【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界...

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【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...

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【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...

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【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)...

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【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

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【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 　高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(...

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【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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CADでカンタン流体解析『Simerics MP for SW』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える！開発期間の短縮やコス…

『Simerics MP for SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。 SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。 計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。 最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など 従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで 開発期...

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【事例紹介】Li-S電池用のグラフェン材料調査

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

カソードには窒素と金属がドープされたグラフェンを使用することで、多硫化リチウム中間体に対する金属部分への吸着エネルギーを解析しています ◎計算モデル 『Materials Studio』量子力学計算でのDMol3モジュールを使用 ・構造のエネルギー計算を行うことで吸着エネルギーを求めました ・複数のポリスルフィドやグラフェン上の金属原子のパターンに対して同様の計算を行い比較することで、...

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深層学習によるプラズマ解析『Particle-PLUS/DL』

機械学習データをCAE解析モデルから生成！プラズマ解析での計算結果を手…

『Particle-PLUS/DL』は、従来のプラズマシミュレーションでの課題を 解決するCAE代理(サロゲート)モデルソフトウェアです。 「第四の科学」として注目を浴びている深層学習×CAEを融合。 高速計算でパラメトリックスタディを実現し、プラズマ解析の 初期の検討で活用が期待できます。 また、機械学習の学習データをCAE解析モデルから生成する為、 大量の実験データがなく...

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CAE代理モデルソフトウェア『Particle-PLUS/DL』

機械学習データをCAE解析モデルから生成！プラズマ解析での計算結果を手…

『Particle-PLUS/DL』は、従来のプラズマシミュレーションでの課題を 解決するCAE代理(サロゲート)モデルソフトウェアです。 「第四の科学」として注目を浴びている深層学習×CAEを融合。 高速計算でパラメトリックスタディを実現し、プラズマ解析の 初期の検討で活用が期待できます。 また、機械学習の学習データをCAE解析モデルから生成する為、 大量の実験データがなく...

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【事例】MaterialsStudio　遷移状態探索

【事例】LST/QSTを使用した遷移状態探索をご案内します

◇LST/QSTを使用した遷移状態探索　事例紹介 ・化学反応のポテンシャルエネルギー面を探索するには、反応プロセスの各ステップに対する構造的エネルギー的運動的などの情報が必要です。 ・それらの情報の中で、特に遷移状態を見つけることは重要となっております。 ・本事例ではMaterials Studioにて、遷移状態探索の手法としてよく知られているLSTとQSTを使用することで解析をしており...

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【事例】MaterialsStudio電解液の還元とSEI膜形成

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

◇電解液の還元とSEI膜の形成事例紹介 ・SEI膜とは、電解液の分解物が電極表面で形成した膜を指します ・これは電極液の過剰分解を防ぐ、電極に取り込むイオンの調整などの役目を持ち、一方、SEI膜の増加は電気抵抗の増加などの、電池性能低下につながります ◆事例詳細 ・Li / Li2CO3 / EC モデルを作成 ・電極へのイオン過剰供給を防ぐ役目があるSEI膜の部分のエネルギー障壁...

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【事例紹介】グラファイトアノード上Liイオン拡散エネルギー

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

ホーリーグラファイト内におけるイオンの拡散エネルギーをプロファイルすることで、 ホーリー構造の効果に対しての議論をMaterials Studioを用いて行っております ◇グラファイトアノードへの改善処理に伴う効果を確認できます 【製品特長】 ■「マテリアルズインフォマティクス(MI)」にも最適 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト ■より効率よく、より簡単に、新規...

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【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…

基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、 より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく...

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【事例】Materials Studio Y添加剤の特性

【事例】Materials Studio　半導体デバイス　 Y添加剤Z…

◇Materials Studio　半導体デバイス Y添加剤ZnO単一層の特性　事例紹介 ・半導体ベースの技術として、トランジスタやダイオードなどの半導体素子に加えて、光触媒への用途も注目されています。 ・半導体ベース光触媒にて 「Materials Studio」を活用した事例を紹介いたします。 【製品特長】 ■「マテリアルズインフォマティクス」にも最適 ■材料開発を効率化するシ...

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【事例】MaterialsStudioの高分子/金属表面相互作用

『Materials Studio』での「高分子/金属表面」の相互…

『Materials Studio』を活用した【事例紹介】 ◇高分子における界面の相互作用は、幅広い分野の製品において重要です 例えば、接着剤、コーティング、複合材料、フィルム、潤滑剤、塗料、印刷インクなどがあります 界面における性質はこれらの分野において、研究者の興味の対象となっています もジュールの1つである「Forcite Plus」を活用し界面の構造等を知る役に立ちます...

