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技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価
エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…
、光学定数（屈折率・消衰係数）や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。 【目次】 １. はじめに ２. エリプソメトリーについて ３. PVA膜スピンコート直後の経時変化 ４. シリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価 ５. お...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
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XPS： X線光電子分光法
XPSは試料表面(数nm程度の深さ)の組成・結合状態に関する知見を得る手法ですが、イオン照射によるスパッタエッチングを組み合わせることで、試料内部や深さ方向分布の評価も可能です。 但し、スパッタエッチングを伴う評価ではXPSの原理及び測定機構から、吸着酸素の影響を受けて酸素量が本来の組成より過大評価される場...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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IC（イオンクロマトグラフ）法でアミン類の測定が可能です
水酸化テトラメチルアンモニウム（TMAH）は、半導体の現像液やエッチング液として用いられています。 Siのエッチング液に用いたTMAH溶液の濃度を測定する場合、溶液中に多量に溶解したSiが夾雑物となり、測定結果に影響を与える場合がありますが、IC（イオンクロマトグ...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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ユニケミーがどのように金属組織観察を行っているかを紹介した技術資料
【掲載内容概要】 ■はじめに ■概要 ・組織観察作業フロー ■金属組織観察方法 ・試料の切出し ・包埋 ・研磨 ・エッチング・組織観察 ■具体的な組織観察の例 ・試料の準備 ・試料の包埋 ・研磨 ・エッチング・組織観察 ■おわりに ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニケミー
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腐食性ガスを始めとした反応ガス雰囲気における部材の耐性評価可能！
【取得可能なデータ例(ガス種依存、条件依存など)】 ■基板上への成膜特性 ■基板のエッチング特性 ■金属部材の腐食性 ■樹脂のガス耐性 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 大陽日酸株式会社
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金属元素および大気成分元素の極微量分析
量制御のための評価法として、高感度分析による元素濃度測定をご提案します。金属元素はppb以下、Hを含む大気成分元素についてはppm以下の濃度まで計測可能です。 測定法：SIMS・ICP-MS・エッチング・解体 製品分野：太陽電池 分析目的：微量濃度評価・製品調査 一行開けて「詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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表面からの測定で、深さ方向の成分分布を確認可能です
ラマン分析では、表面からの測定で深さ方向の成分分布が確認できます。光を透過し易い物質に有効で、断面加工やイオンスパッタエッチングを併用せず非破壊での評価が可能です。 本資料では、有機多層膜の各層について、ラマン3Dマッピングで評価した例を示します。結果より、有機多層膜は四層で構成されていることが分かりました。また、ライ...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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ラマン分析を用いた薬液処理前後の状態評価
HF（フッ化水素）は、SiO2のウェットエッチング処理等で広く用いられており、半導体製造プロセスにおいて非常に重要な役割を果たします。しかし、一方で皮膚に触れてしまうと浸透し、骨を侵してしまうため非常に危険な薬品であり取り扱いには注意が必要です...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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溶液中の有機酸の定性・定量分析が可能です
クエン酸やリンゴ酸などの有機酸は半導体分野においてエッチング液やメッキ液の添加剤として、また食品中の酸味剤・乳化安定剤として、化学工業・医薬・食品などの分野で幅広く利用されています。 特にメッキ液中の有機酸濃度は、使用の過程でバランスが随時変化し、この...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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技術情報誌 201911-02 バイオイメージングへの取り組み
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
oSIMS ６．おわりに 【図表】 図１～図14 ラット肝臓のMALDI-MSイメージング イオン化支援基板を用いたMSスペクトル、LDI-MSイメージング ラット小脳・毛髪のイオンエッチングのTOF-SIMSイメージング マウス脳および脊髄のLA-ICP-MSイメージング 毛髪断面・免疫染色したマウス神経線維ののNanoSIMSイメージング...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
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XPS：X線光電子分光法 AES：オージェ電子分光法
XPSとAESは表面敏感な分析手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能となります。 深さ方向分析を行うにあたり、測定したい領域やサンプルの材質に応じてXPSとAESを適切に使い分けることが、目的に沿った分析を行う上で重要です。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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数μmの深さまで深さ方向分析を行います
XPSは表面敏感な手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能です。 XPSでは深さ方向の組成分布に加えて結合状態の評価も可能なため、装置部材表面の変色の原因調査などに適しています。 本資料ではターボ分子ポンプの羽...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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物理分析を行う装置を揃え、立会い分析も可能な受託分析サービスを行ってい…
S）】 ○X線をサンプルに照射して表面から数nmの深さから放出される光電子のエネルギー分析により元素を同定し組成・化学結合状態を分析する手法。 ○絶縁物の表面分析に適しており、Arイオンエッチングによる深さ分析や10μm径のビームによる局所分析が可能。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター
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薄膜の組成定量、面内分布、深さ方向分布の評価が可能
ついて、ICP-MSで高精度に定量した事例、SIMSで深さ方向に濃度分布を評価した事例、およびXRFにて基板面内の濃度分布を評価した事例を紹介します。 測定法：SIMS・ICP-MS・XRF・エッチング 製品分野：太陽電池 分析目的：組成評価・同定・組成分布評価・膜厚評価・製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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