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無振動・無騒音!被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心…
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2~1/3!水…
『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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オイルフリーの超高真空が実現可能!大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極め…
「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、 チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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40%のサイズダウン!組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…
『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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簡単に油蒸気の逆流を防止することが可能!油分子を効率よく吸着します
『フォアライントラップ』は、ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、 油分子を効率よく吸着します。 さらに、モレキュラシーブを液体窒素で冷却することによって、油分子のみ ならず水蒸気も効果的に吸着します。(フォアライントラップSの場合) また、ヒータが内蔵されていますので、使用前にモレキュラシーブを ベーキングすることによって、簡単にモレキュラシーブの吸着能力を 再生できます。...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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新設計により視認性と機能アップ!自動化装置・遠隔操作用装置に適していま…
『P-500』は、10^-2Pa~10^-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又は ノーブルポンプを運転する制御装置です。 表示は緑色の大型LEDを採用し、離れた位置からの視認性を向上。 従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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