【分析事例】走査イオン顕微鏡によるCu表面の結晶粒観察

金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です

走査イオン顕微鏡（Scanning Ion Microscope：SIM）は固体試料にイオンビームを照射し、発生する二次電子を検出する手法です。二次電子は各結晶粒の結晶方位に応じたコントラストを生じるため、SIM...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

エレクトロニクス･半導体業界向け硬さ･弾性率･粘弾性評価

セミコンダクタ・スマートフォンなどの研究開発のためのナノインデンテーシ…

と荷重センサー: 超高分解能静電容量センサーにより、「真の押し込み深さ」と「荷重制御」モードが可能。 -超高分解能と超低ノイズフロア。 -高品質光学ビデオマイクロスコープやオプションの原子間力顕微鏡(AFM)により位置を完全に同期。 -オプションの加熱ステージにより200℃までの高温測定が可能。 ヘッドと、光学顕微鏡及びAFM対物レンズの組み合わせにより、高いフレキシビリティーと使い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン

【無料サンプルお送りします】導電性樹脂『マリポーサＦ』低価格！

電子顕微鏡での観察用の導電性のカーボン入りフェノール樹脂です。低価格を…

マリポーサＦは熱硬化性の導電性埋め込み樹脂です。 大量生産されているフェノール樹脂を原材料にすることで、高価格の導電性樹脂の低価格化に成功しました。 ブラックカーボンを含有し電子顕微鏡観察に必要な導電性を有しています。 【特長】 ◆導電性があり電子顕微鏡での観察が可能 ◆低価格でランニングコストを大幅削減 ◆１kg からの購入が可能 ★Amazonでも...

メーカー・取り扱い企業： ハルツォク・ジャパン株式会社

グラフェンTEMグリッド

親水化処理を施すことにより非常に薄く均一な厚さの氷の層を形成できます！

当製品は、清浄度の高いCVD合成の2層グラフェン自立膜による画期的な TEMグリッドです。 超微粒子、ウィルスなどの透過電子顕微鏡観察用試料支持膜として好適。 親水化処理を施すことにより非常に薄く均一な厚さの氷の層を形成できます。 また、親水化処理済みのグラフェンTEMグリッドの提供も可能です。 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エアメンブレン

【分析事例】貼り合わせウエハ内部の空隙調査

超音波顕微鏡による内部空隙の観察事例

パワーデバイスやMEMSデバイスなどに用いられる、貼り合わせシリコンウエハを作成する際、貼り合わせ工程において界面に局所的に空隙が発生する事があります。 300mm貼り合わせウエハ内部を超音波顕微鏡を用いて観察しました。その結果、複数箇所にて1mm～20mm程度の複数の空隙があることを確認しました。本手法によって、貼り合わせウエハ内部の密着性評価が可能となります。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SNDMおよびSMMによる拡散層評価

SiCデバイスの拡散層のp/n極性とキャリア濃度分布を評価できます

の応用展開も進められています。一方、SiCデバイスのドーパント活性化率には課題があり、出来栄え評価が重要となります。今回、SiC Trench MOSFETに関して、SNDM（走査 型非線形誘電率顕微鏡）にてキャリア極性判定をSMM（走査型マイクロ波顕微鏡法）にてキャリア濃度分布を評価した事例をご紹介します。　...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

藤田デバイス株式会社　事業紹介

ダイシング・スクライブ・外観検査のことなら当社にお任せ下さい！

としてバックグラインド （BG）・ダイシング及び外観検査や、プリント基板の設計・製作、省力化 装置開発・製作などを行っている会社です。 ダイシング M/Cや、スクライバー、外観検査用金属顕微鏡などの設備を 所有しており、光デバイスの組立や選別、治具詰め、半導体用テス ティングボードの設計製作など、多岐に渡り業務を展開しております。 優秀なスタッフによる卓越した技術と高い品質、...

メーカー・取り扱い企業： 藤田デバイス株式会社

【分析事例】AFMデータ集

AFM :原子間力顕微鏡法

AFMは微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 金属・半導体・酸化物などの材料評価だけでなく、毛髪やコンタクトレンズなどのソフトマテリアルまで幅広い材料を測定可能です。 本資料では、様々な材質のAFM像をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

フジデノロ株式会社　クリーンプロダクトのご紹介

微細化プロセスによるパーティクルレス化！

　・1,000～10,000クラス クリーンルーム ■クリーン洗浄 　・超純水発生装置 　・超音波洗浄 　・薬液洗浄　他 ■検査 　・非接触精密 　・3次元測定器 　・レーザー顕微鏡　他 ■梱包出荷 　・真空パック梱包 　・クリーン梱包材 　・クリーン容器 ■アフター 　・アフターフォロー 　・アフターメンテナンス 　・現地セットアップ ※詳しくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： フジデノロ株式会社

【分析事例】SiC Planer Power MOSの分析

SiCデバイスの拡散層構造を可視化できます（拡散層構造の高感度評価）

SNDM (走査型非線形誘電率顕微鏡)では半導体のp/n極性を識別し、拡散層の形状を可視化すること ができます。本手法は、従来から用いられているSCM（走査型静電容量顕微鏡）の機能を包括しており、 SCMでは評価が難しいSiCを代表...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SEMとSIMによるCu表面の二次電子像の比較

着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です

走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：SEM）及び走査イオン顕微鏡（Scanning Ion Microscope：SIM）は、どちらも二次電子像を得ることで試料表面近傍の構...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiC Trench MOSFETのトレンチ側壁評価

デバイス特性に関わるトレンチ側壁の粗さを定量評価

SFET構造のチャネル領域はトレンチ側壁であるためトレンチ側壁の平坦性がデバイスの信頼性に関わってきます。本資料ではSiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さについて、AFM（原子間力顕微鏡）を用いて定量的に評価した例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST