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57件 - メーカー・取り扱い企業
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窒化物半導体結晶のブールを形成し、より安価にGaNを作製可能に
ードや、発振波長が紫外域から赤外域の半導体レーザの材料として有望視されている。しかし、窒素の気相・固相間の平衡蒸気圧が従来からあるIII-V族半導体材料に較べて数桁高いため、GaN単結晶基板を安価で作製することはできない。また、「自立基板」と称されるGaN基板を用いる方法もあるが、現状の作製技術では高いコストを要するといった課題がある。 本発明によって、より安価に貫通転位密度の少ない窒化物半導体...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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東北大学技術：サブマイクロ線幅の配線作製方法：T11-050
型の線幅よりも微細な金属配線パターンの作製が可能！
レジスト材料の有型成形とリソグラフィの2工程からなるナノインプリントリソグラフィは、中規模生産に適した微細パターンの製法として脚光を浴びている。一方で、可視光の波長サイズのパターンを精密に作製する際には、型（モールド）の製造に電子線描画装置等を使用する 必要があるため、コストが増大してしまうという問題がある。本発明は、レーザー描画等で簡便に得られるマイクロ線幅を備えたモールドを使用して、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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間葉系幹細胞や歯髄細胞から造血組織を作製可能
骨髄移植は、他人の骨髄を注入するため、適合性が問題となったり、 免疫的な障害を避けるための処置が必要となったりしています。 本発明を用いると、自己の歯髄細胞から骨髄組織の作製が可能となり、 適合性や免疫的障害の懸念がない治療の実現を期待できます。 また、マウス歯髄細胞をBIO処理することで、歯髄幹細胞様の形態を 示す細胞が作成され、この細胞において、幹細胞マー...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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低温・ 温度制御が容易・大きい成長速度でAlN種晶を作製可能
深紫外発光素子(DUV-LED)はAlGaN系窒化物半導体から作製される。そのAlGaN系DUV-LEDの基板材料には、AlGaNとの高い格子整合性、AlGaNよりも広いバンドギャップ、および高い熱伝導率が求められ、それらの条件を満たす窒化アルミニウム（AlN）が...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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東北大学ウルトラファインバブルを用いた複合粒子T20-3142
レーザー吸収率が向上することで3Dプリンタで造形しやすく、耐食性、耐熱…
して表面積を広げることが有効である。また複合粒子は耐食性、耐熱性、耐酸化性などの諸特性が向上するメリットもある。 しかし、金属粒子とセラミックス粒子は共に水中で正に帯電するため、均一な複合粒子の作製が困難であるという課題がある。本発明者らは以前にカーボンナノチューブを用いて複合粒子を作製し、表面電荷調整用の薬剤やバインダを使用しないことに成功している。 本発明はウルトラファインバブルを用い...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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フレキシブルな透明電極を安価なZnO(酸化亜鉛)で作製可能！
の性能改善によるウェアラブル端末のさらなる進化が期待されている。ZnOは代表的な導電性の酸化物であり、透明電極への応用が望まれる。化学気相成長(CVD)・原子層堆積(ALD)・スパッタリング等の薄膜作製法が確立されているが、導電性を損なわずに樹脂などのフレキシブル基材上に形成できないという課題があった。本発明では電子線をZnO粒子に照射することで、優れた導電性と、これまでにない安定した構造を有する...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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東北大学技術：積層造形用酸化物分散強化型合金：T17-105
積層造形法において、微細な酸化物粒子を均一に分散せしめた、酸化物分散強…
散された酸化物粒子がより多く、かつ、酸化物粒子が均一に分散せしめることで、高温環境に長時間曝されても酸化物粒子の凝集や粗大化が起こりにくく、強度特性の劣化が発生しにくい材料となりうる。 当該合金の作製に関し、鋳造法では比重の異なる金属液体と酸化物固体とが均質に混ざり難く、酸化物粒子が、凝固の固液界面に押されて最終凝固部に凝集し、母相内部に均等に分散しないため、均一な合金の作製が困難であるといった...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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応用次第では、マグネシウムと鉄の複合体も作製可能
の合金から、卑な金属だけを水溶液中で腐食除去しポーラス体を得るデアロイング（脱成分）法が用いられてきた。しかし、標準水素電極電位に対して貴な金属およびその合金においてのみナノ・マイクロポーラス金属の作製が可能である点で、対象とする金属が限定されるといった課題が存在する。 本発明は、従来法では原理的に作製し得なかった卑な金属、および、その合金において、ナノ・マイクロポーラス体を容易に作製することが...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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比較的容易に作製可能、大面積(5×5mm以上)、安定して相転移を確認
相転移を示す初の酸化物材料であり、従来のカルコゲナイド材料に比較して環境負荷が小さいため、CD, DVD,BDなどの光記録材料への応用が期待される。しかし現状ではλ-Ti3O5が準安定相であるため、作製できる結晶の大きさがナノメートルオーダーに制限されている。 本発明は、TiO2を原料とし、パルスレーザー堆積(PLD)法において、実施可能な程度に容易な工夫を施すことで、デバイス応用が期待される大...
