専門ノウハウをプロが伝授！ステンレス鋼と表面処理の基礎知識

PR専門ノウハウをプロが伝授！ ステンレス鋼板やステンレス容器の表面処理…

「ステンレス鋼と表面処理（電解研磨・フッ素樹脂コーティング）の情報満載マル秘ノート」は、MONOVATEで使用しているステンレス鋼やステンレス容器の電解研磨、フッ素樹脂コーティングについてご紹介する資料です。 ステンレス鋼については、記号でSUS304、SUS316、SUS316Lを解説しています。 弊社ではこのステンレス鋼板で容器を作り、主に製薬メーカー様や化粧品、食品、化学薬品製造メー...

メーカー・取り扱い企業： MONOVATE(旧：日東金属工業)株式会社 八潮工場

オールインワンモジュール型　ラボ用遠心分離機 LAC TypeE

PR給液タンクやろ液タンクをセットで標準装備。試料の準備だけでOK！かがむ…

特殊設計の薄型バスケット・透明なケーシングにより濾過過程が目視できるため、開発初期の少量サンプルをさまざまな条件でテスト可能。高価な試料のコストを抑え、実験時間及び開発期間の短縮に貢献します。 ラボ用遠心分離機LAC TypeSをさらに使いやすくモジュール化。今までろ過テストのために準備する必要があった給液タンクやろ液タンクを標準装備。遠心分離機を台車の上にセッティングしているため、かがむなどの...

メーカー・取り扱い企業： 松本機械販売株式会社

東北大学技術：貴金属ナノ材料の製造方法：T06-024

廃液処理を不要な簡便な方法で貴金属ナノ材料を効率よく製造することが可能…

本発明は、超音波を照射して溶媒中に貴金属酸化物を分散させた後に、マイクロ波等により加熱することで、強塩基等の添加剤を使用することなく、簡便な方法で貴金属微粒子や貴金属ナノチューブ等の貴金属ナノ材料を効率よく製造することが可能となる、貴金属ナノ材料（＝ 貴金属微粒子、貴金属ナノチューブ、貴金属ナノロッド、貴金属ナノワイヤー、貴金属ナノシート等）の製造方法に関する。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

【分析事例】Sn酸化物に対する還元処理の検証

～XPSと計算シミュレーションの比較から～ 価電子帯スペクトルからの…

XPSは内殻準位からの光電子スペクトルより物質の組成・結合状態を評価する手法です。一方でフェルミ準位近傍には最外殻電子の状態を反映した価電子帯スペクトルが現れます。本資料では、Sn酸化物に対して第一原理計算によって算出した状態密度とXPSによって取得した価電子帯スペクトルを比較、考察することで、Sn酸化物に対する還元処理の検証を行った事例をご紹介します。 計算シミュレーションを用いることで取得し...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

nanoTAによる局所熱特性評価

局所熱分析システム（Nanoscale Thermal Analysi…

試料表面の局所における、熱特性（ガラス転移,軟化温度,融解温度,膨張傾向）を測定する熱分析法です。試料表面に接地するプローブを加熱し、試料表面の温度を変化させます。図中では1. 昇温時試料膨張がはじまり、2. 転移温度に到達するまでDeflectionが変化、3. 転移温度後変化した試料へプローブの侵入を示しております。温度変化時のDeflectionをモニタリングし、測定点ごとに転移温度をマッピ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】多結晶シリコン太陽電池のPLマッピング

太陽電池セルの欠陥の位置を非破壊で特定することができます

太陽電池に禁制帯幅以上のエネルギーの光を照射するとキャリアが生成し、一部は発光性再結合をします。その際の発光をフォトルミネッセンス（PL）と呼びます。しかし、欠陥が存在する箇所では、キャリアが捕捉されPL強度が弱くなります。このことから、PLマッピング測定をすることで、非破壊かつ簡便に欠陥箇所を特定することができます。多結晶シリコン太陽電池セルにおいて、PLマッピング測定を行い、欠陥箇所を特定した...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】化合物積層構造試料のSIMS分析

前処理により化合物層を選択的に除去してから分析が可能

積層構造試料のSIMS分析において、試料表面から深い位置に着目層がある構造では、着目層で深さ方向分解能の劣化や上層の濃度分布の影響を受ける懸念があります。このような場合には、前処理により上層を除去してから分析することが有効です。本資料では、 InP/InGaAs系 SHBT（Single Heterojunction Bipolar Transistor）試料について、選択的かつ段階的に層を除去し...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ラット皮膚中インドメタシンの経皮吸収評価

