第17回"超"モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」を受賞！

17年連続受賞！半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ…

・部材を対象に選出している」賞です。 2020年 第17回の"超"モノづくり部品大賞では、「高精度流量バルブ」が 「機械・ロボット部品賞」を受賞いたしました。 「高精度流量バルブ」は半導体製造プロセス用に当社が新しく開発した ダイヤフラムバルブで、設置面積の大幅カットを実現できます。 製品詳細は随時HPで公開いたします。 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

株式会社フジキン『センシェントバルブ』IoTバルブ

バルブの開閉をセンシングします！

■半導体製造装置用　超小型IoTバルブ 超小型ダイヤフラムバルブに小型センサを搭載することで、 超小型IGS（集積化ガス供給システム）にてIoT化を実現し、 正確な開閉検知が可能になりました。 ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

株式会社フジキン『ベローズバルブ』

「漏れてはならない分野」で幅広く活躍するバルブです。

完全に阻止する グランド部のシール形式。)バルブで、危険性、可燃性ガス、蒸気、 熱媒及び真空ラインに適したバルブです。 高圧～真空・高温～超低温に適用するベローズバルブは、原子力・ 火力・半導体・化学及び真空等の幅広い「漏れてはならない分野」で ご使用されています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

システム【静止型ミキサー】混合君・分散君

混合・分散を効率良くコンパクトに実現、 製造プロセスの未来に無限の可…

配管に接続し、化学や食品、医薬品などの製造工程で気体や液体の混合・分散を効率よく行う部品です。また、半導体製造設備に設置すると、製造に使うガスを昇温させ、ウエハーを温めておくことが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

システム【切替弁】Stream Switching System

流体の選択・切替を制御、200万回以上の高耐久化を実現。

みを分析機に供給し、 　閉時に内部に残る不要なガスを排出します。 2.ボルト連結構造のため、現場でも容易に増設可能。 3.ベースブロックからバルブモジュールを取り外しての交換も容易。 4.半導体向けバルブ技術のノウハウを用いて、 　200万回以上の高耐久化を実現。 5.ステムにガイド機能を持たせることで安定したシート性能を実現。 　貴重なサンプリングガスを無駄にしません。...

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