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東北大学技術：スラリーおよび球状粒子の製造方法：T20-505
スラリーの沈殿を解消して小サイズ・密な球状粒子を作製、MoSiBTiC…
数１０～数１００μｍの粒度が揃った粒子は積層造形(3Dプリンタ)の原料として期待され、その作製にはパルス圧力付加オリフィス法(POEM)や、本発明者らの開発した凍結乾燥POEM(FD-POEM)法が用いられる。組成制御や表面張力による球状化の観点から、原料はスラリー状が望ましいが、短時間での...
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東北大学技術：ヒトに近い感覚を有する触覚センサ：T21-171
トランスデューサ、力覚センサ及びセンサユニット
作業をするためには、力覚などの感覚をロボットが持つことが重要であり、ヒトと同様の感覚を感知できるセンサの搭載が望まれている。 従来より様々な方式の触覚センサが提案されているが、それらは構造が複雑、作製工程が煩雑でコストが高い、等の課題があった。 本発明では、電気基板上に設けたコイルを覆うように磁性材料をポリマーに分散させた磁性フォームを形成することで、トランスデューサーを作製した。このトランス...
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曲げられるホール素子を実現！量産展開に適し、感度の温度安定性も抜群
気センサ（ホール素子、ホールIC等）の 材料としては、化合物半導体であるGaAsやInSbなどが知られています。 単結晶薄膜における高移動度を利用して高感度なセンサ特性を提供しているが、 作製温度、作製手法、動作温度範囲の制約が厳しい点などに課題がありました。 本発明は、上記課題のいくつかを解決する、Fe-Sn混晶をベースとする 磁性金属薄膜の磁気センサです。 室温堆積の汎...
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従来技術に比して、低コストで高品質な層状MoS２、層状グラファイトが作…
ＶＤ）法が存在するが、前者は低品質であり、後者は高価で生産性が低いといった課題があった。本発明は、上記課題を解決する低コストで、層間の残留物が少なく、配向性が高いといった高品質な新規層状ナノシートの作製方法に関する。層状ナノシートの作製例は、MoS２、グラファイトであるが、それ以外の層状ナノシートも作製可能である。...
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３Dプリンタ・ロボットによる複雑部品の一括製造
製造業において、顧客ニーズの多様化に伴い多品種少量生産や、複雑な製造技術の要求が増加傾向にある。中でも多品種、ごく少量生産である内視鏡は、その作製において、部品加工や組み立て作業は一般的に熟練者による手作業によって行われている。しかし、手作業では個人差によるばらつきや、作製に時間がかかるといった課題があった。 前記課題を解決すべく、本発明は...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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東北大学技術：FeSiAl合金のMTJ素子：T20-1263
高TMR比・高センサ感度・コストダウンを達成。従来のFeSiAl合金よ…
ではFeSiAl合金(センダスト)に着目し、これまで製造できていなかったナノメートルオーダーのセンダスト薄膜を製造し、自由層に適用することで、NiFe合金等と同程度のセンサ感度を達成するMTJ素子を作製した。また従来考えられていたセンダストの中心組成より広い範囲で、優れた軟磁性特性を示すことも明らかとなった。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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サイクル特性も向上、硫化物から硫黄ベース正極材料を実現
進められていました。 本発明は、上記課題を解決する、硫化物からの電気化学的脱離による 硫黄ベース正極材料です。 本発明のコンセプトにより、“ポーラス状骨格+活物質”という複合材料を 作製可能にし、従来よりも高い作動電位を持ち、サイクル特性も向上した 正極材料を提供します。 【特長】 ■硫化物から硫黄ベース正極材料を実現 ■“ポーラス状骨格+活物質”という複合材料を作製可...
