カールフィッシャー法 水分測定技術セミナー

PR5年ぶりに対面式の復活！職場で今すぐ使えるポイント教えます

日東精工アナリテック株式会社は、対面形式での水分測定技術セミナーを 5年ぶりに開催いたします。 カールフィッシャー(KF)水分測定法へのご理解をさらに深めて いただくために、KF法の原理、KF試薬の選び方、日常のメンテナンスに ついての解説やアプリケーション例と合わせて詳しくご紹介いたしますので 皆様の奮ってのご参加を心よりお待ちしております。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： 日東精工アナリテック株式会社

エスキューは、肌診断機の研究者と販売部門の【橋渡し役】です！

PR肌のポテンシャルをタイプ別に診断する「ポテンシャルファインダー」など、…

当社では、肌化粧品を製造するメーカー様に向けた『肌診断機を用いた化粧品の販売支援サービス』を提供しております。 美容理論に基づき、敏感肌向けの製品から特定のニーズに対応した化粧品まで、肌診断機を用いた多様な拡販支援策にお役立て頂いてきました。肌診断機を用いた新しいアイデアやコンセプトの提供からテスト、市場投入までの一連のプロセスをサポートいたします。 【導入事例（抜粋）】 ・販売現場で、まだ不慣...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスキュー

【分析事例】ハートカットEGA法による発生ガス分析

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

る方法としてEGA-MS法がありますが、この方法では発生したガスをGCのカラムを通さずに混合物のまま質量分析計に導入するため、化合物の同定が困難です。このような場合、ガスを一度トラップしてGC/MS測定を行う、ハートカットEGA法を用いることにより、化合物の分離、同定が可能になります。本事例ではポリ酢酸ビニルをハートカットEGA法で測定し、加熱温度による分解機構の違いを明らかにした例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】エポキシ樹脂の定性

TOF-SIMS分析による成分の推定が可能

耐薬品性・電気絶縁性を有することから、プリント基板やIC封止材など電子部品用途として、広く使用されています。エポキシ樹脂の原材料に一般的に用いられるビスフェノール類の試薬について、TOF-SIMSで測定したデータを取得しました。 MSTではサンプルの測定データと標準データとを比較することで、検出されたフラグメントイオンが何の成分由来かを調べることができ、エポキシ樹脂に用いられている材料の推定が可...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Si酸化膜・ITO膜中の「水」の評価

｢重水(D2O)処理」を用いた水素の深さ方向分析

厚み1um以下の薄膜における水(H2O)の浸透性を、膜中の重水素(D)の分布を測定することで評価した事例をご紹介します。薄膜中にもともと水素（H)が存在する場合、水の影響による水素であるかを区別することが困難です。そこで、重水（D2O)による処理を行い、天然同位体である重水素の分...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】液体中微粒子の構造・分散具合評価

クライオSEMを用いた液体状試料の断面構造観察

液体に分散させて用いる微粒子の粒径・構造を評価する際、従来は液体を乾燥させて粉体として微粒子を取り出し、電子顕微鏡を用いて測定しておりました。しかしながら、実際に用いる液体中で微粒子がどのように分散しているのかを調べるには不向きな測定法でした。 そこで、液体試料内で微粒子がどのように分散しているかを直接評価するため、クラ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiCSchottkydiode中Alの深さ方向分析

イメージングSIMSにより、局在する元素の評価が可能です

市販のSiC Schottky diodeを解体し、素子パターンを含む40um角の領域で深さ0.5umまでイメージングSIMS測定を行い、ドーパント元素であるAlの濃度分布を評価しました。 イメージングSIMS測定後のデータ処理から、試料面内に局在するAlの深さ方向濃度分布を抽出し、パターン毎に濃度分布の比較を行った事例をご...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiCパワーMOS FET中ドーパント評価

イメージングSIMSにより、局在する元素の評価が可能

市販のSiCパワーMOS FETを解体し、素子パターンを含む20um角の領域で深さ0.5umまでイメージングSIMS測定を行い、ドーパント元素であるAl,N,Pの濃度分布を評価しました。 イメージングSIMS測定後のデータ処理から、試料面内に局在するAl,N,Pの深さ方向濃度分布を抽出した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】クロスハッチパターンの形状観察

高い垂直方向分解能で小さな凹凸を可視化可能

走査型白色干渉計（光干渉計）は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm～4.2mm)」で、高精度に非接触3次元測定を行うことが可能です。Si/SiGe積層試料表面（クロスハッチパターン）の形状観察の事例を紹介します。 平均粗さ(Ra)～1nmの形状評価...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【ニンジンエキス】※実績多数！製薬会社様、試験分析承ります！

