技術資料『JIS規格「分銅」と製造工程の紹介』

PRJIS分銅の製造から市場供給までの流れをご紹介。JIS規格の概要も解説

当社は、質量計測を主軸とし、天びん・分銅の製造や校正サービスを手掛けています。 100年以上にわたって蓄積したノウハウを元に、高度な技術が求められる 機械式はかりの組立や、1μgレベルの高精度な質量調整・校正が可能です。 本資料では、分銅の信頼性を担保する「JISマーク付き分銅」について紹介。 精度等級や特性評価基準などのほか、製造・検査工程などを紹介しています。 【掲載内容(一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社村上衡器製作所

【デモ機あり】 粉体溶解機 / 粉末溶解ポンプ

PR様々な粉体を液体中に分散・溶解が可能！　ダマや溶け残りなし・短時間処理…

粉体の液体中への分散・溶解というと、タンク内の大型撹拌機で攪拌する、もしくはハンドミキサーで小容量の攪拌を何回も繰り返す、というのが一般的かと思います。ただ、これらの方法ではダマや粉体の溶け残り、処理時間が遅い、作業者に負担がかかるなど、お悩みはありませんか？ 弊社の粉体溶解機を使用すれば粉体投入口が腰の位置にあるため、作業者の負担が軽減され効率的な作業が可能です。また、短時間で処理ができ、ダマ...

メーカー・取り扱い企業： 関西乳機株式会社

鉄道RAMSの評価支援ツール「RWB/AWB/HAZOP」

鉄道車両や鉄道信号、鉄道システムのRAMS評価を支援します。

鉄道車両や鉄道信号の製品の開発段階から使用段階を経て、製品の寿命が尽きるまでReliability、Availability、Maintainability、Safetyを総合評価、支援するためのソフトウェアです。 信頼性、可用性、安全性評価支援ツールのReliability Workbench(RWB)、Availability Workbench(AWB)、HAZO...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

信頼性・安全性評価ソフトウェアRWB

IEC61508、ISO26262に完全対応。認証取得済み。

故障率計算からレポート作成まで一気通貫で支援！ Reliability Workbenchは、機能安全に対応した信頼性、安全性の評価や分析する際に用いられる、信頼性工学に基づいたツールです。 機能安全規格IEC61508やISO26262等で求められる機器の信頼性及び安全性を評価するためのツールとして国内外を問わず多くの企...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

セキュリティ脅威分析ツール『Attack Tree』

Attack Treeは、自動運転車をハッキングなどの脅威から守るため…

自動運転への関心の高まりと共に車載システムの複雑化が予想され、 安全要求のみならず、セキュリティの評価も必要となってきています。 欧州では既にセキュリティ評価も安全評価と平行して実施されており、 セキュリティの評価を実施する手法としてアタックツリーが存在します。 Isograph社（UK）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

故障情報を元にしたライフサイクルコスト算出及び機会損失の低減

故障情報から施設、設備、機器、装置固有の故障特性を分析し、データベース…

【掲載内容】 ■目的の明確化 ■評価実施方法のご提案概要 ■故障情報を活用した分析及びデータベース化 　・ワイブル分析 　・ベイズ統計 　・MCMC法 　・分析結果の数値モデル化/データベース化 ■運用中の設備における信頼...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

RCM解析支援ソフト AvailabilityWorkbench

RCM、RAMS解析支援ソフトウェア

benchでは、プラントやシステムを構成するコンポーネント（系統システム）の故障に着目し、信頼性工学的手法を用いることで、以下を支援します。 ・プラントやシステムのアベーラビリティの定量的な評価 ・故障原因を除去することを目的にメンテナンス計画を策定 ・状態監視の有効性評価 ・予備品、作業員計画 ・プラントやシステムのライフサイクルコストの評価 Availability Wo...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

故障ツリー分析ツール「FaultTree+」

ISO26262機能安全対応でなぜFTA+の専用ツールが必要なのか？ …

１．Excelでできること、できないこと Excel(又は他のOfficeツール)でもFT図は作成できます。 しかし、Excelで書いたFT図はカットセット分析等の安全分析や 定量評価ができません。 システムレベルでの評価においてもモデルの安全性評価に対する 説明ができません。 ２．専用ツールでないとできないこと カットセット分析、共通原因故障、従属故障、 システマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション

粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、…

タ粒子モジュールを活用することで、マグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を求めることができ、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価可能です。解析手順としては、プラズマモジュールで求まったプラズマの粒子、エネルギー束を用いてスパッタ粒子の発生分布、発生量を求め、テスト粒子法と呼ばれる粒子法で運動を追跡します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

表面処理の特性予測ソリューション

複数の解析ソフトウェアを駆使した表面処理の特性予測ソリューションを提案…

材料特性など プラズマプロセス装置の解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します！ 【解析対象となる物理現象】 ・結合と活性化 ・成膜 ・スパッタや浸食 ・脱離や洗浄　　　など 【評価可能な表面特性例】 ・原料ガスやプラズマの入射量やエネルギー、あるいは浸食/成膜速度の評価 ・物質の原子/分子データに基づきその材料特性を評価 ・入射粒子の表面反応予測 ・処理後の表面粗さ評...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

サービスパーツ、補修部品(予備品、交換部品)需要予測システム

さまざまな業界の設備管理、データ分析を熟知した専門家が支援！

Availability Workbenchをご提供。 また、これらのツールを連携することにより、設備稼働率、メンテナンス 周期の最適化、必要予備品数、ライフサイクルコストなどを定量的に 評価することが可能です。 【特長】 ■ツールによるプロジェクトの一元管理と見える化 ■現場のカンに頼っていた部分をシミュレーションによる定量評価が可能 ■直感的なユーザインターフェース ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【実験できない範囲も解析が可能】表面処理の特性予測ソリューション

専門知識を持った技術者がサポート！各種解析ソフトを組み合わせる事で、表…

【その他の特長】 ＜解析対象となる物理現象＞ ■結合と活性化 ■成膜 ■スパッタや浸食 ■脱離や洗浄　　　など ＜評価可能な表面特性例＞ ■原料ガスやプラズマの入射量やエネルギー、あるいは浸食/成膜速度の評価 ■物質の原子/分子データに基づきその材料特性を評価 ■入射粒子の表面反応予測 ■処理後の表面粗さ評...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

医療機器管理台帳システム『FLiPS』

薬事法及び医療機器安全管理指針に則した保守点検計画の策定及び実績管理を…

FLiPSは薬事法や医療機器安全管理指針で求められる以下のような項目を一元管理する事の出来るシステムです。 ・始業・終業点検表 ・保守点検計画表 ・保守点検の評価 ・機器に紐づく文書の管理 ・故障修理記録票 本システムでは上記情報の管理だけでは無く、任意のExcel形式で報告書や帳票を出力する事も可能です。 保守点検作業にタブレットをご使用で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

故障率計算・信頼度予測ツール『Prediction』

故障率計算からレポート作成まで一気通貫で支援。

Reliability Workbenchは、機能安全に対応した信頼性、安全性の評価や分析する際に用いられる、信頼性工学に基づいたツールです。 Prediction（信頼度予測）モジュールは各種ハンドブックに基づく電子部品故障率計算を支援します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】カレンダー型設備資産管理ソフトウェア FLiPS

「FLiPS」が仙台市の下水道事業で導入された事例をご紹介

命化を目的としたアセット マネジメントに保全カレンダーシステム「FLiPS」が導入された事例をご紹介 します。 当ページでは、サーバやクライアントなどの「システム構成」のほか、 「リスク評価に基づいた保全のPDCA」や、「リスクマトリクスの例」などを 掲載しています。 様々なリスクを考慮しつつ改築時期を延長することで、費用予測が改善 しています。 【掲載内容】 ■シス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

設備管理業務の最適化ソフトウェア『AWB』

メンテナンス周期の計算による稼働率最大化・コスト最小化。設備管理、故障…

分析ツールやERP、EAMと連携でき、故障率の算出から ライフサイクルコストの算出までをシームレスに実行できます。 【対象業務】 ■自社での設置環境、利用条件における設備の故障特性や寿命の評価 ■メンテナンス周期を決めるための定量値算出 ■作業の網羅性、メンテナンス周期の確認 ■各種作業の組合せの最適化 ■保全実施によるコスト、稼働率、必要予備品、必要作業員の検討 ■リスクに基...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