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安全、低温成膜、不純物を含まない硫化技術を開発(硫黄プラズマ)、同手…
光吸収が可能(シリコン系~500μm) ・ ホモp-n接合で変換効率25.3%が実現できると報告されている しかしながら高効率のホモp-n接合を有するSnS太陽電池を実現する ためには、技術的に作製出来なかったn型のSnS薄膜の実現が必要であった。 本発明は今まで作製出来なかったn型SnS薄膜を硫黄プラズマを用いた 新規硫化技術を用いて世界で初めて実現した。このn型SnS薄膜を用いる ことで...
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nm～μmサイズが混在しパターンの粗密がある構造体を精密に製造可能！
まいます。 本発明の光ナノインプリント法は、マイクロスケールのレーザー 加工孔版印刷とナノスケールの有型光造形から構成。 1～300 Pa ･sの高粘度な光硬化性樹脂を、レーザー加工で作製した 貫通孔を持つポリイミドシートを孔版に用いて孔版印刷により 光硬化性樹脂の液滴を基板上に配置することができます。 線幅45nmのレジストパターンとシリコンパターンの作製に成功しています...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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東北大学技術：生分解性ポーラスマイクロニードル：T19-678
生分解性と通液性と機械的強度を兼ね備えたマイクロニードル
使用されている。発明者らは通液性を高めたポーラスマイクロニードル（PMN）の開発において、生分解性や皮膚刺入に必要な機械的強度を持たせるために、生分解性ポリマーと溶解性ポリマーを組み合わせたPMNを作製した。 【効果】 • PLGAで作製したPMNを界面活性剤とカルボキシメチルセルロース（CMC）で修飾することにより濡れ性と機械的強度が向上する。 • ブタ皮膚の経皮電気抵抗は、PLGA-PM...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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金属ガラスの溶射被膜の形成により、複雑形状製品や大型化が可能です！
金属ガラスは、大きなバルク体を作製するためには、均質な性能を維持した大型バルク体は作製が困難といった課題があった。本技術は、「アモルファス相の金属ガラス粉体を、該金属ガラス粉体の少なくとも一部が過冷却液体状態で基材表面において凝固及...
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東北大学技術：金属ナノワイヤー及びその製造法：T13-020
添加剤を使用せず、簡便に歩留まりよく安価にアスペクト比の大きなAgナノ…
めに、製造工程、製造コストの増加並びに廃棄物処理などの課題があった。これに対し本発明は、添加剤を使用しないため余分な製造コストを抑えられる上、歩留まりよく安価にアスペクト比の大きなAgナノワイヤーを作製することが可能にる。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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東北大学技術：骨誘導能を有する吸収置換型骨再生剤：T19-353
iPS細胞を用いて作製した骨様組織の細胞を不活性化した、優れた骨誘導能…
する骨誘導能はないため、大きな欠損では十分な治療効果を得ることが困難となる。将来的にはiPS細胞を用いた治療も提案されているが、移植した細胞が腫瘍化するリスクがついて回る。本発明はiPS細胞から骨を作製した後に細胞を不活化することで、安全かつ骨誘導能を有する骨再生剤を提供するものである。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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鋳造が可能な高強度・高剛性・高耐熱性、Mo合金の誕生！Ni基合金と同等…
くなるといった課題、また粉末焼結の ままで成形体とした場合には、強度の低下等の課題が存在しています。 本発明では、軽量かつ高強度で耐熱性に優れるモリブデン合金を溶解・ 鋳造法によって容易に作製する事が可能であり複雑形状に対応。 融点が2000℃以下の新規モリブデン合金が得られます。 下記PDF資料では、「優れた高温強度特性を有するMo-Si-B系合金」や 「優れた耐酸化性を有す...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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東北大学ルチル型二酸化チタン光触媒T07-233,T09-030
低コストかつ簡便に、光触媒性能と親水性に優れた二酸化チタン薄膜を作製可…