品質管理者必見！わずらわしい試験は、当社におまかせ下さい。当社は、富山…

【試験概要】 第十七改正日本薬局方 ・アルコール数測定法 原料引き受けに伴う試験は、大変ではないでしょうか。 本来の業務（製品開発、自社製品の管理）にコスト、人員、時間を有効に活用し、より一層自社の売上拡大を進めませんか。 当社は、富山県くす...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社安全性研究センター

【オウレンエキス】※実績多数！製薬会社様、試験分析承ります！

品質管理者必見！わずらわしい試験は、当社におまかせ下さい。当社は、富山…

【試験概要】 第十七改正日本薬局方 ・アルコール数測定法 原料引き受けに伴う試験は、大変ではないでしょうか。 本来の業務（製品開発、自社製品の管理）にコスト、人員、時間を有効に活用し、より一層自社の売上拡大を進めませんか。 当社は、富山県くす...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社安全性研究センター

【ウコンエキス】※実績多数！製薬会社様、試験分析承ります！

品質管理者必見！わずらわしい試験は、当社におまかせ下さい。当社は、富山…

【試験概要】 第十七改正日本薬局方 ・アルコール数測定法 原料引き受けに伴う試験は、大変ではないでしょうか。 本来の業務（製品開発、自社製品の管理）にコスト、人員、時間を有効に活用し、より一層自社の売上拡大を進めませんか。 当社は、富山県くす...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社安全性研究センター

【イカリソウエキス】※実績多数！製薬会社様、試験分析承ります！

品質管理者必見！わずらわしい試験は、当社におまかせ下さい。当社は、富山…

【試験概要】 第十七改正日本薬局方 ・アルコール数測定法 原料引き受けに伴う試験は、大変ではないでしょうか。 本来の業務（製品開発、自社製品の管理）にコスト、人員、時間を有効に活用し、より一層自社の売上拡大を進めませんか。 当社は、富山県くす...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社安全性研究センター

臨床試験サポート

毛細血管血流に関する臨床試験をバックアップ！撮影・解析・評価を承ってお…

をしませんか？ 血流評価にはレーザードップラー計等が使用されていますが、なかなか 有意差が出なくて困っているという話をよく聞きます。 レーザードップラー計等では、1mm四方の血流量等を測定しますが、 毛細血管は7/1000mmの血流速を測定するので有意差が著しく表示可能。 指先(爪郭部)・頭皮・肌・動物等、状況に合わせて様々な毛細血管血流 解析評価のご相談を承っております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社徳 NPO法人 毛細血管・研究会

【ローヤルゼリーチンキ】※実績多数！製薬会社様、試験承ります！

品質管理者必見！わずらわしい試験は、当社におまかせ下さい。当社は、富山…

【試験概要】 第十七改正日本薬局方 ・アルコール数測定法 原料引き受けに伴う試験は、大変ではないでしょうか。 本来の業務（製品開発、自社製品の管理）にコスト、人員、時間を有効に活用し、より一層自社の売上拡大を進めませんか。 当社は、富山県くす...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社安全性研究センター

【ショウキョウエキス】※実績多数！製薬会社様、試験分析承ります！

品質管理者必見！わずらわしい試験は、当社におまかせ下さい。当社は、富山…

【試験概要】 第十七改正日本薬局方 ・アルコール数測定法 原料引き受けに伴う試験は、大変ではないでしょうか。 本来の業務（製品開発、自社製品の管理）にコスト、人員、時間を有効に活用し、より一層自社の売上拡大を進めませんか。 当社は、富山県くす...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社安全性研究センター

【ケイヒチンキ】※実績多数！製薬会社様、試験分析承ります！

品質管理者必見！わずらわしい試験は、当社におまかせ下さい。当社は、富山…

【試験概要】 第十七改正日本薬局方 ・アルコール数測定法 原料引き受けに伴う試験は、大変ではないでしょうか。 本来の業務（製品開発、自社製品の管理）にコスト、人員、時間を有効に活用し、より一層自社の売上拡大を進めませんか。 当社は、富山県くす...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社安全性研究センター

【イオンクロマトグラフィー資料】ニッケルめっき浴中の硝酸塩

イオンクロマトグラフでめっき浴中の硝酸塩を測定したアプリケーション

UV/VIS 検出（205 nm）を用いた陰イオンクロマトグラフィーによる、ニッケルめっき浴中の硝酸の測定

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社

【資料】セメントと粒度分布（粒子径分布）

マイクロトラックMT3300EXIIによる粒度分布測定例を紹介していま…

く使用されます。 ここでは、普通ポルトランドセメントと超微粒子セメントについて、 粒子径分布及びブレーン値を比較し、その品種による物性の違いを検証します。 【掲載内容】 ■概要 ■測定結果 ■Rosin-Rammler 線図による粒子径分布の表示 ■備考 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： マイクロトラック・ベル株式会社

