【資料】～マイクロLED向けICPエッチングの加工例～

GaNマイクロLEDメサ加工の結果、GaNマイクロLEDメサ加工中の発…

当資料では、マイクロLED向けのICPエッチングの加工例を ご紹介しています。 実験及び結果として、GaNマイクロLEDメサ加工の結果や GaNマイクロLEDメサ加工中の発光分光データなどを掲載。 ぜひ、ご一読ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

焼結金網ストレーナー　既設品の部品代替・カイゼンとして。

ステンレス製、耐久性◎、ろ過精度◎、さらに、再生洗浄で「ながーく」使え…

焼結金網およびエッチング、独自の積層スクリーン、「ボンメッシュ」「ポアメット」「SCP」を使用したステンレス製のストレーナ。 既設のストレーナ（U型、Y型 ほか）のエレメント置き換えとして、耐圧・耐熱・耐腐食の対応品...

メーカー・取り扱い企業： ニチダイフィルタ株式会社

【資料】パワーデバイス用GaNのトレンチ加工

これまでの加工実績をベースに行ったGaNのトレンチ加工をご紹介します

当社は半導体製造装置メーカーとして、GaN系発光デバイス製造における ICPエッチング装置、CVD装置及びプロセス技術を提供してきた実績があります。 また、4H-SiCパワーデバイスに対してもトレンチ加工、メサ加工等に対応で きる装置を提供。 当資料では、これまでの...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

キャップレス潜水ヒーター

薬液に合わせて、石英・ステンレス・チタン・フッ素樹脂などバリエーション…

・燐酸・蓚酸等）、フッ化物含有液（添加物入りクローム液等）は適用外です。 ■UU・フロン 強酸・アルカリ・純水向。金めっき浴・銀めっき浴・半田浴・クローム浴・化研浴・フッ化浴・リン酸浴・エッチング浴、ロジウム浴、無電解、硝酸・塩酸・硫酸・純水・超純水等の半導体生産・表面処理ラインに採用多数。（フッ酸や王水などガス透過性のある強酸、比重の高い薬液、高い液温での使用はご相談ください。）...

メーカー・取り扱い企業： 谷口ヒーターズ株式会社 千葉事業所

【資料】アクア プラズマ～画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術～

Aqua Plasmaの効果として、ESCAによる表面の深さ分析結果な…

当資料では、アクア プラズマの画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術を ご紹介しています。 Aqua Plasmaの効果として、銅サンプル表面の酸化深さをESCAで Arビームエッチングを用いながら組成分析した結果などを掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■はじめに ■Aqua Plasmaの効果 ■ESCAによる表面―深さ分析結果 ■フォトレジス...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

【資料】ノンボッシュプロセスを用いたシリコン加工データ

シリコンのノンボッシュプロセスの新しいデータを掲載しています

当資料では、ノンボッシュプロセスを用いたシリコン加工データについて ご紹介しています。 RIE-800iPを用いてノンボッシュプロセスで加工したシリコンエッチング結果 などを掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■プロセス ■高アスペクト ボッシュプロセス加工結果 ■順テーパー形状加工結果 ■シリコン側壁観察SEM結果 ...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社