実用の二酸化チタン光触媒は粉末を原材料とすることが多く、基板への固定化や密着性が産業利用上の課題であった。また、二酸化チタンは紫外光には活性だが、太陽光などの自然光の活性が乏しい点も長年の課題である。 本発明は、陽極酸化法を用いたルチル型二酸化チタン薄膜の製造技術に関するものであり、本法により比較的低コストで、光触媒性能と超親水性を併せ持つ、密着能の高い薄膜の創製が可能である（右表）。この薄膜...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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東北大学技術：極低温マイクロスラッシュ生成システムT06-011
効率的、安定的、大量に、微細かつ均一な粒径の固体窒素粒子を容易に生成可…
技術開発においては強く求められている状態である。 本発明により、微細な粒径を持ち且つ均一な固体窒素粒子を含有するマイクロスラッシュ窒素二相流体といった極低温固液二相流体を、効率的に且つ簡単な手法で作製可能であり、超伝導冷却等を始め冷却用冷媒としての適用が期待される。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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IoT用途の3次元磁場センサの小型化に貢献
と異常ホール効果が磁場角度依存性を示すことを利用し、薄膜各部に生じる電圧から3次元空間の磁場ベクトル方向を決定します[1]。単一の感磁層を汎用の素子加工法でパターニングするだけで、3次元磁場センサを作製することができ、他素子との回路集積に適しています。この薄膜は、室温で形成可能、かつ、磁性体特有の効果を用いたIoTデバイス[2-5]にも応用できることから、磁場センサだけでなく、機能複合化による新た...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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新規免疫チェックポイント分子LILRB4を応用した創薬及びLILRB4…
される。 ＊注1：(2)の抗B4抗体はX社へ独占ライセンスしたが、B4と作用する小分子、ペプチド、（1）と（3）は開発自由である。 それから、FN結合を阻害するB4のモノクローナル抗体を独自に作製し、B4をバイオマーカーとして肺がん患者の予後予測を検証できた（図C、特許 WO2023/002943）。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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高い空隙率をもつ多孔質SiCを簡便に作製
ナノオーダーからマイクロオーダーの微細な空孔を有する多孔体は、様々な用途への応用が期待されている。多孔体を構成する材料のなかでも、炭化ケイ素は耐熱温度が高く、半導体材料として優れた特性を示すことから注目されている。しかし、炭化ケイ素の多孔体を応用するには、材料自体の優れた特性だけでなく、多孔体の構造についても検討の余地がある。本発明は、ナノスケールからミリスケールまでの広範な孔径を有し、かつ、フラ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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多結晶でも単結晶と同レベルの特性を示し、フレキシブル基板上に製膜可能
ンサや高効率熱電変換素子の候補材料として注目を集めている。上記の優れた特性を発現させるためには、単結晶成長させたバルク材料、または単結晶基板上に成長させた単結晶薄膜が必要と考えられ、そのような試料が作製されている。しかしながら、実際のデバイスへの応用を視野に入れると、単結晶基板を用いない多結晶膜において単結晶の材料と同等の特性を示すことが不可欠と考えられていた。 本発明では、単結晶薄膜と同レベル...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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表面に微細なセラミックスを微細分散させた高レーザ吸収型金属粉末、複雑形…
金属とセラミックスを混合すると、互いに正に帯電する表面電位のために反発し、互いに離れた状態で分散してしまうため、複合体が形成されないといった課題があった。従来技術として、ポリビニルアルコールを主成分とするバインダーを使用して金属とセラミックスを接着しこれを焼結することで粉末の複合化を達成しているが、バインダーによる組成変化に伴う機能性低下（具体的には、機械的性質の劣化、光吸度の低下、等）や製法時の...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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低温、高い成長速度で高品質なAlNバルクを生成
