測定 | イプロス医薬食品技術

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カールフィッシャー法水分測定技術セミナー

PR5年ぶりに対面式の復活！職場で今すぐ使えるポイント教えます

日東精工アナリテック株式会社は、対面形式での水分測定技術セミナーを 5年ぶりに開催いたします。カールフィッシャー(KF)水分測定法へのご理解をさらに深めていただくために、KF法の原理、KF試薬の選び方、日常のメンテナンスについての解説やアプリケーション例と合わせて詳しくご紹介いたしますので皆様の奮ってのご参加を心よりお待ちしております。ご用命の際は、当社へお気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業：日東精工アナリテック株式会社
Luminex xMAP INTELLIFLEX System

PR【キャンペーン実施中】迅速でコストパフォーマンスに優れたイムノアッセイ…

Luminex xMAP INTELLIFLEX Systemは、コンパクトで広いダイナミックレンジを実現します。タッチスクリーンのユーザーインターフェースを備え、スタートアップ、シャットダウン、メンテナンスが自動化されているため使いやすく、メンテナンスも簡単。この他、2つのパラメーターで測定可能なDR-SEモデルをはじめ、Luminex 200 Instrument System、Luminex...
メーカー・取り扱い企業：サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.
【分析事例】半導体パッケージのはんだ濡れ性試験_C0699

劣化加速試験後の電極のはんだ濡れ性試験が可能です。

濡れ性を評価することは部品の信頼性を評価するうえで重要です。今回は疑似的に試料を劣化させ、はんだの濡れ性がどうなるかを検証しました。恒温恒湿試験後、電極表面の濡れ性が変化することが分かりました。測定法：恒温恒湿試験,はんだ濡れ性試験製品分野：パワーデバイス,LSI・メモリ,電子部品分析目的：劣化調査・信頼性評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
分析事例トレンチ型Si-MOSFETのIDSSリーク箇所複合解析

デバイスの不良箇所特定から要因解析までワンストップでご提供

解析が必須となります。本資料では不良箇所の特定をEMS(エミッション顕微鏡法)を用いて行い、不良要因解析をSCM(走査型静電容量顕微鏡法)とSEM（走査型顕微鏡法）で評価した事例をご紹介します。測定法：EMS,SCM,SEM 製品分野：パワーデバイス分析目的：故障解析・不良解析詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】金属材料の蛍光X線分析事例

金属組成評価として、始めにXRF分析での元素スクリーニングをお勧めしま…

たデータを紹介します。 mmオーダーの広範囲にて面分析を行うことで材料中の金属元素の分布をおおまかに調べ、特徴的な箇所のXRF点分析結果から元素組成を算出することで金属材料の推定を行いました。測定法：XRF 製品分野：製造装置・部品・日用品分析目的：組成評価・同定・組成分布評価・故障解析・不良解析詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】薄いカーボン膜の深さ方向分析

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)やグラフェンの深さ方向分析が可能

ヤモンドライクカーボン(DLC)層は2層構造となっており、表面側では窒素が含まれるC層、奥側でCのみの層となっていることが分かりました。この方法を応用して、グラフェン膜の深さ方向分析も可能です。測定法：TOF-SIMS 製品分野：電子部品・製造装置・部品分析目的：組成評価・同定・組成分布評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】高電子移動度トランジスタの評価

Csコレクタ付STEMにより結晶整合性および組成分布の評価が可能

GaN HEMTデバイスを解体し評価した事例をご紹介します。 HAADF-STEMにより、AlGaN/GaN界面近傍の結晶整合性を確認しました。また、EELSにより組成分布の評価を行いました。測定法：TEM・EELS 製品分野：パワーデバイス分析目的：構造評価・膜厚評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】生体材料中成分の分布状態の可視化

生体材料の切片作製から分析までまとめて承ります

ができます。生体の各器官に合わせて切片作製を行い、成分をイメージングすることが可能です。また、薬物動態研究や医薬品の研究開発において、生体材料中に投与した成分の分布状態の可視化にも有効です。測定法：TOF-SIMS 製品分野：バイオテクノロジ・医薬品分析目的：組成分布評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】垂直入射法による深さ方向分解能の向上

SIMS：二次イオン質量分析法

■極浅深さ方向分布の測定法（1）斜入射法における深さ方向分解能の限界斜入射法における深さ方向分解能の一次イオンエネルギー依存性をδドープ試料を用いて調査しました（図1）。斜入射法においては、クレータ底面の粗れにより...

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【分析事例】毛髪のキューティクル表面の成分分布を可視化

有機分子の分布をTOF-SIMSイメージ分析で比較

キサン系のヘアケア剤を用いた毛髪の「断面および表面」と、毛髪の「表面」をイメージ分析した結果を示します。毛先表面と根本表面のキューティクルには、成分分布状態に違いがあることが確認できました。測定法：TOF-SIMS 製品分野：医薬品・化粧品分析目的：組成評価・同定・組成分布評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】二次電池負極粒子表面の分布評価

一粒の粉体表面に分布する成分の評価が可能

質量分析法（TOF-SIMS）は、二次イオンのマススペクトルから表面の有機物・無機物の定性・イメージに適した手法です。分解能よく分析することが可能なため、微小異物やしみなどの分布評価に有効です。測定法：TOF-SIMS 製品分野：二次電池分析目的：組成分布評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】セラミックス表面における洗浄成分の分布評価

洗浄成分の分布の可視化や深さ方向の分布の評価が可能

面状態を適切に評価することは重要です。本資料ではZr酸化物からなるセラミックス表面のぬれ性に寄与する洗浄成分について、表面分布および深さ方向分布をTOF-SIMSで評価した事例を紹介します。測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品分析目的：定性・分布評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】液晶材料の分子構造解析

GC/TOFMSにより液晶ディスプレイ中液晶分子の構造推定が可能です。

御するのに不可欠です。ここでは、市販品のパネル中の液体成分を抽出し、GC/TOFMSで構造推定した事例を紹介します。負の誘電異方性を示す液晶材料など約10種の成分を精密質量情報から推定しました。測定法：GC/MS 製品分野：ディスプレイ、テレビ、プロジェクター分析目的：市販品調査、分子構造評価、劣化調査詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】シームレスカプセルの三次元構造観察および膜厚解析

X線CTによりシームレスカプセルの評価・解析が可能

、皮膜内部に異物が確認されました。また、皮膜の膜厚分布を3Dイメージおよびヒストグラム化しました。このようにX線CTを用いることで、内部構造の確認、異物の調査、膜厚分布等を非破壊で評価可能です。測定法：X線CT法製品分野：医薬品分析目的：構造評価・膜厚評価・製品調査詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】ジンセノサイド（Ginsenoside）の分析

高麗人参サポニン26種のLC/MS/MS一斉分析が可能です

、中枢神経興奮作用があるトリオール系等に分類され、そのバランスが重要であるといわれています。LC/MS/MSを用いて、高麗人参に含まれるジンセノサイド類26種の一斉分析を行った事例を紹介します。測定法：LC/MS 製品分野：食品分析目的：組成評価・同定詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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二次電池正極導電助剤の分散状態評価

Raman分光法によるカーボンの結晶性評価

晶性の2種類あり、単剤もしくは合材として使用されています。本資料では、正極の導電助剤のカーボン種について結晶性を指標として特定し、面内分布を可視することで分散状態を評価した事例を紹介いたします。測定法：Raman・SEM 製品分野：二次電池分析目的：組成分布評価・構造評価・製品調査詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】リチウムイオン電池電解液中のフッ化物イオン濃度評価

NMRを用いてフッ化物イオンの定量分析が可能です。

合物の標品を用いずに絶対定量が可能な19F-NMRを用いて、電解液（1M LiPF6 , EC:EMC = 3:7 v/v)の大気曝露によって生成したフッ化物イオン濃度を評価した事例を示します。測定法：NMR 製品分野：二次電池・電子部品分析目的：故障解析・不良解析・劣化調査詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】セラミックスの変色原因評価

TOF-SIMSでは無機材料の変色原因のイメージングが可能

ジング分析が可能なTOF-SIMS分析が有効です。本資料ではAl酸化物のセラミックス変色部分をTOF-SIMSで分析し、イオンイメージとラインプロファイルで変色原因を示した事例を紹介します。測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品分析目的：組成分布評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察

Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察

となりました。本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせることで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができます。測定法：TEM・EDX 製品分野：LSI・メモリ分析目的：形状評価・構造評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】NMRを用いた化合物の経時変化評価

熱分解・熱劣化等による経時変化の分析評価が可能です。

ており、近年注目されている成分です。本資料ではNMNを対象として、水中での加熱処理による1H-NMRスペクトルの推移をモニタリングし、熱によるNMNの分解・変化について分析した事例を紹介します。測定法：NMR 製品分野：バイオテクノロジ・医薬品・化粧品・食品分析目的：組成評価・同定・不純物評価・劣化調査詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】SiCパワートランジスタリーク箇所の成分分析

Slice＆Viewで特定したゲート破壊箇所で拡大観察やEDX分析が可…

とSEM-EDX分析を行いました。反射電子像で明るいコントラストが見られる場所では、SiやNiの偏析が確認されました。リークによる破壊に伴い、SiやNiなどが一部偏析しているものと考えられます。測定法：Slice＆View・SEM-EDX・EMS 製品分野：パワーデバイス分析目的：故障解析・不良解析・製品調査詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】セラミックスのぬれ性原因評価

無機材料の親水・撥水箇所に特徴的な有機物の分析ができます

ることはセラミックスの機能を活かすために重要です。本資料では、表面が撥水加工されているZr酸化物セラミックス材料において、撥水性低下の原因をTOF-SIMSを用いて評価した事例を紹介します。測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品分析目的：組成評価・同定詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】リチウムイオン二次電池バインダの成分分析｜受託分析

熱分解GC/MSによる有機成分の同定

ています。各材料の物性や組合せはデバイスの特性・信頼性に大きく反映されますので、材料の正確な解析・評価が必要となります。今回、リチウムイオン二次電池の負極を熱分解GC/MS（pyro-GC/MS）で測定した結果、本バインダ材料はSBR（スチレンブタジエンラテックス）系であることが分かりました。この他にバインダの分解物、反応生成物と推測される芳香族物質も検出されました。...

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【分析事例】ビタミン剤のLC/MS/MS分析

水溶性ビタミン5種（B1・B2・B6・B12・ナイアシン）の一斉分析

ビタミンB1は同じ機能を持つ複数の成分（チアミン・ヒドロキシエチルチアミンおよびその類縁体）で構成され、それらの総量で含有量が決定されます。本事例ではマルチビタミンサプリメントをLC/MS/MSにて測定し、水溶性ビタミン5種の各成分について定性分析を行いました。一斉分析を行うことで効率的に着目成分の含有の有無を確認することが可能です。その他の水溶性ビタミンについても分析可能ですのでお問い合わせくだ...

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【分析事例】XPSにおける吸着酸素の影響

XPS： X線光電子分光法

組成・結合状態に関する知見を得る手法ですが、イオン照射によるスパッタエッチングを組み合わせることで、試料内部や深さ方向分布の評価も可能です。但し、スパッタエッチングを伴う評価ではXPSの原理及び測定機構から、吸着酸素の影響を受けて酸素量が本来の組成より過大評価される場合があり、注意が必要です。酸素が吸着し易い試料(Ti,TiN,AlN等)の評価や微量酸素に着目した評価の場合には吸着酸素の影...

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【分析事例】指定外酸化防止剤（TBHQ）のLC/MS/MS分析

高い回収率で低濃度の食品中TBHQ定量分析を実現

れていません。そのため、輸入食品にTBHQが含まれていることがあり、国内で検出された場合は自主回収などの措置がとられます。本資料ではさまざまな食品に0.1ppmのTBHQを添加し、LC/MS/MSで測定した事例を紹介します。いずれの食品でも80%以上の回収率でTBHQを分析できました。輸入食品・原材料の安心・安全の保証にお役立てください。...

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【分析事例】XAFSによるシリコン酸化膜評価

シリコン周囲の局所構造解析、中間酸化物の定量、バルク・界面の評価

膜はMOSデバイスやリチウムイオン二次電池の負極材料として広く利用されていますが、中間酸化物の有無や界面での結合状態がデバイス特性に大きな影響を与えることが知られています。放射光を用いたXAFS測定では試料表面から数十nmの深さの情報を検出するため、非破壊でバルク・界面における構造および結合状態を解析することが可能です。本資料ではXAFSを用いてシリコン酸化膜の中間酸化物の有無を調査した事...

