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有機物の除去・クリーニング可能!ガス導入せず残留大気で処理するタイプよ…
当社の真空プラズマ製品は洗浄やエッチング、薄膜形成など幅広い研究で利用されています。 ガス導入型「YHS-G」は複数のガス導入に対応し流量調整や細かな処理条件の設定が 可能な高機能製品として研究や生産現場でも利用されています。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社魁半導体
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酸・腐食性ガスなどに対応!
クリーンユニットを組み込んだ装置です。 チャンバー内は全てPVCで覆われており、 前面扉はバランスウェイト式跳ね上げ方式を採用しています。 また、HEPAフィルターを組み込んだエッチング装置なども 対応可能となっておりますので、お気軽に当社へご相談下さい。 【特長】 ■耐酸性 ■耐腐食性ガス ■バランスウェイト式跳ね上げ方式 ■キャスター付き ※詳しくはカ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社アイディー技研
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