ISO 8611　パレット かど落下試験

ISO 8611に規定されている内容に従ってパレットのかど落下試験を実…

ットのかど落下試験（Corner drop test）を実施しております。 この試験はJISの規格試験同様で、50mmの落下高さから、パレットの同一かどを3回落下させた後に、パレットの対角線長さを測定し変化率を確認する試験です。 尚、JIS Z 0602のパレット試験では4項目の試験のみ規定されますが、ISO8611では、以下の３つに大別されており、各々で試験項目が細分化されております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ビジネスロジスティクス（JBL）株式会社 藤沢北事業所

自由落下試験

軽量な段ボール箱等の荷扱いの検証等、梱包・包装貨物の自由落下試験はJB…

が落下姿勢を保ったままフラットに落下できることが特徴。試験機がリセットされるまでの動きや、設定した高さへの上下動もスピーディーで、試験サンプルが多くても快適に試験をおこなえます。 加速度波形の測定用に、衝撃専用の波形記録装置を装備。三軸加速度センサーの衝撃波形から瞬時に合成されたピーク加速度や作用時間の値を、波形と一緒にPC画面上ですぐに確認できます。 試験機の性能上、落下させることの...

メーカー・取り扱い企業： 日本ビジネスロジスティクス（JBL）株式会社 藤沢北事業所

落下衝撃試験

梱包・包装貨物の落下衝撃試験はJBLへお任せください。　試験台サイズは…

試験機は、試験台サイズが国内最大級の1.2m×1.2m。最大400kg までの大型貨物を搭載することができます。衝撃波形は、正弦半波（ハーフサイン）と台形波の2種類から選べます。 加速度波形の測定用に、衝撃専用の波形記録装置を装備。 衝撃波形から瞬時に読み取られる ピーク加速度 ・作用時間 ・速度変化 の値を、波形と一緒にPC画面上ですぐに確認できます。 包装貨物への落下衝撃は、落下試...

メーカー・取り扱い企業： 日本ビジネスロジスティクス（JBL）株式会社 藤沢北事業所

放射性物質検査

商品のラベル表示に使用される栄養成分を分析いたします。

日本食品機能分析研究所では、放射性物質の含有量を検査いたします。 商品のラベル表示に使用される栄養成分を分析。 実際に製品を分析することで、理論値ではなく実際の測定に沿った 適切な表示が可能となり、消費者に適正な情報を提供することができます。 「放射性物質を検査したいがどのようにやったらいいのか？」 「検体の送り方はどうすればいいのか？」とお困りの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本食品機能分析研究所 本社

砒素イオン注入深さ分析

SIMSによる、シリコンへ砒素をイオン注入した分析結果を紹介。

6O など）が干渉するため、質量分解能が 3190 必要です。 Q ポール型 SIMS では質量分解能が 200 程度しかなく、質量分離が困難です。 しかしシリコンと砒素の複合分子イオンを測定することによって検出下限を 2×1015 [atoms/cm3]に下げることが出来ました。 【注入条件】 ■エネルギー ：700 [keV] ■ドーズ量 ：1×1015 [atoms/...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

【分析事例】錠剤タイプ頭痛薬の組成分布評価

新品と過酷試験後の錠剤断面における成分を可視化

域に分かれていることがわかりました。また、過酷試験として錠剤を4週間に渡り温度50℃、湿度75%の環境に置くことで、成分が変化した様子を評価しました。製剤処方研究・安定性評価の可視化に有効です。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：バイオテクノロジ・医薬品 分析目的：組成評価・同定・組成分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

ーが可能、（5）相対的なサンプル間の比較（膜厚・組成）が可能、（6）イメージ分析により表面数nm程度について状態の分布を視覚的に捕らえた評価が可能です。 自然酸化膜と酸化膜の結果をまとめます。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：LSI・メモリ 分析目的：化学結合状態評価・組成分布評価・腐食層の膜厚 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】X線CTによるポリウレタン内部の空隙率評価

X線CTによる多孔質樹脂材料の解析事例

いて、X線CTを用いて内部の空隙の形状を観察しました。 その結果、内部に多数存在する個々の空隙の形状を確認することができました。さらに、得られたデータを用いて空隙率の定量的な評価を行いました。 測定法：X線CT法 製品分野：日用品・樹脂材料 分析目的：形状評価・構造評価・製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】CIGS薄膜の組成分布分析