深紫外発光素子(DUV-LED)はAlGaN系窒化物半導体から作製される。そのAlGaN系DUV-LEDの基板材料には、AlGaNとの高い格子整合性、AlGaNよりも広いバンドギャップ、および高い熱伝導率が求められ、それらの条件を満たす窒化アルミニウム（AlN）が...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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低品位銅アノード（ブラックカッパー）の処理に好適な銅電解精製セル
銅製錬において、e-scrap等のリサイクル原料の増加が予想されるが、リサイクル原料を用いて作製した低品位の銅アノード（ブラックカッパー）は容易に不働態化するため電解精製での処理が確立されていない。電解採取での処理は実用化されているが、電解採取は電解精製に比べて非常に多くの電力を要することが課...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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基板フリーの着色板状粒子からなるパール顔料
従来のパール顔料は、マイカ基板に金属酸化物（TiO₂等）をコーティングすることで作成されていた。この従来のパール顔料は、マイカ基板の作製と二酸化 チタンのコーティングとの２工程を経て製造され、二酸化チタン層の厚みを厳密に制御す ることは容易ではなかった。すなわち、従来法ではパール光輝性の発現、色相の制御が難しく、コストも高かった。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ
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B無添加・低温熱処理・スパッタ製膜でTMR比200%以上
子性能指標の一つであり、それら応用製品の仕様を左右する重要な特性である。アモルファスFeCoB磁性合金とMgOトンネルバリアを用いたTMR素子は現在主流の材料系で、大量生産に適したスパッタリング法で作製できる。素子を熱処理した際にBが拡散することでFeCo／MgO結晶素子となり、200～600%のTMR比を示す優れた材料である。しかし、熱処理によって拡散したBは、FeCoに隣接する他の層の機能性を...
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東北大学技術：恒久使用型臭化タリウム放射線検出器：T07-141
PETでも、一般的放射線検出器でも、分極を防ぐことが可能で長時間使用可…
lBｒ）等のタリウムハロゲン化物放射線検出器及びこれを備えたPETあるいはSPECTに関する。 PETの背景について、高性能な検出器には、従来はCdTe結晶を用いた放射線検出器が使用されているが、作製費がく、例えば装置1台あたりの結晶のみの価格で数億円に上る。このためCdTeの代替材料として、安価であるTlBr等のタリウムハロゲン化物が注目されている。 本発明では、TlBr等のタリウムハロゲン...
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東北大学技術：放射線検出装置、陽電子断層撮影装置：T07-176
低バイアス電圧で速いタイミング信号取得が可能
放射線検出装置を有する陽電子断層撮影装置（PET）に関する。 PETの背景について、高性能タイプの検出器には、CdTe結晶を用いた放射線検出器が使用されているが、共有結合結晶であり融点が高く、また作製費が高いといった問題点がある。例えば装置1台あたりの結晶のみの価格が数億円と高価である。このため、CdTeの代替材料として、安価であるTlBr等のタリウムハロゲン化物が注目されている。 臭化タリウ...
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東北大学技術：多孔質アモルファスシリコン粉体：T18-503
液体急冷法で容易に量産可能！ 負極材等への応用へ
た問題が存在しており、負極材としての実用化の障害となっている。 また、全固体電池では、薄膜アモルファスシリコンが負極材として用いられ、優れたサイクル特性が報告されているが、真空蒸着法や気相成長法で作製するため、量産性に課題があった。 本発明は、液体Si合金をガスアトマイズ法で急冷することによって、上記問題を解決し、多孔質構造を有するアモルファスシリコンを大量に生産できる手法を見出した。 ...
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アンテナで光を捉え、電力として抽出 ～中・遠赤外光の電力変換が可能！～…
ことによって光電変換を行うものである。近年では、レクテナの技術を光の周波数領域に適用した光レクテナの研究が進められており、太陽光で発電を行った結果が報告されているが、現在報告されている光レクテナは、作製が難しい、もしくは効率が低いといった課題が存在する。本発明では上記課題を解決するべく、金属-誘電体-金属(MIM)トンネルダイオードに特殊な構成と材料を導入し、さらに空洞共振器を応用したデバイスによ...
