大村技研株式会社

連続式熱処理炉

均一な温度での電子部品の連続熱処理に！多品種・小ロットにも対応した熱処理炉

大村技研の『連続式熱処理炉』は、均一な温度による電子部品の 連続熱処理に用いることが出来る装置です。 あらゆる電子部品の熱処理に対応可能で、多品種・小ロットの電子部品の 熱処理に適しています…

真空乾燥テストサービス

テスト結果を受けて装置を製作！真空乾燥炉での真空乾燥テストサービス

大村技研では、真空乾燥炉での乾燥テストや試作品製造サービス、 真空乾燥代行サービスを受託するサービスを提供しています。 そして、ヒーターの露出を可能な限り避けた構造設計にするなど、 テスト結…

真空乾燥システム

充電池などの水分・溶剤乾燥に！高精度の温度コントロールで歩留まり向上

大村技研の『真空乾燥システム』は、充電池やリチウムイオン電池、 リチウムイオンキャパシタ極板等の水分及び溶剤乾燥に利用する装置です。 多数本による乾燥で省スペース化、乾燥時間短縮を実現。 ま…

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処理炉

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置…

各種成膜・アニール装置

ニーズに合わせたラインアップ！成膜装置や、ランプ加熱によるアニール装置

大村技研では、お客様のニーズに合わせて、成膜装置や ランプ加熱によるアニール装置を設計・製作します。 縦型LP-CVD装置、縦型アニール装置、PE-CVD装置、 MO-CVD装置をラインアッ…

薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

大村技研の『フォトリソグラフィープロセス装置』は、薄膜電子部品工程 における一連のプロセスを高精度高信頼性で提供するシステムです。 洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および …

電子部品スクリーニング用/信頼性評価用『バーンインシステム』

電子部品の初期故障品を見極め！高発熱対応型や省スペース型など多様な品揃え

大村技研の『バーンインシステム』は、半導体デバイスや電子部品に温度や 電気的ストレスを加え、初期故障品の選定に役立つシステムです。 量産品のスクリーニング用から信頼性評価用まで、デバイス品種/…

大村技研株式会社　会社案内＆ウエーハファウンドリー

大村技研の技術は半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連等で採用されています。半導体のフィールドでは受託加工を行っています。

大村技研株式会社はガス関連事業と半導体関連事業が密接に結びついている企業です。各種生産工場（半導体・液晶・食料品・機械）、研究所等が当社の得意なフィールドです。大村技研の技術は、半導体業界、液晶、燃料…

ボンディング方式により製造　「SOIウエーハ」

少数枚対応可能で、試作開発に最適！ご希望に応じ、一貫したものづくりが出来ます！

ボンディング方式により製造したSOIウエーハをご提供します。 仕様に応じた新規製作、エッジ形状をコントロールしたe-SOIウエーハの提供も可能です。 小ロット対応、パターニングにも対応いたします。…

少数枚、特殊仕様に対応可　シリコンウエーハ販売

アズスライス、アズラップ、エッチドウエーハや低抵抗、高抵抗ウエーハも対応可能！まずはお気軽にお問い合わせください。

ファウンドリーサービスの一環として、ウエーハの販売も行っております。 特殊仕様に応じたウエーハの対応も可能です。 【例】 ・アズスライス、アズラップ、エッチドウエーハ ・低抵抗、高抵抗ウエーハ…

１枚からの成膜が可能　成膜加工（CVD）

低温ＣＶＤは、１００℃以下での成膜や、異形サイズの基板へも、樹脂、フィルムなどの材質へも成膜可能。

PE=CVDのSiO2、SiNを中心に成膜の受託加工を行っております。 厚膜の熱酸化膜への対応、小数枚の熱酸化膜へのご要求にも 在庫品で対応できる場合がありますので、お気軽にお問い合わせください…

ガラス基板などへの対応可　成膜加工（PVD）

１枚からの成膜や異形サイズの基板への成膜も対応可能

PE-CVD成膜の受託加工を中心にスパッタ、イオンプレーティング、蒸着、 EB蒸着による成膜も行っております。 大口径基板への成膜も可能なターゲットもございますので、 お気軽にお問い合わせくださ…

マスクの製作からパターニングまでの一貫製作　「パターニング」

小数枚の加工への対応可。シリコンウエーハ以外の基板投入可能。

6インチのMEMS加工を中心に展開をしておりますが、 8インチ、12インチへの部分的なパターニングの対応も可能です。 基板サイズ、パターン仕様に応じて装置を選定します。 １枚からの対応も可能です…

カスタム対応可　Φ200mm ナノパターンウエーハ

試作開発に最適！半導体業界、液晶、燃料電池など多くの業界で採用されている大村技研の技術をお試しください！

KrFステッパーによる微細パターンウエーハを提供いたします。 パターンレイアウトはカスタム対応が可能です。 つなぎパターン、ダブルパターニングも可能です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、…

サイズダウン加工、めっきなど　その他加工サービス

装置開発・評価、各種材料開発・評価、装置のパーツ、お客様の試作・研究開発などで多数のお客様にご利用いただいております。

創業以来、半世紀という時間の中で築いてきた信頼のネットワークで ウエーハサイズダウン加工、洗浄、めっきなどの加工に対応しております。 「こんな加工が．．．。」と思った時は、お気軽にご相談ください…