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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分…
■ステージ 最小分解能:5nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~50mm 最大移動速度:2mm/sec 対応真空度:10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:5nm 最大動作速度設定値:30mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、U...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm
■ステージ 最小分解能:1nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~50mm 最大移動速度:5mm/sec(UPシリーズ) ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:1nm 最大動作速度設定値:6mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、US...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm…
■ステージ 最小分解能:10nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~100mm 最大移動速度:2mm/sec 対応真空度:10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:10nm 最大動作速度設定値:50mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に サブミクロン分解能で位置決め 可動…
■ステージ 最小分解能:100nm or 50nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~100mm 最大移動速度:2mm/sec 対応真空度:10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:100nm or 50nm 最大動作速度設定値:100mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm…
■ステージ 最小分解能:1nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~50mm 最大移動速度:2mm/sec 対応真空度:10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:1nm 最大動作速度設定値:6mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、US...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…
なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…
ます。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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