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PRサイクル時間を短縮!歩留率を向上させることでプロセスの効率性を高めます
当社では、リアルタイムプロセス管理とラボスケールタンジェンシャル フローろ過(TFF)を統合した『KrosFlo KR2i RPM システム』を 取り扱っております。 当システムは、KrosFlo KR2i システムとCTech FlowVPX 可変光路長紫外可視分光光度計を組み合わせ、インライン濃度 モニタリングとエンドポイント制御を備えた自動TFFを提供。 KR2iとFlo...
メーカー・取り扱い企業: レプリジェンジャパン合同会社
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『多変量統計解析トレーニングセミナー』11月28日・29日開催
PR多変量解析の基礎・原理が良くわかる。実データを用いた解析も行う実践的な…
2024年11月28日・29日に、当社主催のセミナー 『多変量統計解析トレーニングコース<レベル1> 理論と実践』 を開催いたします。 本コースでは、複雑なデータの関係性を速やかに解釈し、 産業界、研究界で希求される最新の多変量解析技術を どのように業務応用できるかを集中的に学べます。 多変量統計解析、スペクトル解析、知覚・官能データの解析、PAT/QbDなどを テーマに解説する、数学的説明は...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クオリテイデザイン
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ヘキサフルオロエタン C2F6 76-16-4
ッチングの要求を満たすことができない。 ドライエッチング液であるヘキサフルオロエタンは、エッジの側方侵食が少なく、エッチングレートが高く、高精度であるという利点を有しており、このような線幅の小さいプロセスの要求に応えることができる。特に、元のオクタフルオロシクロブタンは、孔径140nm以下の部品に接触させてもエッチングできなかったのに対し、ヘキサフルオロエタンは110nmの部品にも深い溝を作ること...
メーカー・取り扱い企業: CHEMFISH TOKYO株式会社 TOKYO
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三フッ化塩素 CIF3 7990-91-2
三フッ化塩素(CIF3)は、GWP値ゼロのグリーンで効率的な環境に優しいガスであり、チッププロセスにおける理想的なLPCVDクリーニングガスです。...
メーカー・取り扱い企業: CHEMFISH TOKYO株式会社 TOKYO
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ペルフルオロブタ-1,3-ジエン 685-63-2 C4F6
ペルフルオロブタ-1,3-ジエン 685-63-2 C4F6
スとしても高い選択性と精度で使用されている。そのほか、さらに、ヘキサフルオロブタジエンは、従来のパーフルオロカーボン(PFCs)エッチングガスに比べ、大気汚染や環境汚染が比較的少ない高アスペクト比プロセスで使用することができます。半導体産業が急速に発展し、環境に対する要求が高まっている今日、広く使用されているPFCsを比較的環境に優しい材料に置き換える傾向にある。...
メーカー・取り扱い企業: CHEMFISH TOKYO株式会社 TOKYO
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フルオロメタン CH3F 593-53-3
Si3N4の異方性エッチングガスとして、SiO2やSiに対する選択比が高く、3次元NAND、DRAM、Fin-FET半導体デバイス製造の前工程微細構造エッチングプロセスで注目されている...
メーカー・取り扱い企業: CHEMFISH TOKYO株式会社 TOKYO
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