【プロセス分析計 技術資料】CMT工程の過酸化水素を全自動で測定

プロセス分析計 / オンライン分析計でCMT工程における過酸化水素の濃…

シリコンウェハ表面を滑らかにしたり研磨したりするために使用される主要な技術の1つです。 一般的には、この工程では、脱イオン水、CMPスラリー(コロイド状シリコンやアルミナ液体分散体)、および過酸化水素(強酸化剤)を一定の濃度と比率で混合する工程です。 過酸化水素は経時的に劣化するため、CMP工程を効率よく繰り返し行うためには、その濃度をオンラインで常時監視する必要があります。このように、CMP...

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社

プロセス分析計（滴定/水分/金属分析）【導入事例集】

世界で実際に導入されたプロセス分析計 / オンライン分析計の導入事例集…

世界5000台以上の実績があるオンライン分析装置の導入事例をまとめた冊子を無料プレゼント！ ◆掲載事例◆ 事例1：サワーウォーター中の硫化水素とアンモニアの分析 事例2：金浸出スラリーおよび廃液中の遊離シアン化物、全シアン化物、WADシアン化物の分析（湿式精錬法） 事例3：“リッチ”アミンおよび“リーン”アミンの濃度と回収されたCO2...

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【技術資料】pHガラス電極の基本と注意点

ｐHガラス電極の構造と取扱い方法について易しく解説した入門者向け小冊子

pHガラス電極は水素イオンと選択的に反応します。つまり、pHガラス電極はH+のイオン選択性電極とも言えます。イオン選択性測定の最も重要な部分は、特別組成のガラス膜にあります。この特別なガラス膜は、測定するために試料溶液...

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【プロセス分析計 技術資料】ウェハ用洗浄槽の品質管理

ウェハ用洗浄槽の水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸の同時分析をインラ…

半導体メーカーではクリーンルーム内のウェットベンチで標準的な洗浄工程を行い、環境を管理し、さらなる汚染を防いでいます。しかし、このような環境では分析装置を設置するためのスペースが非常に限定的であることが一般的です。 試薬を使わず、より安全で効率的、かつ迅速に洗浄液の主要パラメータを同時にモニタリングするには近赤外分光法（NIRS）によるインライン分析が有効です。 オンライン分析計　プロセス分析...

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