エッチング装置『MS-3030LWE』

局所的なエッチング領域を形成！走査することによる高精度形状創成

『MS-3030LWE』は、局所的な液相エッチング領域を速度制御走査する ことにより任意な形状創成を行うことができる数値制御ローカルウェット エッチング装置です。 非接触な化学的無歪加工法なので、振動などの外乱に対して鈍感。 加工量...

メーカー・取り扱い企業： 明昌機工株式会社

食品・化粧品ライン向け　サニタリー配管『インラインストレーナ』

取り付け簡単・ハウジング不要！ラインを改造することなく異物をキャッチ！…

『インラインストレーナ』は、取付が簡単な、焼結金網や焼結エッチングをスクリーンとしたストレーナです。 市販のサニタリー配管部品の間に挟むだけで、即 使用可能！ 異物、パッキングくず等を捕集します。 表面ろ過のため洗浄しやすく、繰り返し使い続けられます。 ...

メーカー・取り扱い企業： ニチダイフィルタ株式会社

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全て…

スペース：背面にチャンバーがせり出しませんので、スペースを取りません。 【MiniLab対象】 ◉ MiniLab-026（26ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリング、プラズマエッチング、アニール ◉ MiniLab-090（90ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、EB蒸着、スパッタリング、プラズマエッチング、アニール ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

3M(TM) フィルターハウジング 5VC_7VCNタイプ

耐薬品性に優れているため、エッチング液、海水、化学薬品などに使用可能！…

『スリーエム/3M(TM)フィルターハウジングVCNタイプ』は、従来よりエッチング 業界等で数多くご採用いただいている当社設計ハウジングの実績を生かし開発された製品です。 新たにドレンを設けた他、特に、塩ビ以外の構成部材の耐食性にも着目し、 クランプをPTFEコーティング、...

メーカー・取り扱い企業： スリーエムジャパン株式会社 フィルター製品事業部

機能性面状フィルムヒーター

透明・薄型・低消費電力・熱応答性・面均一発熱・低コスト・フレキシブル性…

自動車・鉄道・住設・医療業界をはじめ温めたい用途向けに、各種導電フィルム・導電ペースト・金属箔等のマテリアルと、回路設計からシミュレーション、印刷・エッチング・貼り合わせ等の加工技術を融合して、お客様のご要求に沿った面状フィルムヒーターを提案させていただきます。...

メーカー・取り扱い企業： 千代田インテグレ株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。 フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。 ◉ 最大基板サイズ：Φ6inch ◉ 抵...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

焼結金網ストレーナー　既設品の部品代替・カイゼンとして。

ステンレス製、耐久性◎、ろ過精度◎、さらに、再生洗浄で「ながーく」使え…

焼結金網およびエッチング、独自の積層スクリーン、「ボンメッシュ」「ポアメット」「SCP」を使用したステンレス製のストレーナ。 既設のストレーナ（U型、Y型 ほか）のエレメント置き換えとして、耐圧・耐熱・耐腐食の対応品...

メーカー・取り扱い企業： ニチダイフィルタ株式会社

WETプロセス装置　枚葉スピンプロセッサー

装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現可能です。

ンプロセッサーは、基板をスピン回転及びスプレーにて洗浄/リンス後、高速スピン回転で乾燥を行ないます。 装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現することができます。（例：現像→エッチング→洗浄、乾燥） 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

吸着再生式排ガス処理装置

エッチングプロセス用の湿式除害装置です。

本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。 Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、 従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

酸・金属塩分離装置「リサイター」

水の使用のみで金属塩と遊離酸を分離します！動画掲載中！

イターは金属を含んだ酸溶液を特殊なイオン交換樹脂で金属塩と遊離酸に分離して、金属塩を排出する装置です。遊離酸の回収には薬品や熱などのエネルギーは必要なく、水を使用するだけなので、大変経済的です。エッチングなど処理液の組成や濃度を一定に保ちます。 *酸処理液の濃度管理の自動化。　*酸処理工程の安定化。 *酸処理液の長寿命化。　*酸消費量の削減。 *廃酸処分費の削減。　*排水処理への負荷の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三進製作所