薄膜の組成定量、面内分布、深さ方向分布の評価が可能

っています。 成膜したCIGS薄膜の組成について、ICP-MSで高精度に定量した事例、SIMSで深さ方向に濃度分布を評価した事例、およびXRFにて基板面内の濃度分布を評価した事例を紹介します。 測定法：SIMS・ICP-MS・XRF・エッチング 製品分野：太陽電池 分析目的：組成評価・同定・組成分布評価・膜厚評価・製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiC基板の品質評価

結晶方位・面内欠陥分布・表面凹凸・不純物を評価

。 デバイスを製造する上で必要になるSiC基板の品質評価が課題になっています。SiC基板を結晶方位、面内欠陥分布、表面凹凸および不純物についての評価し、数値化・可視化する方法を提案いたします。 測定法：XRD・AFM・PL・SIMS 製品分野：パワーデバイス・照明 分析目的：微量濃度評価・構造評価・形状評価・故障解析・不良解析 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】揮発性有機化合物（VOC）P&Tによる微量成分の検出

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

用され、洗浄用水等に極微量で含まれる可能性があります。水中のVOCは、極微量であっても臭気の原因になることや健康被害を引き起こすことが懸念されることから、環境基準値や排水基準値が定められ、低濃度まで測定可能な手法が必要とされています。本事例では、P&T(パージ&トラップ)で濃縮した成分をGC/MSに導入することによって、水中の微量なVOC成分（サブppbレベル）を検出する事例を示します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ノズル表面・内壁の組成評価

凹凸サンプルの組成分布評価が可能です

イメージ分析が可能なことから、分布評価などに有効な手段です。 本資料では、ノズルの内壁を分析した事例を示します。 ノズル表面と内壁の分布が確認され、各部位でのピークの有無の確認ができました。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品・日用品 分析目的：組成分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】エポキシ樹脂の構造解析

熱分解GC/MS法によるLED封止材の構造解析

料、建築材料など種々の用途に用いられています。しかし溶剤溶解性が無いことから、構造決定のための分析手段は限られてしまいます。本事例ではLEDの封止材として使用されているエポキシ樹脂の熱分解GC/MS測定を行った事例を紹介します。主剤および硬化剤の構造を反映した熱分解生成物が得られ、本樹脂はビスフェノールA/酸無水物型のエポキシ樹脂と推定されました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】化学分解－GC/MS法によるポリウレタンの分析

縮合系高分子の詳細な構造解析が可能

報が十分に得られない場合があります。このような時、メタノールを用いた化学分解を行うことで、より詳細な構造情報が得られるようになります。 本事例ではポリウレタン製軽石をメタノールで分解し、GC/MS測定を行った結果を紹介します。ジフェニルメタンジイソシアネート、フタル酸ジメチル、トリメチロールプロパン、プロピレングリコール類が検出され、本製品はこれらの素材から構成されるポリエステルウレタンと推定さ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リチウムイオン二次電池　Si負極の評価

充電前後の電極の様子およびLiの存在・分布を評価可能

れています。 充電前後のSi負極に関して雰囲気制御環境下で解体、観察をしました。更に、FIBマイクロサンプリング法により断面観察用サンプルを作成し、Csコレクタ付きSTEM装置で形状観察とEELS測定を行い、Si電極の様子と電極中のLi分布を評価しました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】EGA-MS法による発生ガス分析

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

としてEGA*-MS法が有効です。この方法は、試料を昇温加熱して発生したガスをGCのカラムを通さずに直接質量分析計に導入する方法です。 本事例ではポリ酢酸ビニル加熱時の発生ガスの温度プロファイルを測定した例を紹介します。 * EGA：Evolved Gas Analysis ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ノニルフェノール（NP）の分析

容器貸し出しから分析結果までトータルでサポートします！

される物質とされており、基準値は水域・類型別に0.0006～0.002 mg/Lと設定されています。この濃度領域においてNPの濃度評価を行った事例をご紹介します。 MSTでは専用の容器貸し出しから測定まで一括で行うサービスを受託しております。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】有機薄膜太陽電池活性層の混合状態評価

低加速STEM観察とEELS測定による有機材料の分布状態評価

低加速STEM観察とSTEM-EELS面分析により、バルクへテロ接合型太陽電池の活性層の混合状態の評価を行いました。評価にはITO上に活性層のみを成膜した試料を用いました。 低加速STEM像（写真1）のコントラストはSTEM-EELS像のS, Cの元素分布(写真2, 3)と対応しており、バルクヘテロ構造を反映していることが確認できました。また、Sの分布に偏りが認められ、表面側にP3HTが偏析して...