製品改善、運転条件の最適化、予兆保全システム

シミュレーション、統計解析、機械学習技術を活用し、設備のフィールドデー…

シミュレーション技術と信頼性評価、設備保全に関する知見を組み合わせ、データ収集・可視化から分析、製品の改善や運転条件の最適化、予兆保全に関わる仕組みの構築を支援致しております。 主な対象設備としては ・各種プラント ・半...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

信頼性中心保全支援 RCMモジュール

保全戦略の最適化！安全、運転や環境などの目標を達成できるかを併せて評価

ターゲット】 ■自社設備をお持ちで予防保全や予知保全への移行をご検討されている方 ■老朽化設備を効率的に運用管理する事を求められている方 ■産業用機械もしくは設備を開発、設計されており、信頼性評価による 　根拠が必要な方 ■フィールドサービスを実施されており、エンドユーザーへ向けて定量的な 　根拠に基づいて提案をされたい方 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

Reliability Workbench FMECAモジュール

直感的なユーザインターフェース！ツールによるプロジェクト一括管理を実現

当社で取り扱っている『Reliability Workbench FMECAモジュール』について ご紹介いたします。 AIAG/VDA FMEAのフォーマットに対応。一般的なRPNによる評価を廃止し、 APによる評価に変更や分析の7ステップが設けられ、順番に対応する必要がある といった目的達成を支援。 「自動車に関連する製品の品質管理に取り組む方」や 「AIAG/VDAへの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【資料】ベイズ最適化

全体の形が未知の関数や微分ができない関数の最大値・最小値を探索的に求め…

『ベイズ最適化』とは、全体の形が未知の関数や微分ができない関数の 最大値または最小値を、関数の形を推定しながら探索的に求める手法です。 未知の評価にとても時間やコストがかかるような状況で、いかに少ない 評価回数で好適な値を探せるかがポイントです。 当資料ではこの他に「FA分野での活用事例」や「システム連携・幅広い提案」 「Pipel...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ISO26262業務支援パッケージ

ISO26262業務支援パッケージは、Part3, 4に基づくPart…

ぐことでトレーサビリティを確保 3.標準様式のFMEA/FMEDAのインポート／エクスポートが可能 4.FMEA/FMEDAからFT図へ一括変換が可能 5.FTA結果（カットセット分析結果）の評価ポイントの標準化 6.カットセットから得られる豊富な情報の有効活用 　・　Q[曝露時間後の故障率] 　・　Q/T[単位時間辺りの故障率] 　・　重要度、リスク増加（低減）価値 　・　従属故...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【解析事例】ISO26262に準じた機能安全設計へのツール活用

信頼性解析ツール Reliability Workbench の活用に…

存関係の強いサブシステムの信頼度やアベイラビリティの計算と分析 (マルコフ分析) ・IEC61508、ISO26262など機能安全設計対応 Reliability Workbenchは、無償評価版によるご評価が可能です。その有用性を是非お試しください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

不具合データから故障率を算出 Weibullモジュール

ツールによるプロジェクト一括管理！他のモジュールとの連携も可能

ターゲット】 ■自社設備をお持ちで予防保全や予知保全への移行をご検討されている方 ■老朽化設備を効率的に運用管理する事を求められている方 ■産業用機械もしくは設備を開発、設計されており、信頼性評価による根拠が必要な方 ■フィールドサービスを実施されており、エンドユーザーへ向けて定量的な根拠に 　基づいて提案をされたい方 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

FaultTree+活用セミナーの動画を公開

機能安全対応でFaultTree+を用いる際に役立つ機能、及びFaul…

【セミナーの概要】 １．システムFTAと定量評価のためのFTAについて ２．安全機構（SM）の表現方法について ３．共通原因故障の表現方法について ４．カットセット分析とその情報の見方 ５．故障率DB(Prediction)連携、ライブラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【IoT】これから始める予兆保全初心者パック

予兆保全及び設備管理業務の効果測定、品質改善を検討するお客様へお勧めの…

弊社にて提供しております ・カレンダー型設備管理システム：FLiPS ・信頼性/安全性/可用性/保全性評価ツール：RWB/AWB ・機械学習ツール：SPM を組み合わせ予兆保全を実現させるためにはどのようなステップで検討を進めて行く必要があるかを簡単にではありますが説明した資料となります。 説...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

SN29500、IEC61709を用いた故障率計算支援パッケージ

ISO26262 PART11に基づく「ミッションプロファイルをSN2…

ISO26262 PART5が要求するハードウェアアーキテクチャ メトリックスを用いた定量評価の実施でSN29500がよく使われますが、 SN29500の制約としてミッションプロファイルに対応していません。 しかし、ISO26262 PART11にはミッションプロファイルを SN2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

設備稼働率シミュレーション AvSimモジュール

設備資産のパフォーマンス改善！メンテナンス戦略策定・予備品戦略策定と最…

ターゲット】 ■自社設備をお持ちで予防保全や予知保全への移行をご検討されている方 ■老朽化設備を効率的に運用管理する事を求められている方 ■産業用機械もしくは設備を開発、設計されており、信頼性評価による 　根拠が必要な方 ■フィールドサービスを実施されており、エンドユーザーへ向けて 　定量的な根拠に基づいて提案をされたい方 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

『データマイニングによる異常検知と故障予知ソリューション』

設備や装置の異常検知や故障予知、品質向上に！手順をわかりやすくご紹介！

【受注実績（一部）】 ■電力会社向け保全プログラムの導入 ■地方自治体向けリスク評価を含む保全カレンダシステムの構築と導入 ■電力会社向け回転機に対する検査結果及び故障履歴に基づく故障率推定と保全計画への反映 ■建設会社向けMT法に基づく機器特性の分類及び寿命推定と保全計画への...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【資料】“Pipeline Pilot”の解析事例のご紹介

「金属の輸送特性計算」をはじめ、「ガラス転移温度を求めるシュミレーショ…

【掲載内容（抜粋）】 ■画像のセグメンテーション ■画像加工による機械部品表面の欠損検出 ■ツリーモデルでのデータ分類とモデル評価 ■パレート最適化を用いての薬品成分の改善 ■次元削減を用いての分子のクラスタリング ■相関行列やヒートマップの計算 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

信頼性評価ソフトウェア ReliabilityWorkbench

機能安全、ISO26262に完全対応！故障率計算から帳票作成まで半自動…

Reliability Workbenchは、機能安全に対応した信頼性、安全性の評価や設備のメンテナンス内容を評価、分析する事に使用される、信頼性工学に基づいたツールです。 機能安全規格IEC61508やISO26262等で求められる機器の信頼性及び安全性を評価するためのツー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

データマイニング・IoT技術利用の設備管理及び品質との関連性評価

予兆保全及び設備管理業務の効果測定、品質改善を検討するお客様へお勧めの…

弊社にて提供しております ・カレンダー型設備管理システム：FLiPS ・信頼性/安全性/可用性/保全性評価ツール：RWB/AWB ・機械学習ツール：SPM を組み合わせ予兆保全を実現させるためにはどのようなステップで検討を進めて行く必要があるかを簡単にではありますが説明した資料となります。 説...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

大規模データを活用した稼動率分析システム

故障情報から施設、設備、機器、装置固有の故障特性を分析し、データベース…

【掲載内容】 ■目的の明確化 ■評価実施方法のご提案概要 ■故障情報を活用した分析及びデータベース化 　・ワイブル分析 　・ベイズ統計 　・MCMC法 　・分析結果の数値モデル化/データベース化 ■運用中の設備における信頼...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

IoTデータを活用した稼動率分析システム

故障情報から施設、設備、機器、装置固有の故障特性を分析し、データベース…

【掲載内容】 ■目的の明確化 ■評価実施方法のご提案概要 ■故障情報を活用した分析及びデータベース化 　・ワイブル分析 　・ベイズ統計 　・MCMC法 　・分析結果の数値モデル化/データベース化 ■運用中の設備における信頼...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

大規模データを活用した設備パフォーマンス最大化のためのツール

故障情報から施設、設備、機器、装置固有の故障特性を分析し、データベース…

【掲載内容】 ■目的の明確化 ■評価実施方法のご提案概要 ■故障情報を活用した分析及びデータベース化 　・ワイブル分析 　・ベイズ統計 　・MCMC法 　・分析結果の数値モデル化/データベース化 ■運用中の設備における信頼...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

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【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

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【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

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【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

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【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

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【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

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【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

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【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

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【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス...

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