【資料】プラズマ技術

真空プラズマ処理や高精細表面エッチングなど！プラズマ技術をご紹介

る高品質なカスタマイズ 真空プラズマ装置をご提供します。 【掲載内容】 ■プラズマ技術 ■真空プラズマ処理とは ■表面活性化/表面改質（同時処理、個別処理） ■表面高度洗浄 ■エッチング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ピンク・ジャパン株式会社

ステンレス製 燒結金網 カートリッジフィルター

ステンレス製＝耐久性◎、焼結金網＝高精度で低圧損、さらに再生洗浄で「な…

焼結金網／エッチング、独自の積層スクリーン、「ボンメッシュ」「ポアメット」「SCP」を使用したステンレス製のカートリッジフィルター。 一般的な、使い捨てカートリッジフィルターの置き換えとして、耐圧・耐熱・耐腐食の...

メーカー・取り扱い企業： ニチダイフィルタ株式会社

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。 「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」 「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。 また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【工業向け計量】タテ型超小型計量センサ『WMCシリーズ』

超小型で高速・高精度のライン組み込みWMC計量モジュールは外乱の多い環…

バイアル、アンプル、シリンジの高速自動充填からカプセルや錠剤の試験、塗装やエッチング工程内での検査、やディスペンサーの校正にも適しています。 横幅2.5cmの超小型で高精度のWMC計量モジュールは、新開発の電磁平衡方式のセルにより、振動や風などの外的要因を受けやすい環境でも高...

メーカー・取り扱い企業： メトラー・トレド株式会社

マントルヒータ　Mantle heater

配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…

ワッティーが提供する『マントルヒータ』は、配管・容器加熱用に ご使用いただけます。 発熱体を使用しない断熱材、保温材の設計製作も承っており、 クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様で製作が可能。 （400℃以上のご希望の際はご相談ください。） また、サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

粉体に表面処理！減圧プラズマ粉体表面改質装置

プラズマ処理で粉体に親水性を付与！粉体の均一な混練・混合、液中への分散…

分散剤を使用せずとも分散効果・親水性付与。 ●PTFE粒子　⇒　撥水性が高いPTFE粒子にも親水性を付与。 ●活性炭粒子　⇒　粗面化処理による表面積拡大で吸着能力アップ。 ●Ni粒子　⇒　エッチング処理で表面形状変化。 ※可能性を秘めた新たな技術です。詳しくはPDFをダウンロードもしくは、お問い合わせ下さい。 【展示会に出展します】 展示会名：粉体工業展2017 会期：20...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

拡散板・ディフューザー『Engineered Diffuser』

入射光の強度プロファイルを制御しつつ均質化

【製品ラインアップ】 ■Polymer on glass, POG, (ガラス基板上複製ポリマー) ■Etched hard materials (硬質材料製エッチング加工：溶融シリカ) ■Engineered Diffuser Films (フィルムタイプディフューザー) ■HiLAM Diffusers ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ルミネックス

洗浄装置「IPA-VAPOR-DRYER」

最終洗浄・乾燥に最適！硝子から半導体まで多種グレードに対応した洗浄機

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○ワープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

システム改質装置『オゾンナノバブル　FBLOW』

安全で環境に優しい前処理工程を実現するシステム改質装置！

ンナノバブル　FBLOW』は、オゾン濃度1.5ppmの オゾンナノバブル水に浸漬し、樹脂表面を改質することで密着性の高い めっきを行うことができるシステム改質装置です。 既存のクロム酸エッチング液に替わる安全で環境に優しい前処理工程を実現 いたします。 【特長】 ■オゾン濃度1.5ppm ■樹脂表面を改質 ■安全 ■環境に優しい前処理工程 ※詳しくはPDFをダウン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社RSテクノロジー

ろ過装置「純水装置」

水質に応じたシステム構築！御要望に対応するろ過装置

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○フープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