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セルロースナノファイバーから創る高強度繊維
、自動車部材や電子デバイス、ガスバリア材、医療用材料に用途展開が期待され、研究・開発が進められている。他方、レーヨンの名称で知られる、セルロースから成る化学繊維は、木材パルプや綿セルロースをベースに作製された再生繊維として、衣服やタイヤ材料にも活用されている。これまでにもCNFを原材料にした再生繊維は研究・開発が行われてきたが、得られる単繊維の強度特性が十分ではなかった。本発明は、単繊維創成の工程...
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発癌抑制、ダウン症等の作用機序解明に有用
た。 トランスジェニックマウスは、心臓でmCbr1が過剰発現している個体（以下、Tg7）と心臓に加え、脳、肺、脾臓、腎臓、子宮、卵巣でもmCbr1が過剰発現している個体（以下、Tg15）の2種類が作製された。 Tg7およびTg15は、CBR1が制御する分子機構を解析するために有用であるため、CBR1が関連する疾患の薬剤スクリーニングに利用できるのではないかと考えている。...
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細胞内移行性と低毒性を備えるカチオン性ポリマー粒子
されている。一方、細胞内の様々なタンパク質と非特異 的に吸着することによって強い細胞毒性を示すことも報告されている。本発明は、独自に開発したカチオン性ラジカル重合開始剤ADIPを用いることによって作製した細胞内移行性と低毒性を備えるカチオン性ポリマーナノ粒子（ナノゲル）に関する。発明者らは、ADIP を用いて合成したNIPAMベースのカチオン性ナノゲルに下記特性があることを確認した。・混ぜるだけ...
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東北大学技術：TAQingシステムを糸状菌に応用：T22-154
糸状菌休眠遺伝子由来の二次代謝産物の生産が可能
AQ１を細胞に導入することで同時多発的にDNA二本鎖を切断し、その後の組み替え修復により多様なゲノム再編成を生じさせる手法）」によって、休眠している生合成遺伝子が活性化された糸状菌の形質変異株を多数作製し、野生株では生産されない天然物の顕著な生産誘導に成功した。 TAQingシステムを用いた二次代謝活性化法の開発は、モデル糸状菌であるAspergillus nidulans を用いて検討を行って...
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環境に優しい窒化物半導体から構成される高効率太陽電池
の実現のためには、結晶の極性（薄膜結晶成長方向に沿った構成原子の配列順）を制御した成長技術、特に窒素（N)極性成長技術が必須である。東北大では、このN極性成長に世界でいち早く成功し、N極性太陽電池を作製している。Ga極性太陽電池と比較して、フォトキャリの引き出し効率が8倍以上大きくなることを実験検証している。...
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市販のPt/C触媒より高い活性を持つ新規触媒
一方で代替材料であるPtと安価な材料(カーボン等)の合金も活性効率の向上が必要という課題を有していた。本発明は資源量が豊富であるケイ素(Si)に注目し、ドライプロセスを経てPtとSiの合金ナノ粒子を作製することで前記課題を解決するものである。さらに、開発したPtとSiの合金ナノ粒子は市販のPt/C触媒に対し2.5倍の触媒活性を示すといった特徴があるため、燃料電池の電極触媒の代替材料として期待される...
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マイクロ波（周波数2.45GHz）照射により、大気中で、短時間で窒化チ…
窒化チタンコーティング法としては、従来からスパッタリング法や基材にチタンイオンと窒素ガスイオンを照射し、基材上で反応させる方法、プラズマＣＶＤ法などがある。本発明は、これらの方法と比較すると空気中の窒素を窒素源として使用するものであり、雰囲気調整を必要としないことから、シンプルなプロセスにより低コストで窒化チタンのコーティングを行うことが出来き、高硬度で滑り特性・耐熱性特性を容易に付加できる。対象...
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