TOF-SIMSにより生体組織中薬効成分の分布を可視化

TOF-SIMSは成分を分子イオンの質量から同定するため、蛍光物質などの標識が不要であり、その影響のないイメージング評価が可能です。また、断面イメージングを行うことで、深さ方向への分布評価をすることができます。今回、ラットの皮膚にインドメタシンのゲル製剤を2時間塗布し、浸透した薬効成分の分布を可視化しました。その結果、インドメタシンは角層表面約5μmに高濃度に偏在しており、深さ方向ラインプロファイ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

FSCC06セレクティブスプレイコーター

水性材料や中高粘度の溶剤系接着剤の原液をつまりや糸ひきなく薄膜スプレー…

新たに開発したFSCC06セレクトスプレーガンは、特に液づまりしやすい水性エマルジョン材料や、中粘度の溶剤系材料の原液を液づまりや糸ひきなく低吐出量で１０～７０μｍの安定した成膜が出来ます。水性材料等も２０μｍ前後の成膜を所定の場所に見切り塗布工法で限定塗布も可能なため、乾燥時間も溶剤系...

メーカー・取り扱い企業： Shimada Appli合同会社 コーティング開発部

FRP材料評価・構造物AE診断

各工程のAE信号を解析することで、その破壊挙動を評価することができます…

『FRP材料評価・構造物AE診断』をご紹介します。 材料破壊現象における各工程のAE信号を解析（AE振幅値・持続時間） することで、その破壊挙動を評価することができます。 ご用命の際はお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 西進商事株式会社

【分析事例】細菌の画像からの細胞周期評価

深層学習×データ解析により、多量のデータを活用して試料特性を評価できま…

3種類の乳酸菌を混合させた試料をSEM観察し、得られた画像から深層学習を用いて種類ごとに乳酸菌を抽出しました。さらに、データ解析を行い、乳酸菌の形状をもとに細胞周期上の存在比を求めました。 測定法：SEM、計算科学・AI・データ解析 製品分野：バイオテクノロジ、医薬品、日用品、化粧品、食品 分析目的：形状評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。......

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】AFMによる毛髪表面の微細構造観察

大気中の分析により変質を抑えた定量評価が可能

毛髪表面にあるキューティクルの状態を、AFMにより解析した事例をご紹介します。 AFM は、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。大気中で分析を行うため、有機物の変質や脱ガスなどを起こさず、試料本来の形状を評価可能です。本事例では、キューティクルの開き具合や付着物成分の分布、領域ごとの粗さ評価を画像で評価した他、数値処理により定量的に凹凸を評価しました。シャンプー後の毛髪の状態評価...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiN膜中水素の結合状態別の定量

赤外吸収法によりSiN膜中のSi-H,N-Hを定量

SiN膜中のSi-H及びN-H濃度をFT-IR分析により求めることが可能です。SIMS等の分析でも、水素濃度を求めることは可能ですが、全水素濃度であり、Siと結合した水素及びNと結合した水素をそれぞれ求めることは出来ません。FT-IRではSi-H伸縮振動とN-H伸縮振動が別の位置にピークを持つため、それらのピークを利用して、それぞれの水素濃度を求めることが出来ます。 Si基板上SiN膜中のSi-...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】水素水の含有水素濃度評価

水素水などの溶液中水素濃度測定が可能です

水素水は体内の活性酸素を除去できると言われており、抗酸化作用に注目が集まっています。ただし、水に溶ける水素量はわずかであり、空気中に放置すると徐々に水素が抜けてしまうことや、水素は非常に小さい分子であるため、保存容器によっては長期間の保管ができないことが知られています。そのため、保管容器や保管方法が重要とされています。本事例では、水素水を紙コップに移したものとパウチ型の保管容器でどれだけ水素が抜け...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】緑茶中カテキンのLC/MS/MS分析

熱異性化体を含むカテキン8種類の一斉分析事例

緑茶の主要成分であるカテキンには抗酸化作用・脂肪燃焼促進作用・血中コレステロール低下作用等の機能が知られており、特定保健用食品（トクホ）に指定されています。天然の緑茶には4種類のカテキン（EC、EGC、ECG、EGCG）が含まれていますが、市販のお茶には加熱殺菌工程でそれぞれが熱異性化したカテキン（C、GC、CG、GCG）も多く含まれます。本資料では、市販の緑茶をLC/MS/MSで分析し、熱異性化...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】GCによる窒素化合物の高感度分析

