グルーチップガラス(結霜硝子)
アンティーク調のガラス製品の装飾や、ステンドグラスなどに使用されています!
『グルーチップガラス(結霜硝子)』は、表面に羽毛のような形状の模様を あしらったガラスです。 アンティーク調のガラス製品の装飾や、ステンドグラスなどに使用。 その模様の霜のような形状から結霜…
『三次元フォトリソ』加工技術紹介
「電解メッキ」を利用した加工技術!
『三次元フォトリソ』は、導電性のある面であればレジスト膜を均一に 形成することができる加工技術です。 液相中に基板全体を浸して金属膜を析出させる「電解メッキ」を利用し 開発しました。 …
『高アスペクト比レジスト』加工技術紹介
アスペクト比1:5の加工実績!幅広い分野で使用できます!
当社では、パターン線幅と膜の厚さ(=高さ)の縦横比が高い 『高アスペクト比レジスト』による加工が可能です。 アスペクト比1:5の加工実績がございます。 当技術により、レジストパターンは単なる…
『電解メッキ』加工技術紹介
6インチウエハー対応のメッキシステム導入!数μmの膜を形成可能な加工技術
『電解メッキ』は、イオン化した金属を含む水溶液に基板を入れ、 液中に電気を流して基板の表面に金属を析出させる加工技術です。 蒸着による成膜は通常1μm以下ですが、メッキでは数μmの膜を形成 …
『サンドブラスト』加工技術紹介
空気圧で砂をたたきつけ基板表面を削り溝や穴を作成!
『サンドブラスト』は、ガラス、シリコン、石英など比較的硬い 基板上に、空気圧で砂をたたきつけることにより、基板表面を削って 溝や穴などを作成する加工技術です。 基板表面にサンドブラスト用ドラ…
『シリコンエッチング』加工技術紹介
結晶方向の種類を選ぶことで溝加工の種類を選択可能!
『シリコンエッチング』は、シリコン基板そのものを腐食させ、立体 構造を形成する加工技術です。 シリコンの腐食には、一定方向に進むもの(異方性)と、全方向に進む もの(等方性)とがあります。 …
『ガラスエッチング』加工技術紹介
ガラスの表面をフッ化水素などの薬品で腐食!
『ガラスエッチング』は、ガラスの表面をフッ化水素などの薬品で 腐食させ、溝や段彫り加工などを施す加工技術です。 基板材として、石英や、BK7などのホウ珪酸ガラスを使用。 また、フォトリソなと…
『薄膜コーティング』加工技術紹介
ほとんどの金属・金属酸化物・誘電体膜をコーティングできる薄膜コーティング!
当社では、PVDに属する、抵抗加熱真空蒸着、EB加熱真空蒸着、 スパッタリング法での成膜加工ができます。 これらの加工技術を使い分けることで、ほとんどの金属、金属酸化物、 誘電体膜をコーティ…
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