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【分析事例】2,4-ジクロロフェノールの分析

容器貸し出しから分析結果までトータルでサポートします！

フェノールは、環境の汚染を通じ、水生生物の生息又は生育に支障を及ぼすおそれがあるとされ、指針値は水域・類型別に0.003～0.03 mg/Lと設定されております。 MSTでは専用の容器貸し出しから測定まで一括で行うサービスを受託しております。...

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【分析事例】XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価

高分解能測定と波形解析を利用してc-Siとa-Siの状態別定量が可能

半導体の製造工程において表面改質を目的としたイオン照射を行うことがあります。その中で、単結晶Si表面に不活性元素のイオンを照射することで構造の損傷が生じ、アモルファス層が形成されることが知られています。 高分解能なXPSスペクトルではc(単結晶)-Siとa(アモルファス)-Siが異なったピーク形状で検出されることを利用して、この損傷由来のa-Siをc-Siと分離して定量評価した事例をご紹介します...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ポリイミド樹脂の構造解析

熱分解GC/MS法によりポリイミド樹脂の構造解析が可能

いため、電子機器の絶縁材料をはじめ種々の用途に用いられています。しかし溶剤溶解性がほとんど無いことから、構造決定のための分析手段は限られてしまいます。本事例では市販のポリイミド樹脂の熱分解GC/MS測定を行った事例を紹介します。保持時間の長い高沸点成分に、ポリマー構造を反映した熱分解生成物が複数観測され、本法が構造決定の有力な手段であることがわかります。...

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【分析事例】AES分析による積層試料の割断面評価

割断サンプルで50nm薄膜を可視化

AES分析は最表面から数nm深さまでの組成情報を得る手法ですが、試料の断面からAES測定を行って元素分布像を得ることで、層構造を明瞭に評価することが可能です。積層構造の評価やトレンチやホールの内壁の元素分析に加え、機械加工やイオンビーム加工を併用することで、薄い合金層や元素の拡散・偏析...

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【分析事例】ウォーターマーク原因調査

TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定

ます。異常箇所から検出されたイオン種から由来成分を推定することで、異常がどのプロセスで発生したかを調査することができます。 ウェハや製品上に異常箇所（変色・付着）が見つかったとき、TOF-SIMS測定を行うことで、洗浄・乾燥に起因するウォーターマークか、母材の変質物か、別工程での付着物かを切り分けることができ、不良原因追求に有効です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ウエハアナライザーを用いた有機汚染評価

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

る有機汚染物質をガス化させ捕集管にトラップする装置です。そのため、デバイス特性への影響や製造上のトラブルの原因とされるフタル酸エステル系化合物や環状シロキサン化合物などを濃縮し、GC/MSで高感度に測定できます。またヘキサデカンによる換算定量も可能です。...

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【分析事例】TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析

サブμmオーダーの異物、微小領域の定性・イメージ分析が可能

析が同時に可能なことから、異物や微小領域の評価に有効です。 本資料は、サブμmオーダーの微小領域の分析例をまとめます。 層構造の試料上にFIBでスパッタ加工を行ったサンプルを、TOF-SIMSで測定をしました。サブμmオーダーの微小領域を評価をすることが出来ています。...

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【分析事例】Si表面近傍のBの深さ方向分布評価

試料冷却による高精度なBのプロファイル分析

デバイスの設計の上で特性に大きく影響を与えるSi中Bの濃度分布は、SIMS分析により高感度・高深さ方向分解能での評価が可能です。しかし、一般的な分析条件では、測定起因によりBの濃度分布に歪みが生じることがわかりました。 MSTでは試料冷却がこの歪み補正に有効であることを確認し、より高精度な濃度分布の評価が可能になりました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】極薄SiON膜の組成・膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など、厚さ数nm以下の極薄膜について、サンプル最表面のSi2pスペクトルを測定します。得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程から膜厚を見積もります（式１）。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】キトサンの分布評価

TOF-SIMSによる医薬品成分の可視化

、医療、食品、化粧品、衣料品などの幅広い分野で用いられています。日常品である綿棒には、抗菌性をもたせるためキトサンを配合したものがあります。 そこで、マッピングにより可視化が可能であり、スペクトル測定により成分評価が可能なTOF-SIMSを用いて、綿棒に含まれるキトサンの評価を行いました。...

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