GC/MS/NPD（窒素リン検出器）を用いた窒素化合物の分析

窒素化合物を含む試料をGCで分析する際にMS（質量分析計）とNPD（窒素リン検出器）を同時測定することによりMSではピークとして現れない成分をNPDで検出し、その保持時間からMSスペクトルを取得して成分を定性することが可能です。本事例では含窒素化合物であるトリメチルアミンが微量に含まれる試料をGC/MS/NPDで測定しました。MSではベースラインに埋もれていたピークがNPDで確認されたため、同一保...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

液だれ防止弁　ＳＶシリーズ

安価かつ簡単に材料の液だれや漏れを防ぎ、安定した吐出が得られます。

バレルの先端や継手、チューブなどにつなぎニードルをセットして使用する逆止弁です。 中のバネ圧によって材料の液だれや漏れを防止します。 ・バレルへの取り付けが容易で確実、密着性に優れています ・分解洗浄が簡単です ・発揮性の材料の吐出にも適しています ※詳細はカタログ請求していただくか、...

メーカー・取り扱い企業： ユニコントロールズ株式会社

【分析事例】クリームはんだ中フラックスの成分分析

クリームはんだ中のロジン、チキソ剤、活性剤などを網羅的に定性します。

クリームはんだ（ソルダーペースト）は金属粉末と松ヤニなどから成るフラックスとを混合したペースト状のはんだで、電子部品を基板上に実装する際に用いられています。 はんだフラックス中には、溶剤や活性剤、ロジン、チキソ剤などといった低分子～中・高分子の様々な有機成分が含まれています。 ここでは、これらの成分についてGC/MS、LC/MSを用いて幅広く定性した事例を紹介します。...詳しいデータはカタログ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】シリコン単結晶中の格子間原子濃度の定量

赤外吸収法により非破壊で格子間酸素・炭素濃度を定量

シリコン単結晶中の格子間酸素及び炭素原子濃度をFT-IR分析により非破壊で求めることが可能です。透過法により測定したスペクトルの格子間酸素または炭素による吸収のピーク高さから算出します。 算出方法は、電子情報技術産業協会（JEITA: Japan Electronics and Information Technology Industries Association）により規格されています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

バルブ『E-V12シリーズ』

サックバック効果により、高粘度液材料のたれが解消されます！

『E-V12シリーズ』は、液体材料の流人部（入口）をRcl/4に広げたため 吐出量を増大することが可能になったサックバック式ポペットバルブです。 接液部の上部シールにダイヤフラム（フッ素樹脂系、PTFE）を使用している為、 ...

メーカー・取り扱い企業： イーグルシステム株式会社 東京事業所

【分析事例】骨断面の組成分布評価

マウスの脛骨断面の組成分布をTOF-SIMSにより可視化

マウス脛骨の成分分布を評価するため、脛骨の切片を作成しTOF-SIMSによるイメージング分析を行いました。マウス由来成分であるK・Ca・リン酸Ca・リン脂質の分布が確認できました。 TOF-SIMSは成分を分子イオンの質量から同定するため、蛍光物質などの標識が不要なことから、標識物質の影響なく分布の評価が行えます。医薬品の動態解析やDDS（Drug Delivery System）研究など、臓器...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【材料・不良解析】調査事例

混入異物・付着物異物に関する調査例や、材料の組成や発生物質の分析例をご…

当社が実施した、『材料・不良解析』の調査事例をご紹介いたします。 混入異物・付着物異物に関する調査例では、携帯電話用アンテナめっき部の 付着物の材質分析や、ゴムのブルーミングに関する調査等を実施。 その他に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミツバ環境ソリューション

射出成形品自動取出機【樹脂製品やランナーを自動で取出】

樹脂製品やランナーを射出成形機から自動で取出！できる限り精密で高級な材…

プラスチックの射出成形機に乗せて、製品やランナー（樹脂の通り道）を自動で取り出しするロボットです。プラスチックの製品・部品の製造方法に、材料を加熱して溶かし、金属製の金型に流し込んだあと、冷やし、固める「射出成形法」があります。この「射出成形法」は、一つの型から同じ形の製品をたくさんつくることができるので、プラスチック製品・部品を安く、...

