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半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…
半導体プロセス中のウエハ温度のモニタリングは非常に重要なプロセス・パラメータですが、今まで適切な測定方法が確立できていないために、温度以外のパラメータでプロセス状況を推測してきました。 ウエハ放射率にはロット内でばらつきがあるにも関わらず、一般の放射温度計では測定対象物の放射率をユーザーが適当に決めなければならないため、温度誤差が発生し、温度測定自体の信頼性が乏しいことがその理由でした。 弊...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイ・アール・システム
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テンププレートは'世界品質No.1' 米国Palmer WAHL社の…
温度測定に使われ広く世の中に知れ渡りました。 以来、航空機、鉄道、電機、鉄鋼、などさまざまな分野で50年以上にわたり使われています。 また、インテル社によって真空内用として使われることにより、半導体業界では世界標準となりました。 今では半導体だけでなく、真空環境における新しい分野でも半導体で培った信頼から選ばれています。...
メーカー・取り扱い企業: アイピー技研株式会社
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最大6ヶ月間の連続記録が可能。 安定性に優れ、様々な用途にご使用いた…
温湿度センサを搭載した温湿度記録計のベストセラー機。 信頼性の高いチャート紙記録で、「医薬品」「化学製品」「樹脂」「半導体」「電気機器」などの製品の製造現場や研究室、また、「美術・博物館」などの湿度を嫌う製品の保管記録にも多くご利用をいただいております。 【特長】 ■長期連続記録 アルカリ乾電池で最大6ヶ月...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社セコニック
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温湿度データロガー MG14T-314M
3ch、高精度の豊富な測定機能を満載した温湿度データロガー ■□■特徴■□■ ■温湿度を同時表示、高精度 ・温度:±0.7℃ ・湿度:±2.5%RH ■センサ 温度:半導体センサ K熱電対センサ接続可能 湿度静電容量型 ■測定範囲 3チャンネル T1温度:-20〜60℃ T2温度:熱電対-200〜1370℃(取り付けるセンサによる)、湿度:0〜1...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シロ産業
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『業界初の手法』!独自技(特許出願中)を用いて正しい解を導き出します。
・カスタムの熱抵抗検査装置 ・半導体製品の熱抵抗解析受託(実測及びシミュレーション) 弊社独自技術により、曖昧な部分を多く含んだ半導体実製品PKGの熱抵抗解析を、これまでにない精度で検証することができます。 『業界初の手法』とし...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社Wave Technology
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放射温度計TMHX-CNE【ローコストタイプ】※デモ機無料貸出中
InSb(インジウムアンチモン)素子を採用。従来のサーモパイルと比較し…
汎用モデルでローコストタイプにも関わらず金属測定に強く、コストパフォーマンスに優れたタイプとなっております。 ※1台からでも特注・カスタマイズ可能! 自動車メーカー様、機械装置メーカー様、半導体装置メーカー様など大手企業様へ多種多用な導入実績がございます。 ●ISO9001認証取得済み ●全ての製品が日本国内での一貫製作 ●試験成績書や校正証明書、トレーサビリティ体系図が発行可...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンセンサー株式会社
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汎用・用途別 放射温度計TMHX-C シリーズ※デモ機無料貸出中
創業40年以上の歴史をもつジャパンセンサーが送る放射温度計の決定版!放…
どの高機能版やガラス測定用やフィルム測定用などの用途別、ランプ加熱やバーナーなどの加熱別などそれぞれの現場や用途に合わせてお使いいただける放射温度計の新世代シリーズです。 自動車メーカー様や半導体メーカー様などに多数ご採用いただいております。 ●ISO9001認証取得済み ●全ての製品が日本国内での一貫製作 ●試験成績書や校正証明書、トレーサビリティ体系図が発行可能 ■In...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンセンサー株式会社
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紙記録+SDカード記録が可能な持ち運びに便利な電池駆動タイプ。デジタル…
【主な製品仕様】 ■測定範囲 温度:-20~80℃ 湿度:0~100%RH ■センサ 温度:半導体式 湿度:高分子静電容量式 ■電源 電池:アルカリ単一電池4本 AC:ACアダプタ ■外形 本体寸法:300mm(W)×245mm(H)×105mm(D)(突起部除く) 本体...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社セコニック
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45℃~120℃の範囲で連続昇温、冷却測定が可能
SETARAM社独自カルベ式に半導体センサーを組み合わせ、操作性に優れた高感度DSC測定を実現させました。Micro-DSCが広い応用測定に使える最大の理由は、超高感度DSCでありながらサンプル容器が検出部と分離して取り出せることに...