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【分析事例】CFRP炭素繊維強化プラスチック内部の繊維配向解析

X線CTによるCFRPの解析事例

い強度や剛性を持つことが特長です。 CFRP内部の繊維構造についてX線CTを用いて観察しました。その結果、直径約7μmの炭素繊維の集まりを観察することができ、また繊維の配向性解析を行いました。測定法：C-SAM 製品分野：酸化物半導体・パワーデバイス・LSI・メモリ分析目的：形状評価・故障解析・不良解析・製品調査詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

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【分析事例】毛根の成分分析

TOF-SIMSを用いた生体成分のコレステロール・脂肪酸の可視化

人の毛髪（抜け毛と引き抜いたもの）の毛根部をSiウェハに押し付け、転写された成分についてイメージング測定（面分析）を行いました。抜け毛は毛根の先端にのみ、■K, ●リン脂質が強い傾向が見られます。また、毛根部全体には、■CnHmCOOH(ｎ=17～31)の脂肪酸（人の皮脂由来）、●角栓由来のアミド系成...

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【分析事例】GCIBを用いた有機材料劣化成分の深さ方向分析

雰囲気制御下でのGCIBを用いた有機EL層構造および劣化層の成分評価

とで劣化が生じる有機材料について、GCIB（Arクラスター）を用いて劣化成分を深さ方向に分析した事例を紹介します。実験には有機EL原料のルブレンを用いました。大気暴露したサンプルをTOF-SIMSで測定をした結果、ルブレンペルオキシドと推定される質量（m/z 564）や、低分子のベンゼン系の質量（m/z 77,105）が検出されました。これらの劣化に起因する成分は、表面から約1μm以上の深さにわた...

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【分析事例】半導体基板中軽元素の高感度分析

SIMS分析によりH, C, N, O, Fなどを1ppm以下まで評価…

手法では評価が難しい半導体基板中のH,C,N,Oを1ppm(約5E16atoms/cm3)以下まで、Fを1ppb(約5E13atoms/cm3)以下の濃度まで検出可能です。実際のFZ-Si中における測定例（図1）とIII-V族半導体のバックグラウンドレベルを紹介します（表2）。III-V族半導体以外にも、金属膜・絶縁膜など各種材料で標準試料をとりえ揃えており、高感度な定量分析が可能です。半導体基板...

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【分析事例】高分子フィルムの多層構造の解析

GCIBを用いた低ダメージスパッタリングで多層フィルムの層構造を明瞭に…

エチレン系多層フィルムの層構造を評価しました。 FT-IRで主にポリエチレンで構成されていることを確認したフィルムに対し、GCIB（Arクラスター）をスパッタに用い、TOF-SIMSで深さ方向に測定することで、10μmの厚みの中でポリエチレンとナイロン6とが積層されている構造を明瞭に可視化することができました。...

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【分析事例】有機EL素子の成分分析

Slope面出し加工された有機多層構造試料のTOF-SIMS成分分析

属錯体)で形成されていると推定された有機EL素子（図1）について、TOF-SIMS分析を行いました。多層構造試料についてはスパッタを併用した深さ方向分析も行われますが、今回は構成成分の結合を壊さずに測定するために、Slope面を作製して各層を露出させました。Alq3, NPD, CuPcと推定される分子量関連イオン・フラグメントイオンが得られ、Slope面のTOFSIMS分析が有機多層膜の成分分析...

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【分析事例】海水中のTOC量評価

塩を含む溶液中のTOC濃度の分析が可能です

TOC（全有機炭素：Total Organic Carbon）計は、試料中に含まれる有機物の量を評価することができます。TOCの測定値は、河川や工業用水の水質汚濁を監視・管理する指標として広く採用されています。今回はNPOC法（不揮発性有機体炭素：Non-Purgeable Organic Carbon）を用いた海水の分析...