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【事例】MaterialsStudioのクマリンの光学特性計算

『Materials Studio』でのクマリンの光学特性計算シュ…

『Materials Studio』を活用した【事例紹介】 ◇クマリン分子は桜の葉に代表される植物由来の芳香成分の一種です。 加えて、クマリン分子は光学的に活性であることも知られています。 モジュールの1つ「DMOL3」を活用する事により このような場合に光学特性を知る役に立ちます。 本事例では、クマリン分子の光学特性を真空中と水溶媒中それぞれにおいてシュミレートしました。 ま...

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【事例】MaterialsStudio半導体バンドギャップ計算

『Materials Studio』は半導体材料開発にも役立ちます …

◇半導体GaAsのバンドギャップ計算事例紹介 ・半導体であるGaAsはトランジスタなどに使用され、電子移動度が高い特徴があります ・また、価電子帯と伝導帯の間のエネルギー準位をバンドギャップと呼ばれています ・バンドギャップを調べることで、電気伝導率や変換効率などの特性がわかります ・量子力学計算を用いると、材料として注目されている半導体の調査も可能です 【製品特長】 ■「マテリ...

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【事例】MaterialsStudioの電解液内の金属イオン凝集

『Materials Studio』での電解液内の金属イオンの凝集…

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事例紹介】 ◇電解液内の金属イオンの凝集事例紹介 ・LiPF6/PC系電解液の凝集を調査するため、RDFの計算を行った ・RDFから、溶媒和シェルの大きさを調べることが出来る ・また、このモデルを使用してのイオン拡散係数や電荷輸送特性も計算できます 【製品特長】 ■「マテリアルズインフォマティクス」にも最適...

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【事例】MaterialsStudioの樹脂と銅界面の引張試験

『Materials Studio』での樹脂と銅界面の引張試験 事…

『Materials Studio』を活用した【事例紹介】 ◇引張試験における分子の動きの観察が可能です 高架橋密度のエポキシ樹脂を引き上げるときに必要な力を求める事が可能です また、アモルファス状態の架橋構造を求める事も可能です 【製品特長】 ■「マテリアルズインフォマティクス」にも最適 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　業界分野を問わず、研究、開発、設計...

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【事例】MaterialsStudioの水溶媒中金ナノ粒子の凝集

『Materials Studio』での水溶媒中の金ナノ粒子の凝集…

『Materials Studio』を活用した【事例紹介】 ◇ナノサイズの金属粒子である金属ナノ粒子が、特異な性質のために注目を集めています その典型例が表面プラズモン共鳴です。ステンドグラス等の鮮やかな色調のもとになっています 一方、この特徴はナノサイズのみの特徴であるため、粒子の凝集を防ぐ必要があります Materials StudioのモジュールであるForcite Plus...

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【事例】Materials Studio 有機分子の物性予測

【事例】Materials Studio　機械学習を有機分子に適用 …

◇Materials Studio　マテリアル・インフォマティクス(MI)を有機分子の物性予測へ適用した事例 ・「Materials Studio」「Pipeline Pilot」ツールを活用して 有機分子の脂溶性と水溶性を推定する事例を紹介しましす。 【製品特長】 ■「マテリアルズインフォマティクス」にも最適 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　業界分野を問わず...

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CAD上でカンタンCFD『Simerics MP for SW』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える！開発期間の短縮やコス…

『Simerics MP for SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。 SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。 計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。 最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など 従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで 開発期...

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MIのためのデータサイエンティストのはじめの一歩

マテリアルズ・インフォマティクス（MI）でどのようなことができるのかを…

マテリアルズ・インフォマティクス（MI）を推進するにあたって、 材料開発者からデータサイエンティストを目指される方も多いかと思います。 当記事では、材料開発者のためのデータサイエンティストのはじめの一歩として、 「どのようなことができるのか」「どのようなスキルを身につければいいのか」 を解説いたします。 【掲載内容（抜粋）】 ■MIでどのようなことができるのか 　MIの概念/...

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【資料】SPH法による噴霧とエッチング解析

SPH法による噴霧とエッチング解析！図を用いてわかりやすくご紹介してい…

当資料は、SPH法による噴霧とエッチング解析について ご紹介しています。 最初に、エッチング液の首振り噴霧をシミュレーションします。 次に、エッチング液が銅板に噴霧された後、エッチング液と銅の イオン化反応により、銅板の削られる現象を解析します。 ぜひご一読ください。 【掲載内容】 ■噴霧とエッチング解析の概要 ■エッチング・モデル ■銅板の腐食の進展状況 ※詳...

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