「VACUUM 真空展 2022」出展のご案内！

超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。

圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 　上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 　上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ 　ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成…

熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。

更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 　流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 　低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 　安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 　高速応答ピエゾアクチュエータを採用 …

ガス流体を高精度コントロール！ガス種を選ばず、装置ユニットの自由度が高まる！

『超小型 FCS-P』は、小型かつ軽量で、流量精度が既存モデルより向上した フローコントロールシステムです。 取り付け姿勢の影響を受けず、流量自己診断機能を搭載。 フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCSで様々な ガス種に対応します。 【特長】 ■小型かつ軽量 ■流量精度が既存モデルより向上 ■供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない ■…

<ニューV-Series> 新しいコンセプトから生まれた、3ピースボールバルブです。

<特長> 1.3ピース構造で大流量に対応 2.1/4回転のハンドル操作で開閉可能 3.接続形式V-Lokタイプ、Rc、NPTめねじ 4.手動バルブ、自動バルブ(単作動式、複作動式)があります

<ニューV-Series> 新しいコンセプトから生まれた、トラニオン型ボールバルブです。

<特長> 1.コンパクトで大流量に対応する設計。 2.低トルクで操作可能。 3.フローパターン:2方タイプ、3方タイプ。 4.パネル取付可能。

<ニューV-Series> 新しいコンセプトから生まれた、プラグバルブです。

<特長> 1.シンプルでコンパクトな設計。 2.低トルクで操作可能。 3.1/4回転で全開、全閉操作

<ニューV-Series>新しいコンセプトから生まれた、リリーフバルブです。

<特長> 1.最高使用圧力 41.3MPa 2.8種類のバネにより、ご希望の圧力に設定可能。(呼び径 6.35) 3.3種類のバネにより、ご希望の圧力に設定可能。(呼び径 12.7)

<ニューV-Series>優れた性能、品質を有するチューブスコネクターです。

<特長> ニューV-Lokチューブスコネクターは、チューブを差込み、 ナットを締付けるだけで接続ができるため、 特殊工具及び火気を必要としません。 また、ダブルリング独特の相互連動作用によって、 リングが有効に塑性変形して、チューブを強固に圧縮するため、 非常に高い耐圧性が得られます。