メーカー・取り扱い企業： セーラー万年筆株式会社 ロボット機器事業部

【分析事例】リチウムイオン二次電池内部の非破壊観察

X線CTによる観察事例

リチウムイオン二次電池はスマートフォン・デジタルカメラなど、幅広く使われている電池です。リチウムイオン二次電池は充放電を繰り返すことで劣化し、電池が膨らむ現象が発生することがあります。この現象が発生した電池を調査する場合、内部に溜まったガスや電解液等による反応が懸念され、加工には危険を伴うことから非破壊で内部の構造を確認する必要があります。 本事例では充放電を繰り返したリチウムイオン二次電池の...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価

Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出

Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 （クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）...詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせくだ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】CIGS薄膜太陽電池特定結晶粒の評価

任意断面のEBIC測定で特徴があった箇所の直交断面観察

EBICとEBSDで電気的性質と結晶の関連性についての知見が得られますが、情報の深さが異なります。EBIC分布測定で電気的性質が特徴的であった箇所について、直交断面を作製し、奥行き方向のSTEM像観察を行いました。また、各結晶粒について電子回折を測定しました。これにより、電気的性質と結晶粒・結晶粒界の関係がより一層、明らかになりました。STEM観察および電子回折測定を行うことにより、特定箇所の結晶...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】錠剤タイプ頭痛薬の成分評価

新品と過酷試験後の成分比較・不明成分の構造推定

市販されている錠剤タイプの頭痛薬に含まれる成分が、過酷試験前後でどのように変化するかLC/MS分析を行い比較しました。LC/MSのTIC（トータルイオンクロマトグラム）により、過酷試験後には新品に存在しない特徴的な成分が確認され、MSスペクトルにより精密質量を特定しました。 さらにLC/MS/MS分析を行うことで、フラグメントイオンの情報から構造の推定ができました。 LC/MSとLC/MS/M...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】4-t-オクチルフェノールの分析

容器貸し出しから分析結果までトータルでサポートします！

水質汚濁に係る生活環境の保全に関する環境基準のうち、水生生物の保全に係る環境基準の要監視項目に、新たに4-t-オクチルフェノールを追加することが発表されました（平成25年3月27日）。4-t-オクチルフェノールは、環境の汚染を通じ、水生生物の生息又は生育に支障を及ぼすおそれがあるとされ、指針値は水域・類型別に0.0004～0.004 mg/Lと設定されております。 MSTでは専用の容器貸し出しか...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ステンレスバレル　ＳＢシリーズ

ステンレス製なので50℃以上の温度で材料を使用する場合に最適！

樹脂製のバレルでは使用できない材料の場合や、材料を50℃以上の温度をかけて使用する場合などに適しています。 ※詳細はカタログ請求していただくか、ダウンロードからPDFデータをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ユニコントロールズ株式会社

【分析事例】指定外酸化防止剤（TBHQ）のLC/MS/MS分析

高い回収率で低濃度の食品中TBHQ定量分析を実現

どの措置がとられます。本資料ではさまざまな食品に0.1ppmのTBHQを添加し、LC/MS/MSで測定した事例を紹介します。いずれの食品でも80%以上の回収率でTBHQを分析できました。輸入食品・原材料の安心・安全の保証にお役立てください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】金属膜の高温XRD評価

昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価

Pt をSi 基板にスパッタ蒸着させた試料に対して、昇温させながらOut-of-plane XRD, In-plane XRD 測定をそれぞれ行いました。両測定で、Pt(111) は500℃より高い温度ではピーク強度が増加し、半価幅が小さくなり、結晶化が進行していることが分かりました。 また、温度が上昇するにつれ、熱膨張によりピークが低角度側（格子間隔が広がる方向）にシフトしていることを確認でき...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

粘着ラベル材料「高耐熱ラベル　ポリイミド基材」

6色の基材カラーにより製品管理を細分化！プリント基板ラベルへの応用に最…

PCB製造工程のはんだ付け工程においては、電子機器製造における無鉛イニシアチブ（RoHS）が制定され、各メーカーは銀やスズ、銅ベースのはんだ付けに移行しました。 これによりはんだ付け温度が従来の220℃レベルから260℃近辺に引き上げられ、最高280℃の温度にも耐えうるラベルが求められています。 エイブリィ・デニソンのポリイミド系ラベル基材は、これらの高温プロセスにも耐えるとともに、はんだ付け...