XDE-PPデプスフィルター

工業用水/化学薬品/アルコール、飲料/PCBメッキ産業に相応しい。

・適用領域 ◆工業用純水、循環水の前ろ過 ◆化学工業ケミカル薬液のプレフィルタ ◆各種塗料、インキの異物除去 ◆電子工業における製造工程でのメッキ液、エッチング液及び洗浄液のろ過 ◆アルコール、清涼飲料水、製薬などの食品工業...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社デオボス

洗浄装置「ブラシ洗浄機」

コンベア方式多種対応！インバーター速度可変の洗浄装置

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○フープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

XWP-プリーツフィルター

純水ライン/強酸液/強アルカリ/エッチング液のろ過に相応しい。

・特長 ●強酸、強アルカリ及び多くの有機溶媒にも使用可能。 ●自動化製造、プリーツフィルタの低価格を実現。 ●ユースポイントで委託製造、短期納品も可能。 ●ろ材はポリプロピレン/PES/テフロンなど選択可能。...・適用領域 ◆電子・半導体工業：純水、洗浄液、フォトレジスト、メッキ液など。 ◆食品工業：飲料水、ジュース、ビールなど。 ◆化学工業：各種樹脂、表面処理剤、ケミカル薬液など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社デオボス

高分子材料研究、医薬品や電子・化学分野の異物分析や品質管理等に！

化学結合状態分析、バイオロジーからナノテクノロジー・ポリマー・最先端材…

ご紹介いたします。 ご興味のある方はお気軽にお問い合わせください。 〇JPS-9030 光電子分光装置(XPS) 　「誰もが、簡単に、直ぐに使えること」を実現した汎用型XPSです。カウフマン型エッチングイオンソースやツインアノードを標準装備の上、汎用XPSでありながら高温加熱システムやガスクラスターイオンソース等幅広い拡張性も備えています。 〇JEM-1400Flash 電子顕微鏡 　高感度...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

試料乾燥機

強力熱風による瞬時乾燥で試料の酸化を速やかに防止！

当製品は、クリーンで強力な熱風をノズルから吹出して、試料片の 湿式研磨後やエッチング処理後の試料面を瞬時に乾燥させることができる 試料乾燥機です。 試料のクラックやインクルージョン等から滲み出す水分の蒸発による 酸化やダスト付着を防止します。 また、汚れた空気中...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウィンゴー

試験研究用試薬・電子工業用薬品

試験研究用試薬・電子工業用薬品・理化学機器のことなら当社にお任せ下さい…

【その他取扱製品】 ■高純度薬品/酸・アルカリ類 ■高純度薬品/各種溶剤類 ■高機能薬品 　・各種洗浄液 　・ドライエッチング残渣除去液　他 ■CMP用スラリー・研磨パッド ■各種レジスト　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 中国ケミー株式会社

Diener Electronic社製『プラズマ処理装置』

幅広い材質に対応できる低圧タイプや、インライン設置が可能な大気圧タイプ…

】 《低圧プラズマ装置》 真空環境下でプラズマによる処理を行う装置です。 酸素プラズマによる親水性の改善や物体表面の有機物除去、アルゴンプラズマによる酸化膜除去や、 フッ素を利用してのエッチングなど様々なプロセスを実行可能です。 《大気圧プラズマ装置》 プラズマノズルの電極部に高電圧フィールドを形成し、そこを通過するガスをプラズマ化。 そのプラズマをエアーやアルゴンガスの気流...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

株式会社ワイ・エムテクノロジー　事業紹介

半導体洗浄装置メーカーでもありリファブメーカーでもあります

【取り扱い営業品目】 ■装置部門 　・各種半導体製造工程用自動洗浄機 　・各種半導体製造前工程用チャンバー（エッチング、ボイル、洗浄、乾燥） 　・各種石英管洗浄及び乾燥保管庫 　・半導体製造後工程用各治具洗浄装置 　・各種ドラフトチャンバー 　・薬品配管、洗浄機の改善、改造及びメンテナンス施工 ■部品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エムテクノロジー 京都本社