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【分析事例】デヒドロアスコルビン酸の分析

飲料中のデヒドロアスコルビン酸の分析が可能です

剤として含まれているL-アスコルビン酸の酸化によっても生成されるため、試料中の正確な値を得るためには、試料開封後速やかな分析が必要です。本資料では試料開封後の時間経過に伴うデヒドロアスコルビン酸量を測定しました。...

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【分析事例】エッセンシャルオイル中のにおい成分の評価

固相マイクロ抽出(SPME) を用いたにおい成分の濃縮分析

人がにおいとして知覚する揮発成分の濃度は非常に低い場合があり、揮発成分の分析に使用されている通常のHS（ヘッドスペース）法によるGC/MS測定では検出できない場合があります。固相マイクロ抽出（Solid-Phase Micro Extraction : SPME）を使用することで、揮発成分を濃縮してGC/MSに導入することが可能となり...

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【分析事例】アルミニウム(Al)表面のOHの分布、状態評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捕らえることが可能

電極の腐食原因の一つであり、アルミニウム表面の状態を調査することは不良原因の調査に欠かせません。TOF-SIMSは最表面での深さ方向分解能に優れ、無機物の状態をモニターしながら高感度に深さ方向分布を測定することが可能です。OHと併せて深さ方向分布を評価することで、酸化膜厚の変化を伴わずにOHが増加していた現象を見出しました。このようにTOF-SIMSでは元素分析では得られない、無機物の分子情報の深...

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【分析事例】NMRを用いた製品中のNMN含有量分析

NMN(β-ニコチンアミドモノヌクレオチド）の絶対定量が可能です

とも呼ばれるサーチュイン遺伝子の働きに関与することが知られており、近年注目されている成分です。本資料ではNMRを用いて市販のカプセル剤のNMN含有量を標品を用いずに絶対定量した事例を紹介します。測定法：NMR 製品分野：バイオテクノロジ・医薬品・化粧品・食品分析目的：不純物評価・製品調査・安全性試験詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】製剤中農薬原体のイメージング分析

製剤中の農薬原体・無機成分の分布を可視化できます

TOF-SIMSは成分を分子イオンの質量から同定するため、蛍光物質などの標識をせずにイメージング分析が可能です。また、有機成分だけではなく無機成分も測定することにより、農薬原体だけでなく、製剤に混合させる鉱物質もイメージングすることができます。今回、農薬原体の配合比率が異なる2種類の製剤中の農薬原体や無機成分を可視化しました。製剤A(配合比率高)...

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【分析事例】パッケージ品のロックイン発熱解析

Si系パワーダイオードのリーク箇所非破壊分析

ロックイン発熱解析において、ホットスポットを絞るためには周波数を上げることが望ましいですが、一方で感度が悪くなってしまうという問題があります。そこで、高周波数側から低周波数側に測定条件を振っていき、発熱信号が得られ始める周波数を見際めることが重要となります。本事例では円筒状のパッケージ品において、リーク電流に伴う発熱箇所を非破壊で特定した事例をご紹介します。このように液晶...

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【分析事例】IGZO 薄膜の結晶性・膜密度評価

酸化物半導体のXRD・XRR分析事例

IGZOは膜の組成・酸素欠損の有無・結晶性で大きく特性が変化する材料でもあり、膜質との相関を考慮することが重要です。加熱温度の異なる3種類のIGZO薄膜の結晶性・膜厚・膜密度をXRD・XRRにて測定し、比較を行った事例をご紹介します。高温では結晶化が進み、膜密度が高くなっている様子を非破壊で確認することができました。...

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【分析事例】繊維中のノニルフェノールエトキシレート分析

様々な素材の繊維製品の検査が可能です

限が追加されました。今後、NPnEOを含有（0.01重量%以上）する特定の繊維製品の新たな販売が2021年2月3日から禁止されることが定められています。本資料では、複数の素材の繊維製品中のNPnEO測定結果を紹介します。...

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【分析事例】ウエハ表面の金属・有機物汚染評価

複数手法の分析結果より、複合的に評価

した汚染をICP-MSとSWA-GC/MS※で複合的に分析した事例をご紹介します。 ※SWA（シリコンウエハアナライザー）-GC/MSとは、ウエハごと電気炉で加熱して有機物をガス化し、GC/MSで測定する手法です。...

