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プラズマエッチャーチラー ThermoRack1201/1801
半導体製造工程のプラズマエッチングに好適!消費電力最大93%削減!騒音…
『ThermoRack1201/1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエ…
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応! 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデ...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大93%削減!騒音…
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエ…
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応! 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデ...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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フロンガス不使用のペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに…
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応! 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデ...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1801』
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大93%削減!騒音…
『ThermoRack1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1201』
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大93%削減!騒音…
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大93%削減!騒音…
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー 『NIKOLA3K/5K』
フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエ…
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応! 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデ...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエ…
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応! 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデ...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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