Luminex xMAP INTELLIFLEX System

PR【キャンペーン実施中】迅速でコストパフォーマンスに優れたイムノアッセイ…

Luminex xMAP INTELLIFLEX Systemは、コンパクトで広いダイナミックレンジを実現します。タッチスクリーンのユーザーインターフェースを備え、スタートアップ、シャットダウン、メンテナンスが自動化されているため使いやすく、メンテナンスも簡単。この他、2つのパラメーターで測定可能なDR-SEモデルをはじめ、Luminex 200 Instrument System、Luminex...

メーカー・取り扱い企業： サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.

【エコで安全！】ノンフロン汎用機器ソリューションのご紹介

PRエコなノンフロン汎用機器へ更新しませんか？※「ノンフロンソリューション…

サーモフィッシャーサイエンティフィックでは、 環境に配慮して冷却機能がついた機器のノンフロン化を推進しています。 オゾン層を破壊せず、地球温暖化を促さないノンフロン冷媒を使用した機器や、ペルチェ冷却機能を搭載し、 より安全なノンコンプレッサー仕様の汎用機器製品群をご紹介します。各製品の機器更新の際に、ぜひご検討ください。 ※仕様詳細はPDFをダウンロードしてご覧ください。詳しくはお気軽にご相談...

メーカー・取り扱い企業： サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.

300mmウェーハ対応ラージバッチ縦型炉『VF-5900』

最大16個のFOUPストッカー！300mmウェーハ対応のラージバッチ縦…

『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現した フラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。 LGOヒータの採用で低温～中高温まで優れた温度特性を発揮します。 シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に 適しています。 【特長】 ■ラージバッ...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

300mmウエハー対応クリーンオーブン『SO2-12-F』

300mm(12インチ)ウェーハ対応の半導体製造向けクリーンオーブン

『SO2-12-F』は、FPD製造装置のベストセラー、枚葉式クリーンオーブンの 技術を取り入れた半導体製造向けのクリーンオーブンです。 300mm(12インチ)FOUP対応で全自動での運用が可能。50枚/1チャンバーの 処理が可能で、2チャンバーまでの増設ができます。 ポリイミドキュアなどの低温処理で高スループット、短タクトタイムを実現します。 【特長】 ■FOUP対応全自...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

ミニバッチ縦型炉『VF-3000』

R&D～量産まで使用可能な～Φ200mmウェーハ対応の自動搬送搭載縦型…

『VF-3000』は、後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現した ミニバッチ縦型炉です。 ミニバッチ、50～75枚の選択処理が可能なほか、～Φ200mmまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 超高温処理が可能でパワーデバイス製造やVCSEL用縦型熱処理システムに 適しています。 【特長】 ■ミニバッチ、50～75枚処理の選択が可能、R&Dから量産ラインに対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

コンタクトアニール用ランプアニール装置『RLA-3100-V』

GaN基板の処理も可能！コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装…

『RLA-3100-V』は、6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応可能な コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装置です。 耐真空設計された石英チューブの採用でクリーンな真空(LP)環境、 N2ロードロック雰囲気での処理が可能です。 また、自動ウェーハ載せ替え機構を装備し、C to C搬送を実現します。 【特長】 ■～6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応 ■自...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

活性化アニール炉『VF-3000H』

R&D～量産まで使用可能！3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉

『VF-3000H』は、超高温処理が可能で、パワーデバイス製造に適した 活性化アニール炉です。 ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ～6インチまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまで お使いいただけます。 また、活性化後の炭化除去も可能な「VF-5100」もご用意しております。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部