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【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温PL

照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です

った様々な処理が行われます。これらの処理前後における照射欠陥の度合いや結晶性の回復度合いを確認することは、製造プロセスを制御するにあたり重要と考えられます。低温下におけるフォトルミネッセンス(PL)測定は、これらを調査する際に有効な手段の一つです。 Si基板にイオン注入を行った後、アニール処理を行った試料のPL測定例を示します。...

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【分析事例】細菌の画像からの細胞周期評価

深層学習×データ解析により、多量のデータを活用して試料特性を評価できま…

3種類の乳酸菌を混合させた試料をSEM観察し、得られた画像から深層学習を用いて種類ごとに乳酸菌を抽出しました。さらに、データ解析を行い、乳酸菌の形状をもとに細胞周期上の存在比を求めました。測定法：SEM、計算科学・AI・データ解析製品分野：バイオテクノロジ、医薬品、日用品、化粧品、食品分析目的：形状評価、製品調査詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】水素水の含有水素濃度評価

水素水などの溶液中水素濃度測定が可能です

水素水は体内の活性酸素を除去できると言われており、抗酸化作用に注目が集まっています。ただし、水に溶ける水素量はわずかであり、空気中に放置すると徐々に水素が抜けてしまうことや、水素は非常に小さい分子であるため、保存容器によっては長期間の保管ができないことが知られています。そのため、保管容器や保管方法が重要とされています。本事例では、水素水を紙コップに移したものとパウチ型の保管容器でどれだけ水素が抜け...

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【分析事例】XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価

高分解能測定と波形解析を利用してc-Siとa-Siの状態別定量が可能

半導体の製造工程において表面改質を目的としたイオン照射を行うことがあります。その中で、単結晶 Si表面に不活性元素のイオンを照射することで構造の損傷が生じ、アモルファス層が形成されることが知られています。高分解能なXPSスペクトルではc(単結晶)-Siとa(アモルファス)-Siが異なったピーク形状で検出されることを利用して、この損傷由来のa-Siをc-Siと分離して定量評価した事例をご紹介...

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【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価

Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出

な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。（クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）...

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【分析事例】4-t-オクチルフェノールの分析

容器貸し出しから分析結果までトータルでサポートします！

ノールは、環境の汚染を通じ、水生生物の生息又は生育に支障を及ぼすおそれがあるとされ、指針値は水域・類型別に0.0004～0.004 mg/Lと設定されております。 MSTでは専用の容器貸し出しから測定まで一括で行うサービスを受託しております。...

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【分析事例】FIB低加速加工

FIB：集束イオンビーム加工

因となっています。そこで従来より低加速(2kV)の加工を行うことでダメージ層が低減でき、像質が改善されました。 FIB低加速加工によりFIB加工面のダメージを低減することで、TEM像観察、EELS測定において高品質で信頼性の高いデータが得られます。...

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【分析事例】SiCSchottkyDiodeのブレークダウン観察

前処理から発光箇所特定まで一貫解析

odeを動作させ、逆方向に高電圧まで印加することで、ブレークダウンを発生させました。カソード電極を研磨で除去後、エミッション顕微鏡観察を行い、ブレークダウン電流発生箇所を特定した事例をご紹介します。測定には市販品を用いています。...

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【分析事例】XPSによるプラスチック容器ガスバリア膜の評価

有機膜の定性・各元素の結合状態の分離および定量化

点が課題とされてきました。近年では酸素の侵入や炭酸の損失による品質の劣化を防ぐため、PETボトルにガスバリア膜をコーティングする技術が開発され、広く利用されています。本資料では、市販のPETボトルの測定から、ガスバリア膜の組成及び化学結合状態評価を行った事例を紹介します。...

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【分析事例】LASのアルキル鎖長分布調査

粉洗剤・液体洗剤、家庭用排水等のLAS分析が可能です

環境基準のうち、水生生物の保全に係る環境基準の項目に追加され、基準値が制定されました（平成25年3月27日）。LASの使用用途の約9割が家庭用洗剤とされていることから、既成の家庭用洗剤と家庭用排水の測定を行い、LASアルキル鎖長（C10～C14）分布の比較を行いました。...

