ドライアウト全自動ポリッシュ装置『6EZ』
Revasum社の枚葉処理装置!SiC基板とデバイスの歩留まり向上を提供します
『6EZ』はSiC基板とデバイスの歩留まり向上を提供できる ドライアウト全自動ポリッシュ装置です。 Revasum社の7AF-HMGグラインダー装置と6ZEポリッシュ装置を同時に 使用するこ…
マニュアル型透明基盤検査装置
ニーズにお応えする基板異物検査装置
「マニュアル型透明基盤検査装置」はYGK(山梨技術工房)製の、ワーク設置 マニュアル形式ガラス基板表面検査装置/サファイア表面検査装置です。 小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測…
薬液・超純水用ポンプ『ベローズポンプ』
高温薬液での高流量出力も可能な薬液・超純水用ポンプ
『ベローズポンプ』は、White Knight社製のテフロン製薬液供給ポンプです。 「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの 特長を活かして、US市場において5…
精密流量コントロールバルブ
酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラー
「精密流量コントロールバルブ」は、高精度、高速で流量制御を行う酸・有機系 薬液などの定量吐出管理用のFuturestar社製液体フローコントローラーです。 流路部品は全てテフロン樹脂製ですので…
フローコントローラー
全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です
Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が オールテフロン製です。 制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で 使用されています。 …
自動搬送型透明基盤検査装置
高精度な表裏分離を可能にした基盤検査装置
『自動搬送型透明基盤検査装置』は、YGK(山梨技術工房)のガラス基板 表面検査装置/サファイア表面検査装置です。 透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応しています。 センサ…
イオン注入装置 ディスク再生サービス
高品質なディスク再生を低価格にてご提供するサービス
『イオン注入装置 ディスク再生サービス』は、バリアン、SEN、AMATすべての バッチ式インプラディスクのフル再生、ヒートシンク再生ディスク修理、 Finger、Restraint等の部品販売も承…
ファーストゲート株式会社 総合カタログ
輸入商社として半導体製造装置における技術革新を迅速に提供する
『ファーストゲート株式会社 総合カタログ』は、半導体製造装置、検査装置の 輸出入販売、技術サポートなどを行っている、ファーストゲート株式会社の 総合カタログです。 当カタログでは、半導体製造部品「テ…
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