メーカー・取り扱い企業： エイブリィ・デニソン・ジャパン株式会社

【分析事例】Si-IGBTチップのキャリア濃度分布評価

フィールドストップ層およびライフタイムキラーのSRA評価

SRAでは、キャリアの深さ方向濃度分布を浅い領域（数100nm）から深い領域（数100μm）までの幅広いレンジで分析が可能です。また、試料表面や指定深さにおける抵抗値の面内分布評価も可能です。 一例として、市販品のSi-IGBTチップを解体し、チップ全体/フィールドストップ層/ライフタイムキラーの深さ方向濃度分布評価と、ライフタイムキラー照射深さにおける抵抗値の面内分布評価をSRAで行った事例を...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】熱分解GC/MSによるスマートフォン封止剤の分析

2段階の加熱によりUV硬化系素材の分析が可能

熱分解GC/MSによる2段階加熱法を用いて、市販スマートフォンのディスプレイ周辺部封止剤の素材解析を行いました。低温(250℃)で試料を加熱し、発生したガス成分をGC/MS測定することにより、残存モノマーや低分子添加剤（重合開始剤、酸化防止剤）を検出することができます。引き続いて高温(550℃)で加熱することにより、高分子を分解してその構成成分を推定することができます。これにより封止剤はUV硬化系...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】毛根の成分分析

TOF-SIMSを用いた生体成分のコレステロール・脂肪酸の可視化

人の毛髪（抜け毛と引き抜いたもの）の毛根部をSiウェハに押し付け、転写された成分についてイメージング測定（面分析）を行いました。抜け毛は毛根の先端にのみ、■K, ●リン脂質が強い傾向が見られます。また、毛根部全体には、■CnHmCOOH(ｎ=17～31)の脂肪酸（人の皮脂由来）、●角栓由来のアミド系成分、◆質量が500～700の含窒素有機酸、◆質量が800付近の有機物が凝集していると考えられますが...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】有機ふっ素化合物（PFOS・PFOA等）の分析

製品中・排水・環境水の分析に対応可能です

有機ふっ素化合物は、界面活性剤、金属めっき処理剤等様々な用途で使用されています。そのうち、ペルフルオロオクタンスルホン酸（PFOS）は、製造・使用・輸出入を制限する残留性有機汚染物質に関するストックホルム条約（POPs条約）の対象物質です。さらに、ペルフルオロオクタン酸（PFOA）についても規制物質への追加が検討されています。PFOAやPFOS以外にも、炭素鎖数が異なるペルフルオロアルキルカルボン...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】クリーンルーム内有機化合物の評価方法

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

半導体や液晶などの製造が行われているクリーンルームでは、パーティクルだけでなく分子レベルの化学汚染（分子状汚染）を把握することが重要です。浮遊分子状汚染物質としては酸・塩基性ガスや凝集性有機物質、ドーパント、金属などが挙げられ、成分に応じて分析方法は異なります。 ここでは凝集性有機物質の詳細と、代表的な捕集方法である“吸着剤捕集”と“ウエハ暴露捕集”について紹介します。...詳しいデータはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】メルブロミンの皮膚への浸透性評価

テープストリッピング法により皮膚への主薬の浸透性を可視化

TOF-SIMSは成分を分子イオンの質量から同定します。今回、ヒトの皮膚（腕）にメルブロミン液（赤チン）を塗布し、角層をテープにて剥離するテープストリッピング法にて、皮膚への主薬の浸透性を評価しまし た。メルブロミン液を腕に塗布し、二時間後にテープストリッピング法にて角層を三回剥離し、テープの粘着層表面をTOF-SIMSにより面分析しました。角質由来のCNOに対する、メルブロミン由来の臭素Br量...

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【分析事例】Si基板に含まれる格子間型炭素の評価

Si基板に含まれる微量な炭素の確認が可能です

Siにイオンや電子線等を照射すると、Siに僅かに含まれる「格子置換型炭素」の一部が「格子間型炭素」に変化します。この格子間型炭素がデバイスの電気特性に影響を与えているとされています。 格子間型炭素に関連する挙動は低温PL分析で非常に感度良く観測することが可能であり、SIMS分析の下限以下の微量な炭素についての知見を得ることが可能です。 本資料では、イオン注入を行ったSi基板について低温PL分析...

