋営業所、大阪分析センター、高砂分析センター

【分析事例】発酵食品中のアミノ酸・ジペプチドの解析

原料毎に特徴のあるアミノ酸・ジペプチドを可視化することが可能です！

食品の味やうまみに関わるアミノ酸は広く知られています。 また、2つのアミノ酸からなる「ジペプチド」も、 アミノ酸とは異なる物理的・機能的特性を有しており、 醤油や味噌などの発酵食品中の機能性成分として近年注目を集めています。 カネカテクノリサーチでは、 液体クロマトグラフィー‐飛行時間型質量分析計（LC-TOFMS）および アミノ酸・ジペプチドのライブラリー（約400種）を用いて、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネカテクノリサーチ 本社、東京営業所、名古屋営業所、大阪分析センター、高砂分析センター

【分析事例】培養液の特性解析

主成分の特定のためには多成分の半定量分析、 注目成分の管理には定量分…

培養液中にはアミノ酸・有機酸・ビタミン・核酸関連化合物、 さらに細胞から分泌される代謝物など様々な化合物が含まれています。 カネカテクノリサーチでは、 培養液に含まれる多くの有機・無機成分を種々の分析法を用いて 半定量・定量することが可能です。 得られたデータを多変量解析して生産率を左右する要因成分を発見し、 問題解決に有用な情報をご提供致します。 ■分析方法 主成分の特定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネカテクノリサーチ 本社、東京営業所、名古屋営業所、大阪分析センター、高砂分析センター

【分析事例】C60,GCIBを用いたアルカリ金属の深さ濃度分布

SiO2膜の不純物の評価

アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。 今回、スパッタイオン源にC60（フラーレン）とGCIB(Arクラスター)を用いたTOF-SIMSの深さ方向分析を行うことにより、常温下の測定でもアルカリ金属の移動が抑えられることがわかりました。この測定を行うことで...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ポリカーボネートの劣化層の評価

GCIB（Arクラスター）を用いることで劣化層の膜厚を評価することが可…

ポリカーボネート（PC）は熱可塑性プラスチックの一種であり、優れた透明性・耐衝撃性・耐熱性などの特長をもち、太陽電池パネル・メガネレンズ･CD・車載部品・医療機器の材料として、幅広く活用されております。今回、スパッタイオンビームにGCIB（Arクラスター）を用いてTOF-SIMS分析を行い、PC表面の劣化層の評価を行いました。 ※GCIB：Gas Cluster Ion Beam...詳しいデー...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析

サブμmオーダーの異物、微小領域の定性・イメージ分析が可能

TOF-SIMSは、着目箇所を局所的に分析して得られる質量スペクトルにより元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時に可能なことから、異物や微小領域の評価に有効です。 本資料は、サブμmオーダーの微小領域の分析例をまとめます。 層構造の試料上にFIBでスパッタ加工を行ったサンプルを、TOF-SIMSで測定をしました。サブμmオーダーの微小領域を評価をすることが出来ています。...詳しいデー...

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【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

配線材料として用いられる銅（Cu）は空気中で酸化膜を生じますが、保管環境の違いによる膜厚の差を評価した事例をご紹介します。アルミホイルで包んだ銅（Cu）と、ビニール袋に入れた銅（Cu）をそれぞれ40日間保管し、TOF-SIMSにて酸化膜厚の測定を行いました。また、約20日間にわたる継続した調査により、再現性が得られていることを確認しました。 TOF-SIMSは酸化物や金属など無機物の深さ方向分析...

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【分析事例】三次元培養ヒト皮膚を用いた経皮吸収評価

同一試料の分布評価と定量分析が可能

医薬品・化粧品の有効性・安全性試験において、近年動物実験代替法の開発が進められており、中でも三次元培養ヒト皮膚による試験方法が注目されています。 そこで本事例ではフランツセルを用いてインドメタシンの透過試験を行い、同一の皮膚試料に対してTOF-SIMSとLC/MS/MS測定を行いました。LC/MS/MSでは皮膚中濃度・皮膚透過量の定量をTOF-SIMSでは皮膚内の成分分布評価を行いました。 測...

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【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

TOF-SIMSで得られる分子情報の深さ方向分析では、（1）深さ方向分解能が良い、（2）酸化物・窒化物・ふッ化物・炭化物・合金・金属など無機物の化学状態の区別が可能、（3）微量な状態の評価が可能、（4）OHのモニターが可能、（5）相対的なサンプル間の比較（膜厚・組成）が可能、（6）イメージ分析により表面数nm程度について状態の分布を視覚的に捕らえた評価が可能です。 自然酸化膜と酸化膜の結果をまと...

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【分析事例】最表面シラノール基の評価

TOF-SIMSでシラノール基の定量的な評価が可能です

ガラスやウエハ表面のシラノール基（Si-OH)の存在は、表面の撥水性や親水性などの特性に影響を与えます。そのため、その後の表面処理に影響を与える可能性が高く制御が必要となります。 シラノール基の定量をTOF-SIMSで行った事例をご紹介します。評価を行うにあたり、濃度の異なる数種類のサンプルを用いて検量線を作成しました。測定例では、材質・状態の異なるサンプル表面のシラノール基を比較しました。 ...

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【分析事例】染料・顔料を塗布した紙の分析

TOF-SIMSにより染料・顔料由来の分子情報の可視化が可能

カラープリンターは紙表面にインクを用いて印字します。インクには、染料・顔料が含まれており、色により特徴的な分子情報が存在します。この分子情報を可視化することで、紙表面のインク成分の分布や、紙断面においてどの程度の深さまでインク成分が浸透しているかの情報を得ることが可能となります。 以下に、分子情報を可視化したTOF-SIMSによる「紙表面のイメージ結果」をまとめます。 TOF-SIMSは、10...

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【分析事例】ウォーターマーク原因調査

TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定

TOF-SIMSでは分子に由来する二次イオンを検出し、その分布を可視化します。異常箇所から検出されたイオン種から由来成分を推定することで、異常がどのプロセスで発生したかを調査することができます。 ウェハや製品上に異常箇所（変色・付着）が見つかったとき、TOF-SIMS測定を行うことで、洗浄・乾燥に起因するウォーターマークか、母材の変質物か、別工程での付着物かを切り分けることができ、不良原因追求に...

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【分析事例】毛髪内部の金属分布評価

TOF-SIMS分析を用いた毛髪断面の成分分布評価

毛髪を測定し、その内部における成分の分布を得ることは、ヘアケア・染色の影響を調べる際に有効です。 同一人物から白髪・黒髪を採取し、内部の成分分布を評価した事例をご紹介します。 毛髪の断面を作成し、TOF-SIMS測定を行いました。TOF-SIMSでは、金属などの無機物や有機分子の分布情報が得ることができます。今回は毛髪断面における金属の分布に着目して測定を行いました。...詳しいデータはカタロ...

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【分析事例】Siウエハベベル部の汚染評価

金属成分と有機成分を同時に評価可能です

半導体デバイス製造において、歩留まり向上の観点から、ウエハの裏面の清浄度向上に加え、ウエハのベベル部に残留する物質を除去することが求められています。今回、ベベル傾斜面のTOF-SIMS分析を行い、汚染の分布を評価しました（図2）。また、付着物と正常部・汚染源のマススペクトルを比較し、付着物は汚染源の金属（Cr）成分・有機物成分と一致していることがわかりました。 TOF-SIMSにてベベル部（端面...

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