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【分析事例】熱分解GC/MSによるスマートフォン封止剤の分析

2段階の加熱によりUV硬化系素材の分析が可能

熱分解GC/MSによる2段階加熱法を用いて、市販スマートフォンのディスプレイ周辺部封止剤の素材解析を行いました。低温(250℃)で試料を加熱し、発生したガス成分をGC/MS測定することにより、残存モノマーや低分子添加剤（重合開始剤、酸化防止剤）を検出することができます。引き続いて高温(550℃)で加熱することにより、高分子を分解してその構成成分を推定することができます。こ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】酸化チタンアナターゼ型とルチル型の判別

TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です

（TiO2）には組成が同じで結晶構造の異なるアナターゼ型とルチル型が存在します。Si基板上に成膜した厚さ20nmの多結晶TiO2試料（写真1）について電子線プローブを約1nmΦ(FWHM)まで絞って測定を行いました。試料から取得したEELSスペクトルは、Ti, Oともにアナターゼ型TiO2の標準スペクトルと一致しています（図1, 2）。...

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【分析事例】二酸化ケイ素の構造解析

非晶質（ガラス）二酸化ケイ素（SiO2）のラマン散乱分光法による構造解…

・FPDの基板材料・光学材料・医療機器から装身具に至るまで幅広く用いられていますが、非晶質であるガラスとして構造解析を行うことは非常に困難です。ガラス中でSiO2が環状に結合することに着目し、ラマン測定を行いました。（図1）単結晶石英ではガラス状態のスペクトルとは著しく異なり、長距離秩序によるフォノンバンドが観測されます。（図2, 図3）...

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【分析事例】UVセンサ　AlGaN中不純物濃度の高精度評価

様々なAl組成のAlGaN標準試料をラインアップ

SIMS分析において、より確かな濃度定量値を算出するには測定サンプルと組成の近い標準サンプルを用いることが不可欠です。紫外LEDやUVセンサに用いられるAlGaNについて、Al含有量に応じたAlGaN標準試料を幅広く取り揃えたことで、より高精度にAlGa...

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【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など厚さ数nm以下の極薄膜について、XPS分析によって膜厚を算出した事例をご紹介します。Siウエハ最表面のSi2pスペクトルを測定し、得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程から膜厚を見積もることが可能です（式１）。 XPSでは非破壊かつ簡便に、広域の平均情報...

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【分析事例】AESの異物分析における注意点

AES：オージェ電子分光法

。しかし、電子線等のダメージの影響により異物が変化したり消失してしまう可能性があります。特に、ハロゲン元素等を含む場合は、その影響を強く受けてしまうことがあり注意が必要です。SEM観察時やAES測定時に異物が消失してしまった事例として、Siウエハ上のNaCl粒子について、AES分析を行った結果を示します。...

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【分析事例】フコイダンの糖組成の定量分析

粉体や液体等、様々な試料形態に対応可能です

海藻類に含まれます。本法では、サプリメントやドリンク剤中フコイダンを単糖に分解して分析します。主成分のフコースのほか、キシロース・マンノース・ガラクトース・ラムノース・グルクロン酸について同時に測定し、各糖の定量値を算出します。...

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【分析事例】飲料中ジアセチルの定量

GC/MSによりジアセチル量が評価可能

ます。特に、酒造業界ではppbオーダーの微量な濃度の違いが製品の香りを左右するため、ジアセチル濃度を感度よく定量することは、品質評価や商品開発において有用となります。本資料では、通常のGC/MS測定では評価が出来なかった飲料中の微量なジアセチルを、誘導体化処理することで定量可能とした事例を紹介します。...

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【分析事例】GC/MSによる食品中トリグリセリドの分析

トリグリセリドを分解せずに分離・定性が可能

生体や食品中には脂肪酸組成の異なる複数のトリグリセリドが含まれています。総脂肪酸の分析ではトリグリセリドをグリセリンと脂肪酸に分解して測定を行いますが、トリグリセリドの状態における脂肪酸の組み合わせの情報は失われてしまいます。ここでは食品中のトリグリセリドをGC/MSで直接分析することで、どのような脂肪酸組成を持ったトリグリセリドが含...

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