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【分析事例】バイポーラトランジスタ（IGBT）の不良品調査

高電圧電源を用いたエミッション顕微鏡による故障箇所の特定

発光像とIR像の重ね合わせにより、リーク箇所を顕微的視野で特定できます。クラックや静電破壊など大規模な外観異常がある場合は、IR顕微鏡でも異常を確認可能です。また、エミッタ電極の遮光により、発光が検出できない場合には、コレクタ電極を除去し、コレクタ側から近赤外光を検出します。 2000Vまで印加可能な高電圧電源を用い、高耐圧で低リーク電流のパワーデバイスを動作させ、エミッション顕微鏡で故障箇所を...

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【分析事例】酸化物ReRAM動作領域の元素分布評価

酸化物デバイスにおける局所元素分布を酸素同位体を用いて高感度に評価

酸化物ReRAMでは、電場印加に伴う酸素拡散がメモリ動作（抵抗変化）と関連しているとされていました。 SIMS分析では同位体を測定可能であるため、同位体18Oイオン注入技術を利用すれば、酸素拡散の追跡が可能となります。18Oを局所的に注入した素子に対し、電場印加により動作領域となるブリッジ構造を形成し、元素マッピングを行った結果、ブリッジ部では18Oの強度が弱く、局所的に還元されていることが分か...

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【分析事例】機能性成分グルコシルセラミドの分析評価

LC/MSによる定性分析、HPLCによる定量分析事例

糖脂質の一つであるグルコシルセラミド(植物セラミド)は保湿効果やアトピー性皮膚炎に対する改善効果が報告されており、美容分野において注目を集めている成分です。グルコシルセラミドは植物によって主成分の構造が異なっていますが、LC/MSを用いて定性分析することが可能です。また、グルコシルセラミドは同じ植物の由来であっても複数の分子種を有しているため、蒸発光散乱検出器（ELSD）を用いることで高精度に定量...

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【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など厚さ数nm以下の極薄膜について、XPS分析によって膜厚を算出した事例をご紹介します。Siウエハ最表面のSi2pスペクトルを測定し、得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程か ら膜厚を見積もることが可能です（式１）。 XPSでは非破壊かつ簡便に、広域の平均情報として基板上の薄膜厚みを...

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【分析事例】繊維の変色原因調査

繊維表面の有機・無機成分の評価が可能です

TOF-SIMSは、着目の箇所を局所的に分析し、得られる質量スペクトルにより元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時にできるため、各工程における異物・汚れ・変色の原因究明に非常に有効な手段です。また、イメージ分析も可能なため、有機物の分子情報の可視化も可能です。 本資料では、繊維製品であるクリーンスーツの変色の解析結果をまとめます。TOF-SIMSによる定性結果から、変色部は皮脂である可...

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【分析事例】発泡ゴムの引っ張り試験CT測定

サンプル内部の形状変化をin situで測定・解析

試料に応力（引っ張りもしくは圧縮）をかけた状態でX線CTによる内部構造分析を行うことが可能です。 本資料では、発泡ゴムを例として、通常状態と伸ばした状態においてin situ X線CT測定を実施し、取得したCT像から気泡の体積変化を解析しました。 in situ X線CT測定と画像解析技術を組み合わせることで、従来では評価が困難であった実使用条件下での評価や応力による製品への影響の評価が可能で...

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【分析事例】有機フィルムの昇温脱離ガス分析（TDS）

真空環境下における有機物の脱ガス成分を評価可能

TDSは真空環境下で試料を昇温し、脱離したガスをモニターする手法です。有機物の測定を行う場合、多量の脱ガスによる装置汚染で測定が困難となる場合がありますが、あらかじめ試料量や分析条件を調整し脱ガス量をコントロールすることにより、分析が可能となります。 以下に有機フィルムについて、TDS分析を行った結果を示します。低温度域で表面吸着水が脱離し、温度の上昇と共に脱ガス強度が上昇する現象を捉えることが...

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【分析事例】エポキシ樹脂の硬化温度･ガラス転移温度調査

DSC（示差走査熱量）測定による熱物性評価

二液混合型のエポキシ樹脂について、DSC（示差走査熱量測定法）を用いて硬化温度及び耐熱性の指標となるガラス転移温度（Tg）を調査しました。硬化前の樹脂をDSC測定したところ、約103℃付近から急激な発熱反応が開始するのが確認されました（図1）。これは昇温加熱により樹脂の重合（硬化）が起きたためです。更に、硬化後の樹脂を室温まで空冷した後、再度DSC測定したところ、樹脂のガラス転移に起因するベースラ...

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