メーカー・取り扱い企業: DKSHマーケットエクスパンションサービスジャパン株式会社 テクノロジー事業部門
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1台で温度・気圧・湿度・露点が測定できます
●温度・気圧…半導体センサ ●湿度…静電容量センサ方式 ●測定範囲 温度 0℃~50℃ 気圧10~1100hPa 湿度 10~95%RH ●分解能温度…0.1℃ 気圧 0.1hPa/1hPa切換 湿度 0.1%...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シロ産業
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サーマル式風速センサー/品番 M261A10-285GE-30m
クリーンルーム等の微風速・ラミナーフローからコンプレッサーの圧縮空気ま…
度に対して約1秒です。 サーマル式風速センサーは低風速域だけでなく高風速域・高温環境でも計測が可能です。 ■計測使用例 コンプレッサーのエアー計測、天然ガスの消費量計測 ・医薬品製造・半導体産業の生産工程での流速・ラミナーフロー計測 ・各種コンプレサーエアー、エアーナイフ等の流速計測 ■計測ガス 正常な空気、ガス、混合ガス: 大気、窒素、メタン、天然ガス、アルゴン、ヘリ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シロ産業
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’世界品質No.1・半導体業界シェアNo.1の真空用サーモシール’
温度測定に使われ広く世の中に知れ渡りました。 以来、航空機、鉄道、電機、鉄鋼、などさまざまな分野で50年以上にわたり使われています。 また、インテル社によって真空内用として使われることにより、半導体業界では世界標準となりました。 今では半導体だけでなく、真空環境における新しい分野でも半導体で培った信頼から選ばれています。...
メーカー・取り扱い企業: アイピー技研株式会社
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’世界品質No.1・半導体業界シェアNo.1の真空用サーモシール’
温度測定に使われ広く世の中に知れ渡りました。 以来、航空機、鉄道、電機、鉄鋼、などさまざまな分野で50年以上にわたり使われています。 また、インテル社によって真空内用として使われることにより、半導体業界では世界標準となりました。 今では半導体だけでなく、真空環境における新しい分野でも半導体で培った信頼から選ばれています。...
メーカー・取り扱い企業: アイピー技研株式会社
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’世界品質No.1・半導体業界シェアNo.1の真空用サーモシール’
温度測定に使われ広く世の中に知れ渡りました。 以来、航空機、鉄道、電機、鉄鋼、などさまざまな分野で50年以上にわたり使われています。 また、インテル社によって真空内用として使われることにより、半導体業界では世界標準となりました。 今では半導体だけでなく、真空環境における新しい分野でも半導体で培った信頼から選ばれています。...
メーカー・取り扱い企業: アイピー技研株式会社
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’世界品質No.1・半導体業界シェアNo.1の真空用サーモシール’
温度測定に使われ広く世の中に知れ渡りました。 以来、航空機、鉄道、電機、鉄鋼、などさまざまな分野で50年以上にわたり使われています。 また、インテル社によって真空内用として使われることにより、半導体業界では世界標準となりました。 今では半導体だけでなく、真空環境における新しい分野でも半導体で培った信頼から選ばれています。...
メーカー・取り扱い企業: アイピー技研株式会社
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’世界品質No.1・半導体業界シェアNo.1の真空用サーモシール’
温度測定に使われ広く世の中に知れ渡りました。 以来、航空機、鉄道、電機、鉄鋼、などさまざまな分野で50年以上にわたり使われています。 また、インテル社によって真空内用として使われることにより、半導体業界では世界標準となりました。 今では半導体だけでなく、真空環境における新しい分野でも半導体で培った信頼から選ばれています。...
メーカー・取り扱い企業: アイピー技研株式会社
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テンププレートは'世界品質No.1' 米国Palmer WAHL社の…
温度測定に使われ広く世の中に知れ渡りました。 以来、航空機、鉄道、電機、鉄鋼、などさまざまな分野で50年以上にわたり使われています。 また、インテル社によって真空内用として使われることにより、半導体業界では世界標準となりました。 今では半導体だけでなく、真空環境における新しい分野でも半導体で培った信頼から選ばれています。 ...
メーカー・取り扱い企業: アイピー技研株式会社
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テンププレートは'世界品質No.1' 米国Palmer WAHL社の…
温度測定に使われ広く世の中に知れ渡りました。 以来、航空機、鉄道、電機、鉄鋼、などさまざまな分野で50年以上にわたり使われています。 また、インテル社によって真空内用として使われることにより、半導体業界では世界標準となりました。 今では半導体だけでなく、真空環境における新しい分野でも半導体で培った信頼から選ばれています。...
メーカー・取り扱い企業: アイピー技研株式会社
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テンププレートは'世界品質No.1' 米国Palmer WAHL社の…
温度測定に使われ広く世の中に知れ渡りました。 以来、航空機、鉄道、電機、鉄鋼、などさまざまな分野で50年以上にわたり使われています。 また、インテル社によって真空内用として使われることにより、半導体業界では世界標準となりました。 今では半導体だけでなく、真空環境における新しい分野でも半導体で培った信頼から選ばれています。...
メーカー・取り扱い企業: アイピー技研株式会社
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テンプ・プレートは'世界品質No.1' 米国‘Palmer WAHL…
温度測定に使われ広く世の中に知れ渡りました。 以来、航空機、鉄道、電機、鉄鋼、などさまざまな分野で50年以上にわたり使われています。 また、インテル社によって真空内用として使われることにより、半導体業界では世界標準となりました。 今では半導体だけでなく、真空環境における新しい分野でも半導体で培った信頼から選ばれています。 ...
メーカー・取り扱い企業: アイピー技研株式会社
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