株式会社USメック 事業紹介

国内外の各種プラントのオーダーに対応した超音波洗浄機を設計・製造・製作

【取扱製品】 ■LCD 　・素硝子洗浄装置 　・現像装置 　・エッチング装置 　・剥離装置 　・硝子基板受け入れ装置　他 ■レンズ 　・組み立て前洗浄装置 　・剥離前洗浄装置 　・コート前洗浄装置 　・仕上げ洗浄装置 ■HDD 　・HDD洗浄装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社USメック

MINCO社製フレキシブル面状ヒーター【軽量・種類豊富】

極薄・軽量で様々な場所に取り付け可能。フレキシブル面状ヒーター

ミンコ社のヒーターは、発熱抵抗素材をエッチング技術によってエレメントパターン化し、フレキシブルな絶縁材シートでラミネートしています。非常に薄く、軽量ですので様々な場所に取り付け可能です。また、熱をより均一にするために、一枚のヒーター上でエレ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社

Honeywell製　圧力センサー　HSCシリーズ　デジタル出力

弊社はハネウェル社の販売店として、お客様のニーズにお応え致します。

化学的にエッチングされた薄いシリコンダイヤフラムの表面に埋め込まれた4つのピエゾ抵抗体で構成される計測素子があり、出力される電気信号が圧力に比例して変化します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテクソリューション

アプリケーション例『純水・超純水製造：超純水（UPW）』

超純水（UPW）の供給用バルブと流量計をご提案

超純水（UPW）は,半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程で多く使用されます。 ウェハー表面に付着した研磨剤は洗浄工程で除去され,最終工程で超純水によって再度洗浄されます。 その後のエッチング工程で発生した残留物を除去するためにも超純水による洗浄が必要となります。 このような製造工程中のウェハー表面を清浄に保つことが,発電効率を最大限に発揮することにつながります。 当社で...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

『真空プラズマ照射装置』

細胞と接する面を細胞にやさしく表面改質！親水・疎水基の密度コントロール

な条件で処理が可能です。 様々な材料に対し、目的に最適なプラズマ照射条件を見出します。 また、受託処理も承っております。 【特長】 ■強力で均一な照射が可能で処理ムラがない ■エッチング効果が少なく、材料への物理的ダメージがほとんどない ■高密度の官能基が生成でき、接着剤を用いない直接接合が可能 ■官能基の退行が極めて少ない ■ガス使用量が極めて少ない ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： エステック株式会社

半導体向け装置「CMP処理後スクラブ洗浄装置」

ご要望に対応した装置を設計製作！CMP処理後のスクラブ洗浄装置

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○ワープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

UV/O3洗浄改質装置『SKシリーズ』

FPDガラス基板表面洗浄をはじめ幅広い用途に適応します！

『SKシリーズ』は、真空チャンバーやポンプなどの真空設備を必要とせず 大気中で処理が可能なUV/O3洗浄改質装置です。 化学薬品を使用するエッチングとは異なり、UVとオゾンの作用によって 処理を行うので製品表面を粗化することなく接着性を向上させます。 また、低圧水銀ランプバルブは様々な形に加工でき ワークのサイズや形状に応じた光源...

メーカー・取り扱い企業： サンエナジー株式会社

WETプロセス装置　LCD枚葉エッチング装置

LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行いま…

WETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置は、LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

洗浄装置「エッチングドラフト」

配管PFA溶着配管！曲げ加工にも対応した洗浄機

「エッチングドラフト」は、外装PVCランニング仕様の洗浄機です。 各薬液に対応したタンク、配管PFA溶着配管、曲げ加工にも対応可能。 また、薬液調合内蔵可能です。ご要望に対応した装置を設計製作します。 ...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

WETプロセス装置　マルチスピンプロセッサー

スピン＆スプレーを併用し、高精度で均一なプロセスを実現しました。

WETプロセス装置 マルチスピンプロセッサーは、基板をスプレー方式にて現像/エッチング/乾燥処理を行ないます。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

真空蒸着装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。 フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。 ◉ 最大基板サイズ：Φ6inch ◉ 抵...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。 フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。 ◉ 最大基板サイズ：Φ6inch ◉ 抵...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに この2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、 プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社